一种铟柱起球控制方法、装置和设备与流程

1.本发明一般涉及半导体技术领域，并且更具体地，涉及一种铟柱起球控制方法、装置和设备。


背景技术：

2.铟柱起球可以提高铟球凸点高度，一方面提高面阵光敏芯片与电路芯片的互连可靠性，解决因器件表面不平整导致的部分像元无法互连的问题，另一方面有效缩小铟柱之间的差异，保障后期倒装焊工艺的顺利开展。
3.现有技术为将铟柱浸泡于一定比例的氯化铵和甘油的混合溶液中，加热至铟的熔点左右的温度，通过甘油作为导热介质，将铟柱与甘油中溶解的氯化铵活性剂进行反应，使铟柱表面回流形成球状或半球状。然而现有方式中操作过于复杂，并且由于晶圆双面都浸泡于甘油中，导致需要对两个面都做清洗处理，对清洗工艺要求较高。


技术实现要素：

4.根据本发明的实施例，提供了一种铟柱起球控制方案。本方案操作过程简单，能够实现铟柱自动起球，反应后只需要对晶圆的一个面进行清洗即可。
5.在本发明的第一方面，提供了一种铟柱起球控制方法。该方法应用于机器人控制器，包括：响应于启动信号，控制旋涂单元的旋转驱动机构动作，带动晶圆跟随所述旋转驱动机构进行旋转；所述启动信号为在所述晶圆放置于所述旋涂单元内且处于真空吸附状态后由所述旋涂单元生成；当所述旋转驱动机构达到预设转速时，控制所述旋涂单元将甘油混合溶液喷涂至晶圆上表面的中心位置；判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，若是，则控制所述旋涂单元停止甘油混合溶液的喷涂以及停止所述旋转驱动机构；否则保持当前工作状态；在所述旋转驱动机构处于停止状态后，控制机器人手臂将表面覆盖甘油混合溶液的晶圆从所述旋涂单元取出，送入烘烤单元进行烘烤，使覆盖于晶圆表面的甘油混合溶液与所述晶圆表面的铟柱进行反应；当达到预设反应时间后，控制机器人手臂将反应后的晶圆从所述烘烤单元取出，送入清洗单元进行清洗；当达到预设清洗时间后，控制机器人手臂将清洗后的晶圆从所述清洗单元取出，送至片盒。
6.进一步地，所述晶圆的表面设置有若干个铟柱。
7.进一步地，所述判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，包括：获取所述晶圆表面图像；判断所述晶圆表面图像中是否存在非边缘纹理特征；若存在，则认为处于所述晶
圆表面的甘油混合溶液并未覆盖全部晶圆表面；否则，认为处于所述晶圆表面的甘油混合溶液覆盖全部晶圆表面。
8.进一步地，所述判断所述晶圆表面图像中是否存在非边缘纹理特征，包括：根据轮廓提取算法对所述晶圆的边缘轮廓进行提取，得到所述晶圆的边缘纹理；判断所述晶圆的边缘纹理内是否存在甘油混合溶液边缘纹理特征，若存在，则将所述甘油混合溶液边缘纹理特征作为非边缘纹理特征；否则，所述晶圆表面图像中不存在非边缘纹理特征。
9.进一步地，还包括：在所述晶圆放置于旋涂单元内之前，所述机器人控制器控制机器人手臂将晶圆从片盒中取出，放入对中单元进行对中。
10.进一步地，还包括：当对中结束后，所述机器人控制器控制机器人手臂将晶圆从所述对中单元取出，送入旋涂单元。
11.进一步地，所述机器人控制器预设甘油混合溶液喷涂量，当所述旋涂单元喷涂的甘油混合溶液量达到预设甘油混合溶液喷涂量时，所述机器人控制器控制所述旋涂单元停止甘油混合溶液喷涂。
12.在本发明的第二方面，提供了一种铟柱起球控制装置。该装置包括：旋转控制单元，响应于启动信号，控制旋涂单元的旋转驱动机构动作，带动晶圆跟随所述旋转驱动机构进行旋转；所述启动信号为在所述晶圆放置于所述旋涂单元内且处于真空吸附状态后由所述旋涂单元生成；喷涂控制单元，用于当所述旋转驱动机构达到预设转速时，控制所述旋涂单元将甘油混合溶液喷涂至晶圆上表面的中心位置；检测单元，用于判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，若是，则控制所述旋涂单元停止甘油混合溶液的喷涂以及停止所述旋转驱动机构；否则保持当前工作状态；取送控制单元，用于在所述旋转驱动机构处于停止状态后，控制机器人手臂将表面覆盖甘油混合溶液的晶圆从所述旋涂单元取出，送入烘烤单元进行烘烤，使覆盖于晶圆表面的甘油混合溶液与所述晶圆表面的铟柱进行反应；当达到预设反应时间后，控制机器人手臂将反应后的晶圆从所述烘烤单元取出，送入清洗单元进行清洗；当达到预设清洗时间后，控制机器人手臂将清洗后的晶圆从所述清洗单元取出，送至片盒。
13.在本发明的第三方面，提供了一种电子设备。该电子设备至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本发明第一方面的方法。
14.应当理解，发明内容部分中所描述的内容并非旨在限定本发明的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
15.结合附图并参考以下详细说明，本发明各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素，其中：
图1示出了根据本发明的实施例的铟柱起球控制方法的流程图；图2示出了根据本发明的实施例的旋涂单元的结构示意图；图3为图2中a处放大图；图4示出了根据本发明的实施例的铟柱起球控制装置的方框图；图5示出了能够实施本发明的实施例的示例性电子设备的方框图；其中，1为底板，2为旋涂喷嘴组件，3为晶圆承载座，4为收集桶，5为防水罩，6为挡水环，7为主轴，8为轴承组，9为小齿形轮，10为同步带，11为真空进气接头，12为电机连接板，13为大齿形轮，14为电机，15为密封圈，17为轴承座，41为外桶，42为内桶，43为环形槽，44为通孔，45为环腔，400为装置，410为旋转控制单元，420为喷涂控制单元，430为检测单元，440为取送控制单元，500为电子设备、501为计算单元、502为rom、503为ram、504为总线、505为i/o接口、506为输入单元、507为输出单元、508为存储单元、509为通信单元。
具体实施方式
16.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的全部其他实施例，都属于本发明保护的范围。
17.另外，本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
18.图1示出了本发明实施例的铟柱起球控制方法的流程图。
19.该方法应用于机器人控制器，包括：s101、机器人控制器响应于启动信号，控制旋涂单元的旋转驱动机构动作，带动晶圆跟随所述旋转驱动机构进行旋转；所述启动信号为在所述晶圆放置于所述旋涂单元内且处于真空吸附状态后由所述旋涂单元生成。
20.在一些实施例中，在所述晶圆放置于旋涂单元内之前，还包括：操作人员通过取/送片盒，将装满晶圆的片盒固定到片盒机座上，片盒机座上设置检测装置，用于检测片盒是否放置于片盒机座的固定位置。若片盒已经放置于片盒机座的固定位置，则驱动机器人手臂把片盒中的晶圆取出，放入对中单元进行对中处理。在本实施例中，对中单元的对中方式为常规设置，例如双臂定位气缸驱动、六点pps材料接触晶圆边缘等。
21.当对中完成后，由机器人手臂将晶圆取出，放入旋涂单元中。
22.在晶圆放入旋涂单元后，旋涂单元会对晶圆进行真空吸附。
23.在本实施例中，设置真空检测单元对真空状态进行检测。所述真空检测单元例如真空表。当真空检测单元检测到晶圆承载座内部形成负压，且达到预设负压值时，说明晶圆放置于旋涂单元内且处于真空吸附状态，此时真空检测单元生成启动信号，发送至机器人控制器，机器人控制器响应于启动信号，向旋涂单元中的旋转驱动机构发出控制命令，控制旋涂单元的旋转驱动机构动作，具体控制电机旋转，带动晶圆跟随所述旋转驱动机构进行旋转。
24.在本实施例中，如图2所示，所述旋涂单元包括底板1、晶圆承载座3、收集桶4、防水罩5、主轴7、轴承座17及旋转驱动机构，其中收集桶4的底部设有安装孔，该安装孔内安装轴承座17，主轴7通过轴承组8安装在轴承座17上，主轴7的上端与晶圆承载座3连接，旋转驱动机构设置于轴承座17的底部且与主轴7连接，旋转驱动机构用于驱动主轴7转动；防水罩5套设于主轴7的外侧，且防水罩5的下端与收集桶4的底部密封连接；底板1套设于收集桶4的顶部，底板1上设有旋涂喷嘴组件2。
25.在本实施例中，如图2所示，旋转驱动机构包括小齿形轮9、同步带10、电机连接板12、大齿形轮13及电机14，其中电机连接板12安装在轴承座17的底部，电机14安装在电机连接板12上，且电机14的输出端与大齿形轮13连接，小齿形轮9设置于主轴7的下端，且通过同步带10与大齿形轮13传动连接。电机14带动大齿形轮13旋转，通过同步带10带动小齿形轮9旋转，小齿形轮9带动主轴7和晶圆承载座3进行高速回转。
26.在本实施例中，如图3所示，收集桶4包括相互嵌套的内桶42和外桶41，内桶42的上端通过连接部与外桶41的上端连接，内桶42的下端悬空，外桶41与内桶42之间形成环腔45；连接部上沿周向设有环形槽43，环形槽43的底部间隔设有多个与环腔45连通的通孔44。
27.在本实施例中，晶圆承载座3位于收集桶4的上方，且晶圆承载座3的外部边缘与环形槽43相对应。旋涂过程中，被甩出的甘油混合溶液进入环形槽43内，再通过通孔44进入环腔45内。
28.在本实施例中，主轴7内沿轴向设有真空通道，主轴7的下端通过真空进气接头11与外部真空气源连接。
29.在本实施例中，旋涂喷嘴组件2设置于晶圆承载座3的一侧，用于喷涂甘油混合溶液。
30.在本实施例中，将晶圆放在晶圆承载座3上，然后通过真空进气接头11接入真空管路，使晶圆承载座3内部形成负压，保证晶圆能吸附在晶圆承载座3上，晶圆吸附后启动电机14，电机14带动大齿形轮13旋转，通过同步带10带动小齿形轮9旋转，小齿形轮9带动主轴7和晶圆承载座3进行高速回转。回转过程中，旋涂喷嘴组件2移动至晶圆的指定位置进行喷涂，喷涂根据不同晶圆的尺寸大小计算出相应的喷涂量进行计量喷涂，晶圆通过高速旋转形成的离心力会使旋涂喷嘴喷出的甘油混合溶液均匀、平顺的吸附在晶圆表面，保证了晶圆表面喷涂的涂层厚度的一致性和平顺性。电机14通过同步带10直接驱动主轴7旋转，因为同步带10薄且轻，传动时线速度高，传动比高，传动效率可达98%，大大的增加了传动效率，减少了能量损耗。还由于同步带10的内部按齿轮结构设计，传递精度高，抗拉能力强，所以在带动晶圆回转时，晶圆的离心力可以将甘油精准和平顺将吸附在晶圆表面。控制甘油的喷涂量及速度，使甘油充分、精准、均匀的喷洒再晶圆上。另外，通过收集桶4可以有效收集旋涂过程中被甩出的溶液,从而大幅减少晶圆制备过程中产生的废液,不仅减小了环境污染,而且避免了材料浪费,降低了生产成本,提高了产品率。
31.s102、当所述旋转驱动机构达到预设转速时，控制所述旋涂单元将甘油混合溶液喷涂至晶圆上表面的中心位置。
32.在本实施例中，所述甘油混合溶液为一定比例的氯化铵和甘油的混合溶液。
33.在本实施例中，所述甘油混合溶液喷涂的位置为晶圆上表面的中心位置，由于后续需要通过晶圆旋转使甘油混合溶液覆盖整个晶圆表面，若喷涂位置在晶圆表面其他位
置，则容易使甘油回合溶液无法覆盖整个晶圆表面，以及会造成在还未覆盖整个晶圆表面时，甘油混合溶液旋转飞离晶圆表面，造成溶液浪费。
34.在一些实施例中，机器人控制器预设甘油混合溶液喷涂量，当所述旋涂单元喷涂的甘油混合溶液量达到预设甘油混合溶液喷涂量时，所述机器人控制器控制所述旋涂单元停止甘油混合溶液喷涂。设置甘油混合溶液喷涂量为了防止甘油浪费。
35.在本实施例中，所述晶圆的表面设置有若干个铟柱，铟柱以矩形阵列分布于晶圆表面，铟柱分布区域边缘接近晶圆边缘。故，若要使甘油混合溶液覆盖晶圆表面的全部铟柱，近似于将甘油混合溶液覆盖整个晶圆表面。
36.s103、判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，若是，则控制所述旋涂单元停止甘油混合溶液的喷涂以及停止所述旋转驱动机构；否则保持当前工作状态。
37.进一步地，所述判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，包括：通过高速摄像机获取所述晶圆表面图像；判断所述晶圆表面图像中是否存在非边缘纹理特征；若存在，则认为处于所述晶圆表面的甘油混合溶液并未覆盖全部晶圆表面；否则，认为处于所述晶圆表面的甘油混合溶液覆盖全部晶圆表面。
38.所述判断所述晶圆表面图像中是否存在非边缘纹理特征，包括：根据轮廓提取算法对所述晶圆的边缘轮廓进行提取，得到所述晶圆的边缘纹理；判断所述晶圆的边缘纹理内是否存在甘油混合溶液边缘纹理特征，若存在，则将所述甘油混合溶液边缘纹理特征作为非边缘纹理特征；否则，所述晶圆表面图像中不存在非边缘纹理特征。
39.在本实施例中，所述保持当前工作状态，即保持当前旋转驱动机构的转速不变，且保持旋涂单元继续喷涂甘油混合溶液，并继续对处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面进行判断。
40.s104、在所述旋转驱动机构处于停止状态后，机器人控制器控制机器人手臂将表面覆盖甘油混合溶液的晶圆从所述旋涂单元取出，送入烘烤单元进行烘烤，使覆盖于晶圆表面的甘油混合溶液与所述晶圆表面的铟柱进行反应。
41.在本实施例中，当处于所述晶圆表面的甘油混合溶液覆盖全部晶圆表面后，旋涂单元的旋转驱动机构停止旋转。机器人控制器控制所述机器人手臂将表面覆盖甘油混合溶液的晶圆从所述旋涂单元取出，送入烘烤单元进行烘烤。
42.在本实施例中，由于铟的反应温度（熔点）在160
°
左右，故将烘烤单元的烘烤温度设置为160
°
以上，通过甘油作为导热介质，将金属铟与甘油中溶解的氯化铵活性剂进行反应。
43.在本实施例中，机器人控制器预设反应时间，通过计时器进行计时，当到达预设反应时间时，机器人控制器控制机器人手臂，将反应后的晶圆从所述烘烤单元取出，送入清洗单元进行清洗。
44.在本实施例中，机器人控制器预设清洗时间，当到达预设清洗时间时，机器人控制器控制机器人手臂，将清洗后的晶圆从所述清洗单元取出，送至片盒。
45.根据本发明的实施例，操作过程简单，能够实现铟柱自动起球，反应后只需要对晶
圆的一个面（上表面）进行清洗即可。
46.需要说明的是，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
47.以上是关于方法实施例的介绍，以下通过装置实施例，对本发明所述方案进行进一步说明。
48.如图4所示，装置400包括：旋转控制单元410，响应于启动信号，控制旋涂单元的旋转驱动机构动作，带动晶圆跟随所述旋转驱动机构进行旋转；所述启动信号为在所述晶圆放置于所述旋涂单元内且处于真空吸附状态后由所述旋涂单元生成；喷涂控制单元420，用于当所述旋转驱动机构达到预设转速时，控制所述旋涂单元将甘油混合溶液喷涂至所述旋涂单元中的晶圆上表面的中心位置；检测单元430，用于判断处于所述晶圆表面的甘油混合溶液是否覆盖全部晶圆表面，若是，则控制所述旋涂单元停止甘油混合溶液的喷涂以及停止所述旋转驱动机构；否则保持当前工作状态；取送控制单元440，用于在所述旋转驱动机构处于停止状态后，控制机器人手臂将表面覆盖甘油混合溶液的晶圆从所述旋涂单元取出，送入烘烤单元进行烘烤，使覆盖于晶圆表面的甘油混合溶液与所述晶圆表面的铟柱进行反应；当达到预设反应时间后，控制机器人手臂将反应后的晶圆从所述烘烤单元取出，送入清洗单元进行清洗；当达到预设清洗时间后，控制机器人手臂将清洗后的晶圆从所述清洗单元取出，送至片盒。
49.所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，所述描述的模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
50.本发明的技术方案中，所涉及的用户个人信息的获取，存储和应用等，均符合相关法律法规的规定，且不违背公序良俗。
51.根据本发明的实施例，本发明还提供了一种电子设备。
52.图5示出了可以用来实施本发明的实施例的电子设备500的示意性框图。电子设备旨在表示各种形式的数字计算机，诸如，膝上型计算机、台式计算机、工作台、个人数字助理、服务器、刀片式服务器、大型计算机、和其它适合的计算机。电子设备还可以表示各种形式的移动装置，诸如，个人数字处理、蜂窝电话、智能电话、可穿戴设备和其它类似的计算装置。本文所示的部件、它们的连接和关系、以及它们的功能仅仅作为示例，并且不意在限制本文中描述的和/或者要求的本发明的实现。
53.设备500包括计算单元501，其可以根据存储在只读存储器（rom）502中的计算机程序或者从存储单元508加载到随机访问存储器（ram）503中的计算机程序，来执行各种适当的动作和处理。在ram 503中，还可存储设备500操作所需的各种程序和数据。计算单元501、rom 502以及ram 503通过总线504彼此相连。输入/输出（i/o）接口505也连接至总线504。
54.设备500中的多个部件连接至i/o接口505，包括：输入单元506，例如键盘、鼠标等；输出单元507，例如各种类型的显示器、扬声器等；存储单元508，例如磁盘、光盘等；以及通
信单元509，例如网卡、调制解调器、无线通信收发机等。通信单元509允许设备500通过诸如因特网的计算机网络和/或各种电信网络与其他设备交换信息/数据。
55.计算单元501可以是各种具有处理和计算能力的通用和/或专用处理组件。计算单元501的一些示例包括但不限于中央处理单元（cpu）、图形处理单元（gpu）、各种专用的人工智能（ai）计算芯片、各种运行机器学习模型算法的计算单元、数字信号处理器（dsp）、以及任何适当的处理器、控制器、微控制器等。计算单元501执行上文所描述的各个方法和处理，例如方法s101~s104。例如，在一些实施例中，方法s101~s104可被实现为计算机软件程序，其被有形地包含于机器可读介质，例如存储单元508。在一些实施例中，计算机程序的部分或者全部可以经由rom 502和/或通信单元509而被载入和/或安装到设备500上。当计算机程序加载到ram 503并由计算单元501执行时，可以执行上文描述的方法s101~s104的一个或多个步骤。备选地，在其他实施例中，计算单元501可以通过其他任何适当的方式（例如，借助于固件）而被配置为执行方法s101~s104。
56.本文中以上描述的系统和技术的各种实施方式可以在数字电子电路系统、集成电路系统、场可编程门阵列（fpga）、专用集成电路（asic）、专用标准产品（assp）、芯片上系统的系统（soc）、负载可编程逻辑设备（cpld）、计算机硬件、固件、软件、和/或它们的组合中实现。这些各种实施方式可以包括：实施在一个或者多个计算机程序中，该一个或者多个计算机程序可在包括至少一个可编程处理器的可编程系统上执行和/或解释，该可编程处理器可以是专用或者通用可编程处理器，可以从存储系统、至少一个输入装置、和至少一个输出装置接收数据和指令，并且将数据和指令传输至该存储系统、该至少一个输入装置、和该至少一个输出装置。
57.用于实施本发明的方法的程序代码可以采用一个或多个编程语言的任何组合来编写。这些程序代码可以提供给通用计算机、专用计算机或其他可编程数据处理装置的处理器或控制器，使得程序代码当由处理器或控制器执行时使流程图和/或框图中所规定的功能/操作被实施。程序代码可以完全在机器上执行、部分地在机器上执行，作为独立软件包部分地在机器上执行且部分地在远程机器上执行或完全在远程机器或服务器上执行。
58.在本发明的上下文中，机器可读介质可以是有形的介质，其可以包含或存储以供指令执行系统、装置或设备使用或与指令执行系统、装置或设备结合地使用的程序。机器可读介质可以是机器可读信号介质或机器可读储存介质。机器可读介质可以包括但不限于电子的、磁性的、光学的、电磁的、红外的、或半导体系统、装置或设备，或者上述内容的任何合适组合。机器可读存储介质的更具体示例会包括基于一个或多个线的电气连接、便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器（ram）、只读存储器（rom）、可擦除可编程只读存储器（eprom或快闪存储器）、光纤、便捷式紧凑盘只读存储器（cd-rom）、光学储存设备、磁储存设备、或上述内容的任何合适组合。
59.为了提供与用户的交互，可以在计算机上实施此处描述的系统和技术，该计算机具有：用于向用户显示信息的显示装置（例如，crt（阴极射线管）或者lcd（液晶显示器）监视器）；以及键盘和指向装置（例如，鼠标或者轨迹球），用户可以通过该键盘和该指向装置来将输入提供给计算机。其它种类的装置还可以用于提供与用户的交互；例如，提供给用户的反馈可以是任何形式的传感反馈（例如，视觉反馈、听觉反馈、或者触觉反馈）；并且可以用任何形式（包括声输入、语音输入或者、触觉输入）来接收来自用户的输入。
60.可以将此处描述的系统和技术实施在包括后台部件的计算系统（例如，作为数据服务器）、或者包括中间件部件的计算系统（例如，应用服务器）、或者包括前端部件的计算系统（例如，具有图形用户界面或者网络浏览器的用户计算机，用户可以通过该图形用户界面或者该网络浏览器来与此处描述的系统和技术的实施方式交互）、或者包括这种后台部件、中间件部件、或者前端部件的任何组合的计算系统中。可以通过任何形式或者介质的数字数据通信（例如，通信网络）来将系统的部件相互连接。通信网络的示例包括：局域网（lan）、广域网（wan）和互联网。
61.计算机系统可以包括客户端和服务器。客户端和服务器一般远离彼此并且通常通过通信网络进行交互。通过在相应的计算机上运行并且彼此具有客户端-服务器关系的计算机程序来产生客户端和服务器的关系。服务器可以是云服务器，也可以为分布式系统的服务器，或者是结合了区块链的服务器。
62.应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发明中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本发明的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。
63.上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。