基板处理装置、异常检测方法及存储有异常检测程序的计算机可读介质与流程

本发明涉及对基板进行处理的基板处理装置、异常检测方法及存储有异常检测程序的计算机可读介质(non-transitory computer readable medium)。

背景技术：

1、为了对半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光罩用玻璃基板或光盘用玻璃基板等基板进行成膜、显影或清洗等的各种处理而使用基板处理装置。若长期间使用基板处理装置，则存在发生基板处理装置的动作构件的损伤或劣化等异常的情况。

2、在日本特开2018-77764号公报中，记载了一种能够预知半导体制造装置的异常的异常探测装置。在该异常探测装置中，以规定周期收集表示半导体制造装置的各部分的状态的状态信息。状态信息包括例如半导体制造装置的各部分的温度、压力、气体流量或电力等。收集到的状态信息按规定单位作为日志保存。

3、基于所保存的日志，生成监视半导体制造装置的各部分的状态的监视带。监视带是判断所收集的状态信息是否正常时使用的波形，例如通过基于对每个规定周期设定的上限值及下限值进行插值而生成。基于状态信息和监视带，判断半导体制造装置的各部分的状态是否异常。

技术实现思路

1、如日本特开2018-77764号公报所记载的异常探测装置那样，期望在基板处理装置的故障之前检测出异常。

2、本发明的目的在于提供一种能够早期检测出异常的基板处理装置、异常检测方法及存储有异常检测程序的计算机可读介质。

3、(1)根据本发明的一个方面的基板处理装置是包含在使用处理液的基板的处理中使用的第1动作构件及第2动作构件的基板处理装置，具备：动作值获取部，其获取第1动作构件的第1动作值和第2动作构件的第2动作值；以及异常判断部，其基于由动作值获取部获取到的第1动作值与第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。

4、在该基板处理装置中，进行使用处理液的基板的处理。另外，基于第1动作构件的第1动作值与第2动作构件的第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。因此，能够在基板处理装置的故障之前早期检测出基板处理装置的异常。

5、(2)也可以是，异常判断部基于根据由动作值获取部获取到的第1动作值与第2动作值的组而确定的数据点中的、超出基于第1动作值与第2动作值的相关性而确定的容许范围的数据点的比例来判断是否发生了异常。该情况下，能够以简单的处理检测基板处理装置的异常。

6、(3)也可以是，容许范围确定为包含根据在基板的处理前由动作值获取部预先获取到的第1动作值与第2动作值的组而确定的数据点中的规定比例的数据点。该情况下，能够容易地确定异常判断中使用的容许范围。

7、(4)也可以是，每处理规定数量的基板或每经过规定时间，则异常判断部判断是否发生了异常。根据该结构，更容易早期检测出基板处理装置的异常。

8、(5)也可以是，第1动作构件包含基于第1脉冲值来调整向基板供给的处理液的流量的第1调整阀，第2动作构件包含基于第2脉冲值来调整向基板供给的处理液的流量的第2调整阀，第1动作值是对第1调整阀提供的第1脉冲值，第2动作值是对第2调整阀提供的第2脉冲值。

9、该情况下，能够基于对第1调整阀提供的第1脉冲值与对第2调整阀提供的第2脉冲值的相关性，早期检测出基板处理装置的异常。

10、(6)也可以是，第1动作构件包含基于脉冲值来调整向基板供给的处理液的流量的调整阀，第2动作构件包含检测向调整阀引导的处理液的压力的压力计，第1动作值是对调整阀提供的脉冲值，第2动作值是由压力计检测出的压力。

11、该情况下，能够基于对调整阀提供的脉冲值与由压力计检测出的压力的相关性，早期检测出基板处理装置的异常。

12、(7)也可以是，第1动作构件包含分别检测第1处理液及第2处理液的流量的第1流量计及第2流量计，第2动作构件包含检测通过第1处理液和第2处理液的混合而生成的混合处理液的浓度的浓度计，第1动作值是根据由第1流量计及第2流量计分别检测出的第1处理液的流量与第2处理液的流量之比计算出的混合处理液的浓度的理论值，第2动作值是由浓度计检测出的混合处理液的浓度的实测值。

13、该情况下，能够基于根据第1处理液的流量与第2处理液的流量之比计算出的混合处理液的浓度的理论值、与由浓度计检测出的混合处理液的浓度的实测值的相关性，早期检测出基板处理装置的异常。

14、(8)也可以是，基板处理装置还包含供第1处理液与第2处理液混合而成的混合处理液流入的蓄留部，第1动作构件包含分别检测第1处理液及第2处理液的流量的第1流量计及第2流量计，第2动作构件包含检测从蓄留部流出的混合处理液的浓度的浓度计，流入到蓄留部的混合处理液以第1时间到达浓度计，第1动作值是根据在第1时点与从第1时点经过第2时间的第2时点之间由第1流量计及第2流量计分别检测出的第1处理液的流量的累计值和第2处理液的流量的累计值而计算出的混合处理液的浓度的理论值，第2动作值是在从第1时点经过第1时间的第3时点与从第2时点经过第1时间的第4时点之间由浓度计检测出的混合处理液的浓度的统计值。

15、该情况下，基于根据第1处理液的流量的累计值和第2处理液的流量的累计值计算出的混合处理液的浓度的理论值与混合处理液的浓度的统计值的相关性来判断基板处理装置是否发生了异常。在此，由于在上述混合处理液的浓度的理论值与混合处理液的浓度的统计值之间存在强相关性，所以能够更可靠地检测基板处理装置的异常。

16、(9)也可以是，第1动作构件包含分别检测第1处理液及第2处理液的流量的第1流量计及第2流量计，第2动作构件包含检测通过第1处理液与第2处理液的混合而生成的混合处理液的浓度的浓度计，准备浓度预测模型，该浓度预测模型机器学习了第1时点与从第1时点经过第1时间的第2时点之间的第1处理液的流量、第2处理液的流量及混合处理液的浓度、与从第2时点经过第2时间的第3时点下的混合处理液的浓度之间的关系，第1动作值是通过将在第4时点与从第4时点经过第1时间的第5时点之间由第1流量计检测出的第1处理液的流量、由第2流量计检测出的第2处理液的流量、以及由浓度计检测出的混合处理液的浓度适用于浓度预测模型而获取的、从第5时点经过第2时间的第6时点下的混合处理液的浓度的预测值，第2动作值是在第6时点由浓度计检测出的混合处理液的浓度的实测值。

17、该情况下，能够基于根据浓度预测模型获取到的混合处理液的浓度的预测值与由浓度计检测出的混合处理液的浓度的实测值的相关性，在比较短的期间检测出在基板处理装置发生的单发性的异常。

18、(10)也可以是，基板处理装置还包含：蓄留部，其蓄留第1处理液与第2处理液混合而成的混合处理液；基板处理部，其使用混合处理液对基板进行处理；第1流路部，其将第1处理液与第2处理液混合而生成混合处理液并引导到蓄留部；第2流路部，其将蓄留部中蓄留的混合处理液引导到基板处理部；和第3流路部，其将基板处理部中的未使用的混合处理液引导到蓄留部，第1动作构件包含分别检测第1处理液及第2处理液的流量的第1流量计及第2流量计，第2动作构件包含检测从蓄留部流出的混合处理液的浓度的浓度计，通过第1流路部流入到蓄留部的混合处理液以第1时间到达浓度计，第1动作值是根据在单位时间通过第1流路部向蓄留部流入的混合处理液的容量、通过第2流路部从蓄留部流出的混合处理液的容量、以及通过第3流路部向蓄留部流入的混合处理液的容量、和由第1流量计及第2流量计分别检测出的第1处理液的流量及第2处理液的流量而计算出的、在各时点蓄留于蓄留部的混合处理液的浓度的理论值，第2动作值是在从混合处理液通过第1流路部流入到蓄留部的时点经过第1时间的时点，由浓度计检测出的混合处理液的浓度的实测值。

19、在向基板处理部供给的混合处理液的浓度发生变动的情况下，由于基板处理部中的未使用的混合处理液返回到蓄留部，从而蓄留部中蓄留的混合处理液的浓度发生变动。即使在该情况下，根据上述结构，也基于根据相对于蓄留部流入或流出的混合处理液的容量和第1处理液的流量及第2处理液的流量计算出的蓄留部中蓄留的混合处理液的浓度的理论值、与由浓度计检测出的混合处理液的浓度的实测值的相关性来判断基板处理装置中是否发生了异常。该情况下，能够增强混合处理液的浓度的理论值与混合处理液的浓度的统计值之间的相关性。由此，能够更可靠地检测基板处理装置的异常。

20、(11)也可以是，第1动作构件包含在保持基板的第1闭状态与不保持基板的第1开状态之间转变的第1卡盘销，第2动作构件包含在保持基板的第2闭状态与不保持基板的第2开状态之间转变的第2卡盘销，第1动作值是第1卡盘销中的第1闭状态与第1开状态之间的转变时间，第2动作值是第2卡盘销中的第2闭状态与第2开状态之间的转变时间。

21、该情况下，能够基于第1卡盘销的转变时间与第2卡盘销的转变时间的相关性，早期检测出基板处理装置的异常。

22、(12)也可以是，第1动作构件包含在保持基板的第1闭状态与不保持基板的第1开状态之间转变的卡盘销，第2动作构件包含在使卡盘销转变为第1闭状态的第2闭状态与使卡盘销转变为第1开状态的第2开状态之间转变的卡盘驱动部，第1动作值是卡盘销中的第1闭状态与第1开状态之间的转变时间，第2动作值是卡盘驱动部中的第2闭状态与第2开状态之间的转变时间。

23、该情况下，能够基于卡盘销的转变时间与卡盘驱动部的转变时间的相关性，早期检测出基板处理装置的异常。

24、(13)也可以是，第1动作构件包含在不处理基板的第1待机位置与处理基板的第1处理位置之间转变的第1处理工具，第2动作构件包含在不处理基板的第2待机位置与处理基板的第2处理位置之间转变的第2处理工具，第1动作值是第1处理工具中的第1待机位置与第1处理位置之间的转变时间，第2动作值是第2处理工具中的第2待机位置与第2处理位置之间的转变时间。

25、该情况下，能够基于第1处理工具的转变时间与第2处理工具的转变时间的相关性，早期检测出基板处理装置的异常。

26、(14)也可以是，基板处理装置还具备动作值选择部，其选择由动作值获取部获取到的第2动作值中的满足规定基准的第2动作值，并选择由动作值获取部获取到的第1动作值中的与所选择出的第2动作值相对应的第1动作值，异常判断部基于由动作值选择部选择出的第1动作值的时间序列的变化来判断是否发生了异常。

27、该情况下，基于所获取到的第1动作值中的满足规定基准的第1动作值的时间序列的变化来判断是否发生了异常。由此，能够准确地检测基板处理装置的异常。

28、(15)也可以是，第1动作构件包含检测旋转驱动部的转矩的转矩传感器，第2动作构件包含检测旋转驱动部的温度的温度传感器，第1动作值是由转矩传感器检测出的旋转驱动部的转矩，第2动作值是由温度传感器检测出的旋转驱动部的温度。

29、该情况下，能够基于由温度传感器检测出的旋转驱动部的温度，容易地选择由转矩传感器检测出的旋转驱动部的转矩中的满足规定基准的转矩。由此，能够容易地检测基板处理装置的异常。

30、(16)也可以是，第1动作值是由转矩传感器检测出的旋转驱动部的转矩中的、旋转驱动部以规定的恒定旋转速度旋转时的转矩，第2动作值是由温度传感器检测出的旋转驱动部的温度中的、旋转驱动部以恒定旋转速度旋转时的温度。该情况下，能够更准确地检测基板处理装置的异常。

31、(17)根据本发明的另一方面的异常检测方法是检测包含在使用处理液的基板的处理中使用的第1动作构件及第2动作构件的基板处理装置的异常的异常检测方法，包括：获取彼此相关的第1动作构件的第1动作值和第2动作构件的第2动作值；以及基于所获取到的第1动作值及第2动作值来判断是否发生了异常。

32、根据该异常检测方法，在使用处理液的基板的处理中，基于第1动作构件的第1动作值与第2动作构件的第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。因此，能够在基板处理装置的故障之前早期检测出基板处理装置的异常。

33、(18)根据本发明的又一方面的存储有异常检测程序的计算机可读介质(non-transitory computer readable medium)是存储有由处理装置执行且检测包含在使用处理液的基板的处理中使用的第1动作构件及第2动作构件的基板处理装置的异常的异常检测程序的计算机可读介质，异常检测程序使处理装置执行以下处理：获取彼此相关的第1动作构件的第1动作值和第2动作构件的第2动作值的处理；以及基于所获取到的第1动作值及第2动作值来判断是否发生了异常。

34、根据该异常检测程序，在使用处理液的基板的处理中，基于第1动作构件的第1动作值与第2动作构件的第2动作值的相关性来判断是否发生了异常。因此，能够在基板处理装置的故障之前早期检测出基板处理装置的异常。