技术特征：
1.晶圆传输装置，其特征在于：包括输送机械手、放置架、对准装置和对准机械手；所述输送机械手位于晶圆装载盒、放置架之间，所述输送机械手将晶圆装载盒内的晶圆搬运至放置架上，一次搬运一组晶圆，一组晶圆为n片，n为正整数；所述对准机械手位于放置架和对准装置之间，用于在所述放置架和对准装置之间搬运晶圆。2.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述放置架至少能存放2n片晶圆。3.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述放置架上完成对准后的一组晶圆的定位槽朝向第一方向或第二方向，且前后放置在所述放置架上的两组对准后的晶圆，所述定位槽分别朝向第一方向和第二方向。4.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于：一组所述晶圆包括五片晶圆。5.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述输送机械手、放置架、对准装置和对准机械手均设置在一个框架内，所述框架上开设有与晶圆装载盒对应的至少一个装载盒端口和与晶圆加工设备对应的至少一个加工端口。6.根据权利要求5所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述框架包括垂直设置的第一框架和第二框架，所述输送机械手设置在第一框架内，所述放置架、对准装置和对准机械手设置在第二框架内，且所述放置架位于第二框架靠近第一框架的一侧。7.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述对准机械手一次可搬运一片晶圆，所述对准机械手在放置架和对准装置之间逐片搬运晶圆。8.根据权利要求7所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述对准机械手为两个手指的机械手。9.根据权利要求8所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述对准机械手的两个手指可以做独立的伸展和收缩运动。10.根据权利要求8所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述对准机械手的两个手指可以做关联的伸展和收缩运动。11.设备平台系统，其特征在于：包括晶圆加工设备和权利要求2-10任一所述的晶圆传输装置；输送机械手将放置架上对准后的晶圆搬运至晶圆加工设备内，一次搬运一组晶圆；所述晶圆加工设备对所述晶圆进行工艺加工；输送机械手将晶圆加工设备内完成工艺加工的晶圆搬回至晶圆装载盒，一次搬运一组晶圆。12.根据权利要求11所述的设备平台系统，其特征在于：所述晶圆加工设备包括密封的工艺腔，所述工艺腔内设置有工艺机械手和工艺加工承载部件，所述工艺腔通过至少一个装载腔与晶圆输送装置耦接，所述装载腔用于存放输送机械手输送来的对准后的晶圆，所述工艺机械手位于工艺区和装载腔之间，用于在所述装载腔和工艺加工承载部件之间搬运晶圆。13.根据权利要求12所述的设备平台系统，其特征在于：所述装载腔包括存放架，所述存放架内至少可以存放n片晶圆，所述装载腔能够实现真空状态和大气状态的切换，所述装载腔包括第一端口和第二端口，所述第一端口和第二端口均设置有可上下移动的密封门，
所述第一端口与晶圆传输装置耦接，所述第二端口与工艺腔耦接。14.根据权利要求13所述的设备平台系统，其特征在于，所述存放架可上下移动。15.根据权利要求14所述的设备平台系统，其特征在于：所述装载腔为两个，包括第一装载腔和第二装载腔，所述工艺腔通过第一装载腔和第二装载腔与晶圆输送装置耦接，所述第一装载腔和第二装载腔相对所述工艺机械手对称设置。16.根据权利要求15所述的设备平台系统，其特征在于：所述第一装载腔的第二端口和所述第二装载腔的第二端口均面向工艺机械手开设，且所述两个第二端口相对于所述工艺机械手对称设置；对准后晶圆定位槽朝向第一方向的一组所述晶圆放置在第一装载腔内，对准后晶圆定位槽朝向第二方向的一组所述晶圆放置在第二装载腔内。17.根据权利要求13-16任一项所述的设备平台系统，其特征在于：所述放置架内至少可以存放3n片晶圆， 且所述存放架内至少可以存放2n片晶圆。18.根据权利要求17所述的设备平台系统，其特征在于：所述晶圆加工设备为离子注入机。19.设备平台系统的晶圆传输方法，基于上述权利要求11-18任一项所述的设备平台系统，其特征在于：包括如下步骤步骤一、输送机械手在晶圆装载盒中搬运一组晶圆，并搬运放置到放置架上；步骤二、对准机械手将放置架上的未对准的晶圆搬运到对准装置进行对准，并将对准好的晶圆搬运到放置架上；步骤三、输送机械手在对准机械手工作的同时，将放置架上已经对准好的一组晶圆搬运到晶圆加工设备内；步骤四、重复步骤一-步骤三，将多组晶圆输送到晶圆加工设备中。20.根据权利要求19所述的设备平台系统的晶圆传输方法，其特征在于：在所述步骤三跳转到步骤一之前，所述输送机械手还能将晶圆加工设备内完成工艺加工的一组晶圆搬运至晶圆装载盒内。21.根据权利要求20所述的设备平台系统的晶圆传输方法，其特征在于：所述晶圆加工设备中的工艺机械手，在所述步骤一-步骤四过程中，同步处于搬运状态。22.晶圆传输装置，其特征在于：包括第一机械手、放置架、第二机械手和晶圆预处理装置；所述第一机械手位于晶圆装载盒、放置架之间，所述第一机械手用于将晶圆装载盒内的晶圆搬运至放置架上；所述第二机械手位于放置架和晶圆预处理装置之间，用于在所述放置架和晶圆预处理装置之间搬运晶圆。23.根据权利要求22所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述放置架可以上下移动。24.根据权利要求22-23任一项所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述第一机械手和第二机械手可以同时在放置架上取放晶圆。25.根据权利要求24所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述晶圆预处理装置是晶圆开口对准装置。26.根据权利要求24所述的晶圆传输装置，其特征在于：所述晶圆预处理装置是晶圆检测装置。
技术总结
本发明公开了晶圆传输装置、设备平台系统及其晶圆传输方法，其中晶圆传输装置包括输送机械手、放置架、对准装置和对准机械手。输送机械手位于晶圆装载盒、放置架和晶圆加工设备之间，输送机械手用于将晶圆装载盒内的晶圆搬运至放置架上，并将放置架上对准后的晶圆搬运至晶圆加工设备内。对准机械手位于放置架和对准装置之间，用于在放置架和对准装置之间搬运晶圆。放置架缓存晶圆，各个机械手无需等待，提高了晶圆的传输速度，进而提高了晶圆的生产产能。能。能。
技术研发人员：杨晓晅 叶莹
受保护的技术使用者：杨晓晅 上海果纳半导体技术有限公司
技术研发日：2022.08.08
技术公布日：2022/9/6