一种计算机用集成电路生产加工设备的制作方法

1.本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种计算机用集成电路生产加工设备。


背景技术：

2.由于应用了集成电路，计算机出现了新的发展方向，即计算机小型化。而集成电路的进步则得益于半导体行业的发展，其属于微型电子器件，是把一定数量的常用电子元件，如电阻、电容、晶体管等，以及这些元件之间的连线，通过半导体工艺集成在一起的具有特定功能的电路。
3.集成电路的主要载体为晶圆，常用的集成电路制备流程为：晶圆制造、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、热处理、化学机械研磨、晶圆检测检查、晶圆探针测试、封装、成品测试。可见，集成电路的生产加工都是从晶圆制造开始的，并且在加工的过程中，需要对晶圆进行频繁的转运。
4.目前晶圆大多都会利用晶圆载具(foup)来装载，借此来增加运送时的方便性以及维持整洁，且一般晶圆载具内部都会导入一些惰性气体，借此来降低保存时氧化的可能性。但现在的晶圆载具机构难以协调好惰性气体充入时间，通常都需要人工干预，手动的进行载具机构的封闭，并打开充气开关，工作效率较低。并且手动开合载具的封闭结构容易存在漏气点，造成惰性气体泄露。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种计算机用集成电路生产加工设备，以达到自动封闭保护圆晶且可调控封闭时机的目的，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种计算机用集成电路生产加工设备，包括运载座，所述运载座上固定安装有充气座，且充气座通过输送管连接在运载座中的惰性气体储罐上，所述充气座上固定安装有装载座，所述装载座上中设置有分隔装载部分以及封闭部分，通过分隔装载部分进行圆晶的定位固定，且通过封闭部分进行装载座空间的密封，所述封闭部分的启动开关位于分隔装载部分的下方，且启动开关的高度通过运载座上的调节结构进行调节，所述分隔装载部分的底部设置为平衡称量结构，通过调节启动开关的高度来改变平衡称量结构与启动开关的接触位置，达到定量装载圆晶后封闭部分自动封闭装载座的效果。
7.优选的，所述分隔装载部分包括有排列安装在装载座中的装载片，且装载片上固定连接有底板，所述底板上滑动安装有底托，且底托上转动安装有转动臂，所述转动臂上固定安装有限位夹，且底托上固定连接有支撑弹簧，且支撑弹簧连接在平衡称量结构上。
8.优选的，所述装载片等距排列设置，且相邻的装载片之间构成限位空间进行圆晶的装载，所述底板安装在装载片的底部，且底托滑动安装在底板的通槽中，所述转动臂安装在底托的两侧，且限位夹安装在转动臂的端部。
9.优选的，所述平衡称量结构包括有固定连接在装载座底部的平衡弹簧，且平衡弹
簧设置有至少四个，进行了称量板的平衡支撑，所述支撑弹簧连接在称量板的顶面。
10.优选的，所述装载座的底部滑动安装有坡道板，且坡道板上固定连接有复位弹簧，所述启动开关通过坡道板进行支撑，且启动开关的高度取决于坡道板的水平位置。
11.优选的，所述调节结构包括有固定安装在运载座上的支架，且支架上滑动安装有调节杆，所述调节杆上固定连接有控制柄，且调节杆上设置有刻度以及定位槽，通过支架上的定位件进行调节杆的定位。
12.优选的，所述调节杆上固定安装有齿条，且齿条啮合在齿轮上，所述齿轮同轴连接有收卷盘，且齿轮和收卷盘的安装轴转动安装在充气座上，所述收卷盘上设置有驱动绳，且驱动绳固定连接在坡道板上。
13.优选的，所述封闭部分包括有通过驱动轴安装在装载座上的顶盖以及前挡盖，所述装载座上设置有密封条与顶盖密封连接，且前挡盖上设置有密封套与装载座密封连接，所述顶盖和前挡盖的驱动轴均通过启动开关控制。
14.优选的，所述顶盖上固定安装有吸附件，且前挡盖上设置有套件，所述吸附件采用电磁块，且套件采用磁性件，进行顶盖和吸附件的自吸连接，所述吸附件通过感应器进行控制，所述顶盖上设置有挡条，且前挡盖通过连接套与挡条连接，所述连接套中设置有气胀条，且气胀条通过管道连接有气囊，且顶盖上设置有压板进行气囊的挤压，且气囊为弹性气囊。
15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
16.1.发明的集成电路生产加工设备用于圆晶的安全转运，能够实现装载一定量的圆晶之后，自动封闭并进行惰性气体保护的效果，并且可以根据实际生产需要，自主的调节装载量，确定封闭保护的时机，提高圆晶运输的效率，并且有效防止惰性气体泄露；
17.2.本发明中装载座上主要通过分隔装载部分进行圆晶的定位固定，其能够构成独立的装载空间，防止圆晶晃动、碰撞，装载片的底部设置有活动式的底托，其上的限位夹能够自动从两侧夹在圆晶上，防止圆晶出现意外的转动，同时圆晶的重量能够作用在底托上，进而传到平衡称量结构上，进行重量的积累，当圆晶的数量达到一定程度时，使得平衡称量结构触发启动开关，平衡称量结构能够进行圆晶重力的平衡，并且在圆晶逐渐增加的过程中，称量板逐渐下移，直到称量板与启动开关接触连接，进行封闭部分的触发；
18.3.本发明可以通过移动坡道板，来控制启动开关的高度，进而改变装载座中圆晶的极限数量，使得称量板与启动开关的接触符合人为预期，在装载一定量的圆晶之后，启动开关就会打开，进而通过封闭部分进行装载座的封闭，方便充气座向着装载座中充入惰性气体，坡道板的位置通过调节结构进行控制，调节十分方便；
19.4.本发明的封闭部分能够进行装载座的自动密封，通过驱动轴带动顶盖以及前挡盖转动，顶盖首先盖在装载座的顶部完成密封，随后前挡盖盖在装载座的前表面，并且与顶盖连接，完成密封，前挡盖和顶盖还具有自吸功能，当感应器检测到前挡盖靠近顶盖时，能够对吸附件通电，产生磁吸力作用在套件上，将前挡盖紧紧的吸附在顶盖上，并且，前挡盖上的气囊还能受到压板的压缩，将气体送入到气胀条中，使得气胀条膨胀，消除连接套和挡条之间的间隙，起到更好的密封效果。
附图说明
20.图1为本发明整体结构的示意图；
21.图2为本发明开放状态的第一示意图；
22.图3为本发明开放状态的第二示意图；
23.图4为本发明装载座结构的示意图；
24.图5为本发明装载座结构的第二示意图；
25.图6为本发明装载状态的示意图；
26.图7为本发明限位结构的示意图；
27.图8为本发明装载结构的示意图；
28.图9为本发明调节结构的示意图；
29.图10为本发明封闭结构的示意图。
30.图中：运载座1、充气座2、输送管3、装载座4、装载片5、底板6、底托7、转动臂8、限位夹9、支撑弹簧10、称量板11、平衡弹簧12、复位弹簧13、坡道板14、启动开关15、支架16、调节杆17、控制柄18、刻度19、定位槽20、定位件21、齿条22、齿轮23、收卷盘24、驱动绳25、顶盖26、前挡盖27、密封条28、密封套29、吸附件30、套件31、感应器32、挡条33、连接套34、气胀条35、气囊36、压板37。
具体实施方式
31.下面，结合附图以及具体实施方式，对本发明做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例，须知，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
32.请参阅图1至图10，本发明提供一种技术方案：一种计算机用集成电路生产加工设备，包括运载座1，运载座1上固定安装有充气座2，且充气座2通过输送管3连接在运载座1中的惰性气体储罐上，充气座2上固定安装有装载座4，装载座4上中设置有分隔装载部分以及封闭部分，通过分隔装载部分进行圆晶的定位固定，且通过封闭部分进行装载座4空间的密封，封闭部分的启动开关15位于分隔装载部分的下方，且启动开关15的高度通过运载座1上的调节结构进行调节，分隔装载部分的底部设置为平衡称量结构，通过调节启动开关15的高度来改变平衡称量结构与启动开关15的接触位置，达到定量装载圆晶后封闭部分自动封闭装载座4的效果。
33.本发明的集成电路生产加工设备主要是用于圆晶的安全转运，能够实现装载一定量的圆晶之后，自动封闭并进行惰性气体保护的效果，并且可以根据实际生产需要，自主的调节装载量，确定封闭保护的时机，提高圆晶运输的效率，并且有效防止惰性气体泄露；
34.分隔装载部分包括有排列安装在装载座4中的装载片5，且装载片5上固定连接有底板6，底板6上滑动安装有底托7，且底托7上转动安装有转动臂8，转动臂8上固定安装有限位夹9，且底托7上固定连接有支撑弹簧10，且支撑弹簧10连接在平衡称量结构上；
35.装载座4上主要通过分隔装载部分进行圆晶的定位固定，其能够构成独立的装载空间，防止圆晶晃动、碰撞；
36.装载片5等距排列设置，且相邻的装载片5之间构成限位空间进行圆晶的装载，底板6安装在装载片5的底部，且底托7滑动安装在底板6的通槽中，转动臂8安装在底托7的两侧，且限位夹9安装在转动臂8的端部；
37.将圆晶放置到两个装载片5之间，通过装载片5进行分隔，并且装载片5的底部设置有活动式的底托7，圆晶装载之后其底部会压在底托7上，使得底托7下移的同时，底托7上的转动臂8收到底板6的挤压发生转动，其上的限位夹9能够从两侧夹在圆晶上，防止圆晶出现意外的转动，同时圆晶的重量能够作用在底托7上，进而传到平衡称量结构上，进行重量的积累，当圆晶的数量达到一定程度时，使得平衡称量结构触发启动开关15；
38.平衡称量结构包括有固定连接在装载座4底部的平衡弹簧12，且平衡弹簧12设置有至少四个，进行了称量板11的平衡支撑，支撑弹簧10连接在称量板11的顶面；
39.平衡称量结构能够进行圆晶重力的平衡，并且在圆晶逐渐增加的过程中，称量板11逐渐下移，直到称量板11与启动开关15接触连接，进行封闭部分的触发；
40.装载座4的底部滑动安装有坡道板14，且坡道板14上固定连接有复位弹簧13，启动开关15通过坡道板14进行支撑，且启动开关15的高度取决于坡道板14的水平位置；
41.并且根据实际需要，可以通过移动坡道板14，来控制启动开关15的高度，进而改变装载座4中圆晶的极限数量，使得称量板11与启动开关15的接触符合人为预期，在装载一定量的圆晶之后，启动开关15就会打开，进而通过封闭部分进行装载座4的封闭，方便充气座2向着装载座4中充入惰性气体；
42.调节结构包括有固定安装在运载座1上的支架16，且支架16上滑动安装有调节杆17，调节杆17上固定连接有控制柄18，且调节杆17上设置有刻度19以及定位槽20，通过支架16上的定位件21进行调节杆17的定位；
43.坡道板14的位置通过调节结构进行控制，调节结构的控制位置位于运载座1的后部，位于运载座1的推动位置，在移动运载座1的同时，可以更加方便的控制调节结构；
44.调节杆17上固定安装有齿条22，且齿条22啮合在齿轮23上，齿轮23同轴连接有收卷盘24，且齿轮23和收卷盘24的安装轴转动安装在充气座2上，收卷盘24上设置有驱动绳25，且驱动绳25固定连接在坡道板14上；
45.调节时，通过控制柄18移动调节杆17，带动其上的齿条22移动，使得齿轮23转动，进而带动收卷盘24转动，收卷盘24能够拉动驱动绳25，从而带动坡道板15移动，达到调节启动开关15高度的效果；
46.封闭部分包括有通过驱动轴安装在装载座4上的顶盖26以及前挡盖27，装载座4上设置有密封条28与顶盖26密封连接，且前挡盖27上设置有密封套29与装载座4密封连接，顶盖26和前挡盖27的驱动轴均通过启动开关15控制；
47.当启动开关15被打开之后，封闭部分能够启动，通过驱动轴带动顶盖26以及前挡盖27转动，顶盖26首先盖在装载座4的顶部完成密封，随后前挡盖27盖在装载座4的前表面，并且与顶盖26连接，完成密封；
48.顶盖26上固定安装有吸附件30，且前挡盖27上设置有套件31，吸附件30采用电磁块，且套件31采用磁性件，进行顶盖26和吸附件30的自吸连接，吸附件30通过感应器32进行控制，顶盖26上设置有挡条33，且前挡盖27通过连接套34与挡条33连接，连接套34中设置有气胀条35，且气胀条35通过管道连接有气囊36，且顶盖26上设置有压板37进行气囊36的挤
压，且气囊36为弹性气囊；
49.前挡盖27和顶盖26还具有自吸功能，当感应器32检测到前挡盖27靠近顶盖26时，能够对吸附件30通电，产生磁吸力作用在套件31上，将前挡盖27紧紧的吸附在顶盖26上，并且，前挡盖27上的气囊36还能受到压板37的压缩，将气体送入到气胀条35中，使得气胀条35膨胀，消除连接套34和挡条33之间的间隙，起到更好的密封效果；
50.本发明在使用时：首先，本发明的集成电路生产加工设备主要是用于圆晶的安全转运，能够实现装载一定量的圆晶之后，自动封闭并进行惰性气体保护的效果，并且可以根据实际生产需要，自主的调节装载量，确定封闭保护的时机，提高圆晶运输的效率，并且有效防止惰性气体泄露，装载座4上主要通过分隔装载部分进行圆晶的定位固定，其能够构成独立的装载空间，防止圆晶晃动、碰撞，将圆晶放置到两个装载片5之间，通过装载片5进行分隔，并且装载片5的底部设置有活动式的底托7，圆晶装载之后其底部会压在底托7上，使得底托7下移的同时，底托7上的转动臂8收到底板6的挤压发生转动，其上的限位夹9能够从两侧夹在圆晶上，防止圆晶出现意外的转动，同时圆晶的重量能够作用在底托7上，进而传到平衡称量结构上，进行重量的积累，当圆晶的数量达到一定程度时，使得平衡称量结构触发启动开关15，平衡称量结构能够进行圆晶重力的平衡，并且在圆晶逐渐增加的过程中，称量板11逐渐下移，直到称量板11与启动开关15接触连接，进行封闭部分的触发，并且根据实际需要，可以通过移动坡道板14，来控制启动开关15的高度，进而改变装载座4中圆晶的极限数量，使得称量板11与启动开关15的接触符合人为预期，在装载一定量的圆晶之后，启动开关15就会打开，进而通过封闭部分进行装载座4的封闭，方便充气座2向着装载座4中充入惰性气体，坡道板14的位置通过调节结构进行控制，调节时，通过控制柄18移动调节杆17，带动其上的齿条22移动，使得齿轮23转动，进而带动收卷盘24转动，收卷盘24能够拉动驱动绳25，从而带动坡道板15移动，达到调节启动开关15高度的效果，当启动开关15被打开之后，封闭部分能够启动，通过驱动轴带动顶盖26以及前挡盖27转动，顶盖26首先盖在装载座4的顶部完成密封，随后前挡盖27盖在装载座4的前表面，并且与顶盖26连接，完成密封，前挡盖27和顶盖26还具有自吸功能，当感应器32检测到前挡盖27靠近顶盖26时，能够对吸附件30通电，产生磁吸力作用在套件31上，将前挡盖27紧紧的吸附在顶盖26上，并且，前挡盖27上的气囊36还能受到压板37的压缩，将气体送入到气胀条35中，使得气胀条35膨胀，消除连接套34和挡条33之间的间隙，起到更好的密封效果。
51.上述实施方式仅为本发明的优选实施方式，不能以此来限定本发明保护的范围，本领域的普通技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所作出的种种变换，均落在本发明的保护范围之内。