一种晶圆偏心调节方法、装置及存储介质与流程

1.本发明涉及一种晶圆检测时的位置调节方法，尤其是一种晶圆偏心调节方法、装置及存储介质。


背景技术：

2.晶圆的边缘曝光时，晶圆通过机械手放置到吸盘上，并吸附在吸盘上，此时由于累积误差，晶圆的圆心与吸盘的圆心不一定重合，因此需要晶圆的边缘在曝光时需要移动吸盘的位置，从而使晶圆边缘的曝光距离一致，晶圆的边缘形成环形的曝光。现有的技术中，吸盘安装在十字形直线模组上，吸盘沿x轴和y轴移动，从而使晶圆转动时能够保持曝光位置在晶圆的边缘不变。但是这种方式导致结构较为复杂、设备体积较大，并且造成控制的误差较大，降低了精度。


技术实现要素：

3.为解决上述问题，本发明提供一种能够准确控制吸盘的移动位置、精度高、并且只有一个直线模组、结构紧凑的一种晶圆偏心调节方法，具体技术方案为：
4.一种晶圆偏心调节方法，包括以下步骤：
5.s1、采样，将晶圆放置到吸盘上转动一圈，并通过线性ccd采集晶圆的边缘位置数据；
6.s2、拟合，结合边缘位置数据以及实时角度数据通过极坐标转换算法，转换为坐标系位置并拟合出当前位置的晶圆外边缘图形数据以及圆心坐标；
7.s3、确认晶圆定位槽的圆心点，计算细分偏差量：
8.δd＝(xi-a)2+(yi-b)
2-r2，
9.式中，xi、yi为晶圆边缘坐标数据；
10.r为晶圆半径；
11.a、b为拟合圆心坐标；
12.依次比较获得偏差量最大值，偏离最大值为定位槽的中心位置，对应角度即为圆心夹角θ；
13.s4、二次拟合：去除定位槽的附近数据，重新拟合数据获得整圆边缘图形数据，对应重新拟合的圆心数据坐标为(a0，b0)，半径为r，即晶圆的圆心旋转轨迹为以坐标系原点为圆心，r为半径的圆形；
14.s5、曝光补偿：经推算从定位槽中心点角度位置开始，旋转i角度对应的x轴补偿距离公式为：
[0015][0016]
其中r为晶圆半径，r为圆心轨迹半径；
[0017]
s6、同步曝光：同步控制旋转轴角度与x轴补偿距离完成曝光。
[0018]
一种晶圆偏心调节方法的装置，所述装置包括：处理器、存储器以及程序；所述程
序存储在所述存储器中，所述处理器调用存储器存储的程序，以执行一种晶圆偏心调节方法的步骤。
[0019]
一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质被配置成存储程序，所述程序被配置成执行上述一种晶圆偏心调节方法的步骤。
[0020]
与现有技术相比本发明具有以下有益效果：
[0021]
本发明提供的一种晶圆偏心调节方法通过一个直线模组进行晶圆的偏心调节，使结构紧凑、减少了控制误差、提高了控制精度。
附图说明
[0022]
图1是一种晶圆偏心调节方法的流程图；
[0023]
图2是曝光装置的结构示意图。
具体实施方式
[0024]
现结合附图对本发明作进一步说明。
[0025]
如图1所示，一种晶圆偏心调节方法，包括以下步骤：
[0026]
s1、采样，将晶圆放置到吸盘上转动一圈，并通过线性ccd采集晶圆的边缘位置数据；吸盘吸住晶圆，直线模组将晶圆移动到设定位置，然后吸盘在电机的作用下旋转，线性ccd采集晶圆边缘的数据，同时线性ccd根据晶圆的定位缺口将边缘数据与吸盘相对于直线模组的角度对应起来；
[0027]
s2、拟合，结合边缘位置数据以及实时角度数据通过极坐标转换算法，转换为坐标系位置并拟合出当前位置的晶圆外边缘图形数据以及圆心坐标；
[0028]
s3、确认晶圆定位槽的圆心点，计算细分偏差量：
[0029]
δd＝(xi-a)2+(yi-b)
2-r2，
[0030]
式中，xi、yi为晶圆边缘坐标数据；
[0031]
r为晶圆半径；
[0032]
a、b为拟合圆心坐标；
[0033]
依次比较获得偏差量最大值，偏离最大值为定位槽的中心位置，对应角度即为圆心夹角θ；
[0034]
s4、二次拟合：去除定位槽的附近数据，重新拟合数据获得整圆边缘图形数据，对应重新拟合的圆心数据坐标为(a0，b0)，半径为r，即晶圆的圆心旋转轨迹为以坐标系原点为圆心，r为半径的圆形；
[0035]
s5、曝光补偿：经推算从定位槽中心点角度位置开始，旋转i角度对应的x轴补偿距离公式为：
[0036][0037]
其中r为晶圆半径，r为圆心轨迹半径；
[0038]
s6、同步曝光：同步控制旋转轴角度与x轴补偿距离完成曝光。
[0039]
步骤s2中的角度指吸盘的旋转轴实时角度，也就是旋转轴与x轴同步补偿的角度。
[0040]
如图2所示，曝光装置，吸盘1通过旋转电机安装在直线模组2上，线性ccd3位于直线模组2的一侧，且与直线模组成一定的角度。紫外曝光器4位于直线模组2的一端，且与吸
盘1在同一轴线上，吸盘1的轴线、直线模组2的轴线和紫外曝光器4的轴线均在同一个平面内，吸盘1的轴线与紫外曝光器4的轴线平行，两者的轴线均与直线模组2的轴线垂直。
[0041]
工作时，晶圆放置在吸盘上，吸盘吸住硅片，然后直线模组带动晶圆移动到检测原点，晶圆的边缘插入到线性ccd上，吸盘在电机的作用下旋转一周，线性ccd采集晶圆的边缘数据，同时系统记录吸盘的转动角度，然后根据晶圆的缺口将晶圆的边缘数据与吸盘的转动角度一一对应，根据得到的数据计算晶圆的偏心距，然后根据吸盘角度对应的偏心距调整直线模组，从而使晶圆转动时，晶圆的中心与曝光器之间的距离保持一致，最终得到的曝光环的轴线与晶圆同轴线重合。
[0042]
一种晶圆偏心调节方法的装置，所述装置包括：处理器、存储器以及程序；所述程序存储在所述存储器中，所述处理器调用存储器存储的程序，以执行一种晶圆偏心调节方法的步骤。
[0043]
存储器和处理器之间直接或间接地电性连接，以实现数据的传输或交互。例如，这些元件相互之间可以通过一条或者多条通信总线或信号线实现电性连接，如可以通过总线连接。存储器中存储有实现数据访问控制方法的计算机执行指令，包括至少一个可以软件或固件的形式存储于存储器中的软件功能模块，处理器通过运行存储在存储器内的软件程序以及模块，从而执行各种功能应用以及数据处理。
[0044]
存储器可以是，但不限于，随机存取存储器(random access memory，简称：ram)，只读存储器(read only memory，简称：rom)，可编程只读存储器(programmable read-only memory，简称：prom)，可擦除只读存储器(erasable programmable read-only memory，简称：eprom)，电可擦除只读存储器(electric erasable programmable read-only memory，简称：eeprom)等。其中，存储器用于存储程序，处理器在接收到执行指令后，执行程序。
[0045]
处理器可以是一种集成电路芯片，具有信号的处理能力。上述的处理器可以是通用处理器，包括中央处理器(central processing unit，简称：cpu)、网络处理器(network processor，简称：np)等。可以实现或者执行本技术实施例中的公开的各方法、步骤及逻辑框图。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
[0046]
一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质被配置成存储程序，所述程序被配置成执行一种晶圆偏心调节方法的步骤。
[0047]
本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图来描述的。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图和/或中指定的功能的装置。
[0048]
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图指定的功能。
[0049]
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图中指定的功能的步骤。
[0050]
以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的
原理，而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式，这些方式都将落入本发明权利要求的保护范围之内。