技术特征：
1.一种清洗设备的卡盘装置，其特征在于，包括卡盘主体(100)和多个夹持件(200)；卡盘主体(100)，所述卡盘主体(100)开设有安装孔；多个夹持件(200)，所述多个夹持件(200)可活动的设置于所述卡盘主体(100)，每个所述夹持件(200)可相对于所述卡盘主体(100)运动，以实现清洗工艺时对晶圆进行夹持；所述夹持件(200)包括导电塑胶部(210)和金属主体部(220)，所述金属主体部(220)的部分套装有所述导电塑胶部(210)，所述导电塑胶部(210)的至少部分通过所述安装孔伸出至所述卡盘主体(100)之外，用于夹紧或释放所述晶圆。2.根据权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，所述导电塑胶部(210)的电阻率小于104ω
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m。3.根据权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，所述导电塑胶部(210)包括顶针(211)和第一连接轴(212)，所述顶针(211)设置于所述第一连接轴(212)的一端，且所述顶针(211)与所述第一连接轴(212)偏心设置；所述第一连接轴(212)背离所述顶针(211)的一端沿所述第一连接轴(212)的轴向开设有安装槽，所述金属主体部(220)的至少部分位于所述安装槽内，且所述金属主体部(220)与所述安装槽过盈配合。4.根据权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘主体(100)内开设有通气通道(101)，所述安装孔的内侧壁与所述导电塑胶部(210)之间具有装配间隙，所述通气通道(101)与所述装配间隙相连通，所述通气通道(101)可通入吹扫气体。5.根据权利要求4所述的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘主体(100)包括依次叠置的卡盘盖板(110)和卡盘基体(120)，所述卡盘基体(120)开设有所述安装孔，所述多个夹持件(200)沿所述卡盘盖板(110)的周向间隔分布，所述金属主体部(220)的部分位于所述卡盘基体(120)内；所述通气通道(101)包括相连通的第一通道(101a)和第二通道(101b)，所述卡盘盖板(110)和所述卡盘基体(120)围成第一通道(101a)，所述卡盘基体(120)开设有第二通道(101b)，所述第二通道(101b)与所述第一通道(101a)相连通，所述第二通道(101b)与所述装配间隙相连通。6.根据权利要求5所述的卡盘装置，其特征在于，所述第二通道(101b)贯穿所述卡盘基体(120)的外侧壁。7.根据权利要求5所述的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘装置还包括驱动机构，所述驱动机构包括驱动源(310)和旋转连接件(320)，所述旋转连接件(320)包括锥形定位部(321)和连接法兰(322)，所述锥形定位部(321)具有第一端和第二端，所述连接法兰(322)环绕所述锥形定位设置，且所述连接法兰(322)位于所述第一端，在沿所述第一端至所述第二端的方向上，所述锥形定位部(321)的横截面面积逐渐减小，所述卡盘基体(120)开设有锥形定位孔(452)，所述锥形定位部(321)的至少部分位于所述锥形定位孔(452)内，且与所述锥形定位孔(452)相配合，所述卡盘基体(120)通过所述连接法兰(322)与所述驱动源(310)相连接。8.根据权利要求7所述的卡盘装置，其特征在于，所述驱动源(310)包括转动部(311)和支撑轴(312)，所述转动部(311)环绕所述支撑轴(312)设置，所述转动部(311)可相对于所述支撑轴(312)沿所述支撑轴(312)的中心轴线转动，所述锥形定位部(321)环绕所述支撑轴(312)设置，所述卡盘主体(100)通过所述连接法兰(322)与所述转动部(311)相连接；
所述卡盘装置还包括喷嘴(410)，所述喷嘴(410)设置于所述支撑轴(312)的端部，所述支撑轴(312)沿其轴向开设有气体通道(3121)，所述喷嘴(410)与所述气体通道(3121)相连通，所述喷嘴(410)开设有第一喷气孔(412)，所述第一喷气孔(412)与所述通气通道(101)相连通。9.根据权利要求8所述的卡盘装置，其特征在于，所述喷嘴(410)开设有第二喷气孔(411)，所述第二喷气孔(411)用于吹扫承载至所述卡盘主体(100)上的晶圆。10.根据权利要求7所述的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘装置还包括导电块(420)和弹性件(430)，所述导电块(420)设置于所述卡盘基体(120)的底部，所述弹性件(430)压紧在所述导电块(420)与所述连接法兰(322)之间，所述连接法兰(322)与所述导电块(420)通过所述弹性件(430)电导通。11.根据权利要求10所述的卡盘装置，其特征在于，所述卡盘基体(120)、所述导电块(420)和所述连接法兰(322)通过第一螺纹件(440)螺纹连接，所述弹性件(430)与所述第一螺纹件(440)位于同一圆周上。12.一种清洗设备，其特征在于，包括权利要求1至11中任一项所述的卡盘装置。
技术总结
本发明公开一种清洗设备的卡盘装置及清洗设备，所述卡盘装置包括卡盘主体(100)和多个夹持件(200)；所述卡盘主体(100)开设有安装孔；所述多个夹持件(200)可活动的设置于所述卡盘主体(100)，每个所述夹持件(200)可相对于所述卡盘主体(100)运动，以实现清洗工艺时对晶圆进行夹持；所述夹持件(200)包括导电塑胶部(210)和金属主体部(220)，所述金属主体部(220)的部分套装有所述导电塑胶部(210)，所述导电塑胶部(210)的至少部分通过所述安装孔伸出至所述卡盘主体(100)之外，用于夹紧或释放所述晶圆。上述方案能够解决清洗设备的清洗性能较差的问题。能较差的问题。能较差的问题。
技术研发人员：赵益春 韩国清
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2022.06.28
技术公布日：2022/9/6