一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法与流程

1.本发明涉及真空技术领域，具体为一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法。


背景技术：

2.真空系统是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
3.离子注入机用真空系统启动后，真空处理时需要释放大量气体，而这些气体在经过多级管道的输送后，其洁净度可能会在传输的过程中降低，进而降低真空处理效果；其次真空处理容器需要通过管道和阀门与真空泵相连，而真空泵在组装过程中也多与真空处理容器焊接固定，而焊接区域可能会出现金属破裂、弧坑、夹渣、咬边等一系列质量缺陷，这就可能造成焊接位置不合理，承载效果差，最后可能降低真空泵与真空处理容器、真空连接管等连接件之间的连接稳定性和紧密性，为解决上述问题，一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法，亟待开发。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种离子注入机用真空系统及工艺优化方法，具备便于拆装、方便过滤的优点，解决了上述背景技术提出的问题。
5.为达成上述目的，本发明提供如下技术方案：一种离子注入机用真空系统，包括：真空处理容器。
6.固定机构，固定机构包括有设置于真空处理容器一侧的固定杆，所述固定杆的内部开设有腔体，所述腔体内腔的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底端与腔体转动连接，所述螺纹杆表面的底部螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的前侧固定连接有连接凸块，所述固定杆的前侧开设有与连接凸块配合使用的活动槽一，所述连接凸块的前侧贯穿至活动槽一的外侧并固定连接有连接架，所述真空处理容器的一侧固定连接有固定板，所述固定板的顶部开设有横槽，所述横槽内腔的底部滑动连接有锁止块，所述锁止块的顶部开设有与连接架配合使用的活动槽二，两个锁止块相对的一侧设置有真空泵箱，所述真空泵箱的两侧均开设有与锁止块配合使用的锁止槽。
7.净化机构，净化机构包括有与真空泵箱连通的真空连接管，所述真空连接管内腔的上方转动连接有固定板一和固定板二，所述固定板一和固定板二的顶部均开设有置物槽，所述置物槽内腔的底部开设有通孔，所述固定板一和固定板二的底部分别固定连接有耳板一和耳板二，所述耳板一和耳板二的表面共同转动连接有连接条，所述固定板一和固定板二顶部的一侧均开设有扣槽，所述置物槽的内腔从上至下依次设置有过滤网一和过滤网二。
8.进一步的，作为本发明一种优选的，所述固定杆的表面开设有若干个呈矩形分布的螺纹孔，所述螺纹孔的内腔螺纹连接有螺栓，所述固定杆通过螺栓与真空处理容器固定
连接。
9.进一步的，作为本发明一种优选的，所述固定杆的顶部开设有若干等间距分布的散热孔，所述散热孔的内腔填充有滤网。
10.进一步的，作为本发明一种优选的，所述固定板的底部固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧与真空处理容器固定连接。
11.进一步的，作为本发明一种优选的，所述锁止块底部的前侧和后侧均开设有斜面。
12.进一步的，作为本发明一种优选的，所述活动槽二内腔的两侧均开设有限位槽，两个限位槽相对的一侧均滑动连接有限位块，所述限位块的一侧与连接架固定连接。
13.进一步的，作为本发明一种优选的，所述固定板一底部的一侧和固定板二顶部的一侧均开设有凹槽。
14.进一步的，作为本发明一种优选的，所述连接架的形状呈倒“v”形。
15.进一步的，作为本发明一种优选的，所述过滤网一的孔径大于滤网二的孔径。
16.一种离子注入机用真空系统的工艺优化方法，其方法包括如下步骤：
17.步骤一：首先当使用者需要对真空泵箱安装时，开启电机，电机的输出轴带动螺纹杆转动，螺纹杆通过螺纹牙的连接和传动带动螺纹套转动，但在连接凸块和活动槽一的配合使用下，使得螺纹杆只能带动螺纹套在竖直方向上下移动，进而使得螺纹套通过连接凸块的连接带动连接架同向移动，当连接架向下移动时，其带动限位块在限位槽和活动槽二的内腔向下运动，随着连接架的持续下移，其与真空泵箱的夹角逐渐变小，并使得两个锁止块不断相对运动，进而移动至锁止槽的内腔，从而通过两个锁止块完成对真空泵箱的夹持固定，达到快速安装，且对不同型号的真空泵箱均可固定的目的，进一步提高了适用范围；
18.步骤二：使用者首先将过滤网一和过滤网二依次卡合至置物槽的内腔，接着将真空连接管与真空泵箱连通，待真空泵箱开启后，通过真空连接管的气体首先经过过滤网一，实现对其的首次过滤，并将气体中大颗粒杂质去除后，气体再经过过滤网二，过滤网二相较于过滤网一，其孔径更小更密，进而再对气体中更小的杂质进行再次过滤，经过两次过滤后的气体，最后通过通孔在真空连接管的内腔继续流动，待经过一段时间的使用后，使用者通过用手扣住扣槽，通过扣槽将固定板一和固定板二向内按压，固定板一和固定板二分别带动耳板一和耳板二同向转动，并通过连接条的连接，使固定板一和固定板二保持较同一的状态同时运动，进而固定板一和固定板二分别以其与真空连接管的连接轴为圆心转动，且待固定板一和固定板二转动时，由于固定板一和固定板二放置状态的变换，即将过滤网一和过滤网二向外顶出，从而使过滤网一和过滤网二脱离固定板一和固定板二的内腔，进而使用者即可将其取下，进一步完成对其清洁的作用。
19.有益效果，本技术的技术方案具备如下技术效果：本发明通过真空处理容器、固定杆、腔体、电机、螺纹杆、螺纹套、连接凸块、活动槽一、连接架、固定板、横槽、锁止块、活动槽二、真空泵箱和锁止槽的配合使用，达到对真空泵进行快速拆装，降低传统焊接的安装缺陷，进一步实现高效稳定的作用，通过真空连接管、固定板一、固定板二、置物槽、通孔、耳板一、耳板二、连接条、扣槽、过滤网一和过滤网二的配合使用，达到对通过真空连接管内部的气体进行净化过滤，进一步保持气体洁净的作用，使得该离子注入机用真空系统及工艺优化方法具备真空便于拆装、方便过滤的优点，在实际使用过程中，首先在真空连接管的端部增设过滤机构，使其首先对气体的传输进行多次过滤，进一步保持气体的洁净性和真空处
理效果，且拆装较为方便，便于使用者对其进行更换清理；其次，改变真空泵传统焊接的连接方式，在不对其结构造成损坏的情况下，采用卡接的连接方式对其进行固定，不仅拆装方便，且不会因焊缝位置不合理或承重效果差等情况的发生，降低真空泵的使用稳定性。
20.应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的发明主题的一部分。
附图说明
21.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
22.图1为本发明结构示意图；
23.图2为本发明安装机构的立体结构示意图；
24.图3为本发明局部结构立体示意图；
25.图4为本发明锁止块的立体剖分示意图；
26.图5为本发明净化机构的立体结构示意图；
27.图6为本发明净化机构拆分状态立体示意图；
28.图7为本发明固定板一和固定板二的仰视立体结构示意图；
29.图8为本发明固定板一和固定板二的拆分状态立体示意图。
30.图中，各附图标记的含义如下：1、真空处理容器；2、固定杆；3、腔体；4、电机；5、螺纹杆；6、螺纹套；7、连接凸块；8、活动槽一；9、连接架；10、固定板；11、横槽；12、锁止块；13、活动槽二；14、真空泵箱；15、锁止槽；16、真空连接管；17、固定板一；18、固定板二；19、置物槽；20、通孔；21、耳板一；22、耳板二；23、连接条；24、扣槽；25、过滤网一；26、过滤网二；27、螺纹孔；28、螺栓；29、散热孔；30、支撑板；31、限位槽；32、限位块。
具体实施方式
31.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。在本公开中参照附图来描述本发明的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
32.如附图1至附图8所示：本实施例提供一种离子注入机用真空系统，包括：真空处理容器1。
33.固定机构，固定机构包括有设置于真空处理容器1一侧的固定杆2，固定杆2的内部开设有腔体3，腔体3内腔的顶部固定连接有电机4，电机4的输出轴固定连接有螺纹杆5，螺纹杆5的底端与腔体3转动连接，螺纹杆5表面的底部螺纹连接有螺纹套6，螺纹套6的前侧固定连接有连接凸块7，固定杆2的前侧开设有与连接凸块7配合使用的活动槽一8，连接凸块7的前侧贯穿至活动槽一8的外侧并固定连接有连接架9，连接架9的形状呈倒“v”形，真空处理容器1的一侧固定连接有固定板10，固定板10的顶部开设有横槽11，横槽11内腔的底部滑动连接有锁止块12，锁止块12的顶部开设有与连接架9配合使用的活动槽二13，两个锁止块
12相对的一侧设置有真空泵箱14，真空泵箱14的两侧均开设有与锁止块12配合使用的锁止槽15。
34.净化机构，净化机构包括有与真空泵箱14连通的真空连接管16，真空连接管16内腔的上方转动连接有固定板一17和固定板二18，固定板一17底部的一侧和固定板二18顶部的一侧均开设有凹槽，固定板一17和固定板二18的顶部均开设有置物槽19，置物槽19内腔的底部开设有通孔20，固定板一17和固定板二18的底部分别固定连接有耳板一21和耳板二22，耳板一21和耳板二22的表面共同转动连接有连接条23，固定板一17和固定板二18顶部的一侧均开设有扣槽24，置物槽19的内腔从上至下依次设置有过滤网一25和过滤网二26。
35.具体的，固定杆2的表面开设有若干个呈矩形分布的螺纹孔27，螺纹孔27的内腔螺纹连接有螺栓28，固定杆2通过螺栓28与真空处理容器1固定连接。
36.本实施例中：通过螺纹孔27和螺栓28的配合使用，起到了对固定杆2与真空处理容器1进行可拆卸连接，从而便于使用者对固定杆2进行组装、检修等一系列操作，进一步提高使用便捷性的作用。
37.具体的，固定杆2的顶部开设有若干等间距分布的散热孔29，散热孔29的内腔填充有滤网。
38.本实施例中：通过散热孔29的设置，起到了提高电机4周围空气的流通，实现冷热空气的交互，进一步对电机4的运行热量进行传导的作用。
39.具体的，固定板10的底部固定连接有支撑板30，支撑板30的一侧与真空处理容器1固定连接。
40.本实施例中：通过支撑板30的设置，起到了对固定板10进行支撑，提高固定板10的纵向连接力矩，进一步提高元件稳定性的作用。
41.具体的，锁止块12底部的前侧和后侧均开设有斜面。
42.本实施例中：通过锁止块12两侧斜面的设置，起到了通过和横槽11配合使用，对锁止块12进行导向和支撑，进而提高传动稳定性的作用。
43.具体的，活动槽二13内腔的两侧均开设有限位槽31，两个限位槽31相对的一侧均滑动连接有限位块32，限位块32的一侧与连接架9固定连接。
44.本实施例中：通过限位槽31和限位块32的设置，起到了对活动槽二13进行限位和导向，不仅避免活动槽二13与锁止块12脱离，同时保持活动槽二13的传动更流畅的作用。
45.具体的，述过滤网一25的孔径大于滤网二26的孔径。
46.本实施例中：通过扣槽24和过滤网一25孔径大小的设置，起到了对气体中的杂质进行从粗到精的过滤，逐层递进，逐步提高去污能力的作用。
47.一种离子注入机用真空系统的工艺优化方法，其方法包括如下步骤：
48.步骤一：首先当使用者需要对真空泵箱14安装时，开启电机4，电机4的输出轴带动螺纹杆5转动，螺纹杆5通过螺纹牙的连接和传动带动螺纹套6转动，但在连接凸块7和活动槽一8的配合使用下，使得螺纹杆5只能带动螺纹套6在竖直方向上下移动，进而使得螺纹套6通过连接凸块7的连接带动连接架9同向移动，当连接架9向下移动时，其带动限位块32在限位槽31和活动槽二13的内腔向下运动，随着连接架9的持续下移，其与真空泵箱14的夹角逐渐变小，并使得两个锁止块12不断相对运动，进而移动至锁止槽15的内腔，从而通过两个锁止块12完成对真空泵箱14的夹持固定，达到快速安装，且对不同型号的真空泵箱14均可
固定的目的，进一步提高了适用范围；
49.步骤二：使用者首先将过滤网一25和过滤网二26依次卡合至置物槽19的内腔，接着将真空连接管16与真空泵箱14连通，待真空泵箱14开启后，通过真空连接管16的气体首先经过过滤网一25，实现对其的首次过滤，并将气体中大颗粒杂质去除后，气体再经过过滤网二26，过滤网二26相较于过滤网一25，其孔径更小更密，进而再对气体中更小的杂质进行再次过滤，经过两次过滤后的气体，最后通过通孔20在真空连接管16的内腔继续流动，待经过一段时间的使用后，使用者通过用手扣住扣槽24，通过扣槽24将固定板一17和固定板二18向内按压，固定板一17和固定板二18分别带动耳板一21和耳板二22同向转动，并通过连接条23的连接，使固定板一17和固定板二18保持较同一的状态同时运动，进而固定板一17和固定板二18分别以其与真空连接管16的连接轴为圆心转动，且待固定板一17和固定板二18转动时，由于固定板一17和固定板二18放置状态的变换，即将过滤网一25和过滤网二26向外顶出，从而使过滤网一25和过滤网二26脱离固定板一17和固定板二18的内腔，进而使用者即可将其取下，进一步完成对其清洁的作用。
50.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
51.虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。