电感器部件的制作方法

本发明涉及电感器部件。

背景技术：

1、作为以往的电感器部件，可举出日本特开2020－145399号公报(专利文献1)记载的电感器部件。电感器部件具备：包含金属磁性粉末的单元体、配置在单元体的内部的第1和第2线圈部、电连接于上述第1线圈部的一端的第1外部电极、以及、电连接于上述第2线圈部的一端的第2外部电极。而且，电感器部件在单元体的表面的整体具备使金属磁性粉末氧化而得的绝缘层，通过绝缘层来防止电感器部件与其它电子部件之间的短路。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2020-145399号公报

技术实现思路

1、然而，上述现有的电感器部件中，存在以下的课题。

2、氧化的金属磁性粉末会膨胀，因此，存在单元体与金属磁性粉末的密合性变弱，单元体的强度降低的课题。另外，还存在氧化的金属磁性粉末从单元体脱落，金属磁性粉末的数量减少，从而电感降低的课题。

3、因此，本发明提供一种电感器部件，其能抑制与其它电子部件的短路，并抑制单元体强度的降低和电感的降低。

4、为了解决上述课题，作为本发明的一个方式的电感器部件具备：

5、单元体，其包含磁性粉末，并具有第1主面和第2主面、以及连接上述第1主面和上述第2主面的侧面，

6、电感器布线，其设置于上述单元体内，

7、第1垂直布线，其设置于上述单元体内，且与上述电感器布线的第1端部连接，并延伸至上述第1主面，

8、第2垂直布线，其设置于上述单元体内，且与上述电感器布线的第1端部连接，并延伸至上述第2主面，

9、第1外部端子，其与上述第1垂直布线连接，并在上述第1主面露出，

10、第2外部端子，其与上述第2垂直布线连接，并在上述第1主面露出；

11、其中，上述磁性粉末以fe元素为主成分，

12、上述侧面具有多个上述磁性粉末被氧化的氧化膜露出的氧化区域、以及多个上述磁性粉末露出的非氧化区域。

13、在此，氧化区域是指fe元素为65wt％以上且o元素为24wt％以上的区域，非氧化区域是指fe元素为65wt％以上且o元素小于24wt％的区域。

14、在增大部件的安装密度的情况下，会有部件间的距离变短，相邻的部件中外部端子与单元体的侧面接触的情况。在该情况下，存在介由磁性粉末而发生短路的风险。根据上述方式，通过设置在单元体侧面的氧化区域，从而可以提高磁性粉末的电阻，抑制短路。另外，通过设置在单元体侧面的非氧化区域，从而可以抑制单元体强度的降低和电感的降低。

15、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

16、上述单元体包含含有上述磁性粉末的树脂，

17、上述氧化区域中的上述磁性粉末包含介由上述氧化膜而与上述树脂接触的磁性粉末。

18、根据上述实施方式，氧化区域中的磁性粉末介由氧化膜而与树脂接触，因此，能够更有效地抑制短路。

19、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

20、上述单元体包含含有上述磁性粉末的树脂，

21、上述氧化区域中的上述磁性粉末包含与上述树脂直接接触的磁性粉末。

22、根据上述实施方式，氧化区域中的磁性粉末与树脂直接接触，因此，磁性粉末与树脂的密合性提高，能更有效地抑制单元体强度的降低和电感的降低。

23、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

24、与上述非氧化区域相比，上述氧化区域的600nm～800nm的波长的反射率相对于小于600nm的波长的反射率的比例更大。

25、根据上述实施方式，氧化区域与非氧化区域相比，红色的反射更大。因此，氧化区域可见红色(暖色)，因此，能容易地掌握氧化区域的形成，可从外观确认是否具有短路耐性。

26、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

27、上述氧化膜形成于上述磁性粉末的截面。

28、根据上述实施方式，在研削单元体而使单元体的厚度变薄的情况下，磁性粉末被切断而使磁性粉末的截面暴露，但在磁性粉末的截面上形成氧化膜，因此，可以提高短路耐性。

29、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

30、上述氧化膜的厚度小于上述磁性粉末的d50粒径。

31、根据上述实施方式，如果氧化过度地进行，则会引起由单元体的强度的降低、磁性粉末的脱粒所导致的问题，但氧化膜比1粒磁性粉末更薄，因此，可以避免上述问题。

32、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

33、上述电感器布线具有第1引出部，该第1引出部与上述第1端部连接，并从上述侧面露出。

34、根据上述实施方式，通过设置第1引出部，从而在电感器部件的单片化时，在单元体的切断时可以确保强度，可以提高制造时的成品率。

35、第1引出部露出的侧面具有氧化区域，因此，设置多个电感器布线的情况下，可以提高侧面中的相邻的第1引出部之间的绝缘电阻。另外，在配置多个电感器部件的情况下，可以提高相邻的电感器部件的第1引出部之间的绝缘电阻。

36、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

37、上述电感器布线为多个，

38、多个电感器布线配置于与上述第1主面平行的同一平面，且互相电分离。

39、根据上述实施方式，可以构成电感器阵列，并增加电感的密度。

40、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

41、上述电感器布线为多个，

42、多个电感器布线沿与上述第1主面正交的方向而配置。

43、根据上述实施方式，可以增加电感的密度。

44、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

45、进一步具备设置在上述第1主面上的绝缘层。

46、根据上述实施方式，可以抑制在第1外部端子与第2外部端子之间产生短路。

47、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

48、上述第1主面具有上述氧化区域和上述非氧化区域。

49、根据上述实施方式，通过氧化区域从而在第1外部端子与第2外部端子之间介由第1主面的磁性粉末而抑制短路，通过非氧化区域从而可以抑制单元体强度的降低和电感的降低。

50、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

51、上述侧面具有从上述第1主面起，在与上述第1主面正交的方向上为规定范围的第1区域、以及上述第1区域以外的第2区域，

52、上述第2区域中的上述磁性粉末的d50粒径比上述第1区域中的上述磁性粉末的d50粒径更大，

53、上述侧面中，上述第1区域与上述第2区域相比，上述非氧化区域的面积更大，并且，上述第2区域与上述第1区域相比，上述氧化区域的面积更大。

54、在此，“规定范围”在比第1垂直布线的布线长度更短的范围内设定。另外，“第1区域中的磁性粉末的d50粒径”和“第2区域中的磁性粉末的d50粒径”可以观察侧面来测定。

55、根据上述实施方式，粒径较大的磁性粉末配置在电感器布线的周围，因此，可以确保电感。另外，粒径较小的磁性粉末包含于第1主面且配置于距第1主面为规定范围的第1区域。粒径较小的磁性粉末的粒子间的接触面积变小。因此，可以抑制介由第1区域的磁性粉末的短路。另外，在侧面中，第2区域与第1区域相比，氧化区域的面积大，因此，可以抑制介由第2区域的磁性粉末的短路。

56、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

57、上述单元体具有在与上述第1主面正交的方向上层叠的多个磁性层，

58、与上述电感器布线相接的上述磁性层沿上述电感器布线的外形的一部分而配置。

59、根据上述实施方式，可以沿电感器布线的周围配置磁性层，可以确保电感。

60、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

61、上述氧化区域的上述磁性粉末的d50粒径比上述非氧化区域的上述磁性粉末的d50更大。

62、根据上述实施方式，粒径大的磁性粉末容易氧化，能容易地形成氧化区域。

63、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

64、上述氧化区域的fe元素的量比上述非氧化区域的fe元素的量更多。

65、根据上述实施方式，氧化区域的fe元素的量多，因此，可以在电感器布线的周围大量配置fe元素，可以确保电感。

66、在电感器部件的一个实施方式中，优选：

67、上述侧面还具有凹部。

68、根据上述实施方式，侧面的表面积增大，因此，可以提高散热性。

69、另外，为了解决上述课题，本发明的另一个方式的电感器部件具备：

70、单元体，其包含磁性粉末，并具有第1主面和第2主面、以及连接上述第1主面和上述第2主面的侧面，

71、电感器布线，其设置于上述单元体内，

72、第1垂直布线，其设置于上述单元体内，与上述电感器布线的第1端部连接，并延伸至上述第1主面，

73、第2垂直布线，其设置于上述单元体内，与上述电感器布线的第1端部连接，并延伸至上述第2主面，

74、第1外部端子，其与上述第1垂直布线连接，并在上述第1主面露出，第2外部端子，其与上述第2垂直布线连接，并在上述第1主面露出；

75、上述磁性粉末以fe元素为主成分，

76、上述侧面具有在多个上述磁性粉末上fe元素为65wt％以上且o元素为24wt％以上的氧化区域、以及多个上述磁性粉末露出的非氧化区域。

77、在增大部件的安装密度的情况下，会有部件间的距离变短，相邻的部件中外部端子与单元体的侧面接触的情况。在该情况下，有介由磁性粉末而短路的风险。根据上述实施方式，通过设置在单元体侧面的氧化区域，从而可以提高磁性粉末的电阻，抑制短路。另外，通过设置在单元体侧面的非氧化区域，从而可以抑制单元体强度的降低和电感的降低。

78、根据本发明的一个方式的电感器部件，能抑制与其它电子部件的短路，并抑制单元体强度的降低和电感的降低。