驱动平台和激光加工设备的制作方法

1.本发明涉及激光加工技术领域，特别涉及一种驱动平台和应用该驱动平台的激光加工设备。


背景技术：

2.近年来，随着光电产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，对晶圆的各种激光加工方式也随之广泛应用，在对晶圆进行激光加工过程中，需要通过传动机构对晶圆进行旋转或移动，以调整其加工位置，使晶圆到达特定位置进行激光加工。
3.传统技术中，由于承载晶圆的传动机构存在空程，如齿轮的主动轮与从动轮之间存在侧隙，使得现有的传动机构在启动或转换运动方向时，会产生从动轮与主动轮运动不匹配的现象，也即承载晶圆的从动轮会产生滞后量，从而不能使晶圆运动到确定的加工工位上，增加了激光加工的误差，降低晶圆加工的精准度。


技术实现要素：

4.本发明的主要目的是提供一种驱动平台和激光加工设备，旨在通过该驱动平台实现对晶圆准确而稳定的装载，使晶圆在激光加工时处于确定及准确的位置，增强对晶圆激光加工的精准度。
5.为实现上述目的，本发明提出一种驱动平台，应用于激光加工设备中，所述驱动平台包括：
6.安装台；
7.从动轮，所述从动轮可转动地设于所述安装台；
8.主动轮组，所述主动轮组包括第一主动轮和第二主动轮，所述第一主动轮和所述第二主动轮间隔设于所述从动轮周缘，所述第一主动轮和所述第二主动轮均与所述从动轮啮合，且分别抵顶于所述从动轮的凸齿不同侧；及
9.驱动件，所述驱动件与所述主动轮组传动连接，以驱动所述第一主动轮和所述第二主动轮同步正转或同步反转。
10.在一实施例中，所述安装台上还设有安装板，所述安装板邻近所述从动轮设置，所述第一主动轮和所述第二主动轮均可转动地设于所述安装板同一侧，所述驱动件安装于所述安装板背向所述第一主动轮一侧，并与所述主动轮组传动连接。
11.在一实施例中，所述主动轮组还包括惰轮系，所述惰轮系与所述第一主动轮和所述第二主动轮均设于所述安装板同一侧，且所述惰轮系设于所述第一主动轮和所述第二主动轮之间，所述惰轮系、所述第一主动轮及所述第二主动轮通过传动带传动连接，所述驱动件与所述惰轮系传动连接。
12.在一实施例中，所述第一主动轮设有第一啮合部和第一传动部，所述第一啮合部和所述第一传动部同轴设置，所述第一啮合部与所述从动轮啮合接触，并抵顶于所述从动轮的凸齿的一侧，所述第一传动部通过所述传动带与所述惰轮系传动连接；
13.所述第二主动轮设有第二啮合部和第二传动部，所述第二主动轮与所述第二传动部同轴设置，所述第二啮合部与所述从动轮啮合接触，并抵顶于所述从动轮的凸齿的另一侧，所述第二传动部通过所述传动带与所述惰轮系传动连接。
14.在一实施例中，所述惰轮系包括：
15.定轮组，所述定轮组与所驱动件传动连接，以承接所述驱动件输出的动力；和
16.动轮组，所述动轮组通过所述传动带与所述第一主动轮、所述第二主动轮及所述定轮组传动连接，用于调节所述传动带的张紧度。
17.在一实施例中，所述定轮组包括驱动轮和两个调节轮，两个所述调节轮分设于所述驱动轮两侧，所述驱动轮与所述驱动件传动连接，两个所述调节轮均位于所述传动带的外侧，用于调整所述传动带的包角。
18.在一实施例中，所述安装板邻近所述第二主动轮开设有两个导槽，每一所述导槽中设有可沿所述导槽滑动的导块，所述动轮组包括两个动轮，每一所述动轮安装于一个所述导块上，以使所述动轮可沿所述导槽滑动，用于调节所述传动带的张紧度。
19.本发明还提出一种激光加工设备，所述激光加工设备包括：
20.如上述所述的驱动平台；
21.定位系统，所述定位系统位于所述驱动平台上方，并朝向所述驱动平台设置；及
22.激光器，所述激光器相对所述定位系统设于所述驱动平台另一侧，所述激光器发出激光束，所述激光束穿过所述驱动平台用于对晶圆进行激光加工。
23.在一实施例中，所述定位系统包括：
24.支臂，所述支臂一端安装于安装台上，所述支臂另一端延伸至所述驱动平台上方，形成安装端；
25.发光组件，所述发光组件安装于所述安装端，所述发光组件包括壳体和光学模组，所述壳体围合形成有导光腔，所述光学模组安装于所述导光腔中，所述壳体开设有轴线互相垂直的第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第二开口与所述导光腔相连通，所述第一开口面向所述驱动平台设置，并正对所述光学模组，所述第二开口轴线所在方向与所述驱动平台所在平面平行；
26.定位组件，所述定位组件邻近所述发光组件安装于所述安装端，所述定位组件包括定位件和镜头，所述镜头一端与所述定位件相连通，所述镜头另一端与所述第二开口相连通，以使所述镜头轴线与所述第二开口轴线重合。
27.在一实施例中，所述光学模组包括光源和导光镜，所述光源面向所述驱动平台水平放置于所述导光腔中，所述导光镜倾斜设置于所述导光腔中，并位于所述光源与所述第一开口之间，所述导光镜朝向所述第一开口和所述第二开口一侧设置；
28.其中，所述光源发出光线，所述光线依次穿过所述导光镜和所述第一开口照射向所述晶圆，所述晶圆反射所述光线经所述导光镜二次反射，所述光线穿过所述第二开口和所述镜头，进入所述定位件，以对所述晶圆位置进行定位。
29.本发明技术方案的驱动平台通过设置安装台，用于安装从动轮，并通过从动轮装载和固定晶圆，使得通过从动轮的转动而改变待加工晶圆的激光加工位置。主动轮组包括第一主动轮和第二主动轮，第一主动轮和第二主动轮均与从动轮保持啮合关系，并间隔设于从动轮周缘，以保证从动轮在正转或反转时，第一主动轮和第二主动轮可保持同步转动，
并且第一主动轮和第二主动轮分别抵顶于从动轮凸齿不同侧的两个齿面，使得主动轮组带动从动轮启动时或转换运动方向时，从动轮与主动轮组啮合的侧隙始终处于第一主动轮和第二主动轮与从动轮抵顶齿面之间，使从动轮与主动轮组保持一致的运动，消除因啮合空程而产生的回差，以及从动轮产生的运动滞后，通过该驱动平台可以准确定位到晶圆预定的加工位置上，增加了对晶圆激光加工的精准度。
附图说明
30.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
31.图1为本发明一实施例中驱动平台的结构示意图；
32.图2为本发明一实施例中安装台与主动轮组安装的结构示意图；
33.图3为本发明一实施例中主动轮组的结构示意图；
34.图4为本发明一实施例中定位系统的结构示意图；
35.图5为本发明一实施例中发光组件的结构示意图；
36.图6为本发明一实施例中激光加工设备的结构示意图。
37.附图标号说明：
38.[0039][0040]
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0041]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0042]
需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0043]
同时，全文中出现的“和/或”或“且/或”的含义为，包括三个方案，以“a和/或b”为例，包括a方案，或b方案，或a和b同时满足的方案。
[0044]
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
[0045]
近年来，随着光电产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，对晶圆的各种激光加工方式也随之广泛应用，在对晶圆进行激光加工过程中，需要通过传动机构对晶圆进行旋转或移动，以调整其加工位置，使晶圆到达特定位置进行激光加工。
[0046]
传统技术中，由于承载晶圆的传动机构存在空程，如齿轮的主动轮与从动轮之间存在侧隙，使得现有的传动机构在启动或转换运动方向时，会产生从动轮与主动轮运动不匹配的现象，也即承载晶圆的从动轮会产生滞后量，从而不能使晶圆运动到确定的加工工位上，增加了激光加工的误差，降低晶圆加工的精准度。
[0047]
基于上述构思和问题，本发明提出一种驱动平台100，该驱动平台100用于承载待
加工晶圆，通过改变对待加工晶圆的加工位置，以使待加工晶圆位于准确的加工工位上，然后通过定位系统600对晶圆的位置进行定位，将定位后的数据传输到激光器中，激光器对晶圆进行激光加工。该驱动平台100通过在从动轮2周缘设置有第一主动轮31和第二主动轮32，使得从动轮2在启动时或正转和反转切换时，第一主动轮31和第二主动轮32能够抵顶到从动轮2不同侧的齿面，消除因啮合空程而产生的回差，提高了对晶圆激光加工的精准度。
[0048]
请结合参照图1至图6所示，在本发明实施例中，该驱动平台100，应用于激光加工设备700中，驱动平台100包括安装台1、从动轮2、主动轮组3及驱动件4，从动轮2可转动地设于安装台1，主动轮组3包括第一主动轮31和第二主动轮32，第一主动轮31和第二主动轮32间隔设于从动轮2周缘，第一主动轮31和第二主动轮32均与从动轮2啮合，且分别抵顶于从动轮2的凸齿不同侧，驱动件4与主动轮组3传动连接，以驱动第一主动轮31和第二主动轮32同步正转或同步反转。
[0049]
在本实施例中，驱动平台100设有安装台1，安装台1是该驱动平台100的结构支撑件，用于安装和放置从动轮2、主动轮组3及驱动件4，安装台1可以是基台、安装架或机架，在此不做限定。安装台1一端固定，另一端安装有可转动的从动轮2，从动轮2用于承载和固定待加工晶圆，在从动轮2远离安装台1的一端安装有限位板，限位板中央开设有用于放置晶圆5的限位槽，放置于限位槽中的晶圆5其位置不发生变化，并且限位板上开设有用于对晶圆5表面进行激光激光的开孔，限位板随从动轮2一起转动，实现对晶圆5表面的特定位置的激光加工。
[0050]
在本实施例中，如图1所示，在从动轮2的周缘还间隔设有第一主动轮31和第二主动轮32，第一主动轮31和第二主动轮32均与从动轮2保持啮合，且分别与从动2周缘轮齿不同的侧面相抵顶，并且第一主动轮31和第二主动轮32也通过传动带传动连接，使得第一主动轮31和第二主动轮32能同步的与从动轮2保持运动，驱动件4与主动轮组3传动连接，以驱动第一主动轮31和第二主动轮32带动从动轮2同步正转或同步反转。
[0051]
可以理解的，从动轮2的周缘具有凸出的轮齿，在轮齿之间存在有齿间隙，当第一主动轮31和第二主动轮32与从动轮2啮合时，第一主动轮31和第二主动轮32的轮齿无法完全占据从动轮2的齿间隙，存在空程，齿间隙的两侧具有不同的侧面，使得第一主动轮31或第二主动轮32带动从动轮2转动时，第一主动轮31和第二主动轮32一侧的齿面与从动轮2轮齿的齿面相接触，另一侧则留有侧隙。当驱动件2驱动主动轮组3正转时，也即第一主动轮31驱动从动轮2转动，此时第一主动轮31和第二主动轮32逆时针转动，从动轮2顺时针转动，第一主动轮31沿转动方向一侧的齿面与从动轮2沿转动方向一侧的齿面相接触，从动轮2背离转动方向一侧的齿面与第二主动轮32背离转动方向一侧的齿面相接触，从而使第一主动轮31与从动轮2的侧隙以及第二主动轮32与从动轮2的侧隙存在于第一主动轮31和第二主动轮32之间。
[0052]
同样的，当驱动件2驱动主动轮组3反转时，此时第二主动轮32为主动轮，驱动从动轮2转动，第二主动轮32和从动轮2的互相接触的齿面，均在沿齿轮转动方向的一侧，而从动轮2和第一主动轮31接触的齿面，则均在背离转动方向的一侧，从而使第二主动轮32与从动轮2的侧隙以及第一主动轮31与从动轮2的侧隙存在于第二主动轮32和第一主动轮31之间。
[0053]
可以理解的，当主动轮组3驱动从动轮2同步正转或同步反转时，主动轮组3和从动轮2之间啮合的侧隙始终存在于第一主动轮31和第二主动轮32之间，当启动从动轮2时或改
变从动轮2转动方向时，侧隙始终保持不变，使从动轮2与主动轮组保持一致的运动，消除因侧隙或空程而产生的回差，从而使搭载晶圆5的限位板准确运动到预定的加工工位上，增加了对晶圆激光加工的精准度。
[0054]
本技术方案的驱动平台100通过设置安装台1，用于安装从动轮2，并通过从动轮2装载和固定晶圆5，使得通过从动轮2的转动而改变待加工晶圆5的激光加工位置。主动轮组3包括第一主动轮31和第二主动轮32，第一主动轮31和第二主动轮32均与从动轮2保持啮合关系，并间隔设于从动轮2周缘，以保证从动轮2在正转或反转时，第一主动轮31和第二主动轮32可保持同步转动，并且第一主动轮31和第二主动轮32分别抵顶于从动轮2凸齿不同侧的两个齿面，使得主动轮组3带动从动轮2启动时或转换运动方向时，从动轮2与主动轮组3啮合的侧隙始终处于第一主动轮31和第二主动轮32与从动轮2抵顶齿面之间，使从动轮2与主动轮组3保持一致的运动，消除因啮合空程而产生的回差，以及从动轮2产生的运动滞后，通过该驱动平台100可以准确定位到晶圆5预定的加工位置上，增加了对晶圆5激光加工的精准度。
[0055]
在一实施例中，安装台1上还设有安装板11，安装板11邻近从动轮2设置，第一主动轮31和第二主动轮32均可转动地设于安装板11同一侧，驱动件4安装于安装板11背向第一主动轮31一侧，并与主动轮组3传动连接。
[0056]
在本实施例中，如图1和图2所示，安装板11安装于安装台1上，并邻近从动轮2的周缘设置，安装板11的平面与从动轮2周向平面平行，安装板11一侧安装有驱动件4，背向安装有驱动件4的一侧安装有主动轮组3，安装板11可通过侧边安装于安装台1上，在上下两侧分别安装主动轮组3和驱动件4；也可通过安装架、机架等结构将安装板11安装于安装台1上，形成开放的空腔用于放置驱动件4或主动轮组3。主动轮组3中的第一主动轮31和第二主动轮32均可转动地安装于安装板11背向设有驱动件4的一侧，并同时与从动轮2保持啮合关系。
[0057]
可以理解的，第一主动轮31和第二主动轮32通过传动带传动连接，以保持与从动轮2同步的啮合，保持运动的一致性；驱动件4通过动力输出轴与主动轮组3保持传动连接，驱动件4的动力输出轴可以是直接连接主动轮组3，也即驱动件4沿与安装板11垂直的方向竖直放置；优选地，为节省空间，驱动件4的动力输出轴也可沿与安装板11平行的方向水平放置，通过转换传动方向的部件将驱动件4水平的动力输出转换为竖直方向的动力输出，如蜗轮蜗杆机构或锥齿轮结构。
[0058]
在一实施例中，主动轮组3还包括惰轮系33，惰轮系33与第一主动轮31和第二主动轮32均设于安装板11同一侧，且惰轮系33设于第一主动轮31和第二主动轮32之间，惰轮系33、第一主动轮31及第二主动轮32通过传动带传动连接，驱动件4与惰轮系33传动连接。
[0059]
在本实施例中，如图1至图3所示，在安装板11设有第一主动轮31和第二主动轮32的一侧设有惰轮系33，惰轮系33设置于第一主动轮31和第二主动轮32之间，用于连接第一主动轮31和第二主动轮32的传动带，蜿蜒穿设于惰轮系33中，以将惰轮系33、第一主动轮31及第二主动轮32通过传动带连接起来。
[0060]
可以理解的，安装板11上开设有通孔，驱动件4的输出轴穿过通孔，与惰轮系33相传动连接，以将动力传输到惰轮系33中，惰轮系33再通过传动带将动力传输到第一主动轮31和第二主动轮32中，形成一个转动的整体。惰轮系33用于调节连接第一主动轮31和第二
主动轮32传动带的张紧程度以及包角大小，以适当增大摩擦力，提高传动带传动的传动能力，并且也可以改变传动带的位置，以避免传动带与驱动平台100其他的部件发生运动干涉。
[0061]
在一实施例中，第一主动轮31设有第一啮合部311和第一传动部312，第一啮合部311和第一传动部312同轴设置，第一啮合部311与从动轮2啮合接触，并抵顶于从动轮2的凸齿的一侧，第一传动部312通过传动带与惰轮系33传动连接；第二主动轮32设有第二啮合部321和第二传动部322，第二主动轮32与第二传动部322同轴设置，第二啮合部321与从动轮2啮合接触，并抵顶于从动轮2的凸齿的另一侧，第二传动部322通过传动带与惰轮系33传动连接。
[0062]
在本实施例中，如图3所示，第一主动轮31设有同轴的第一啮合部311和第一传动部312，第二主动轮32设有同轴的第二啮合部321和第二传动部322，第一啮合部311和第一传动部312同步转动，第二啮合部321和第二传动部322同步传动，因此第一啮合部311和第一传动部312以及第二啮合部321和第二传动部322可以是通过焊接、一体成型等固定在一起，也可以是通过螺栓连接、螺钉连接、销连接或凸台连接等活动连接在一起，在此不做限定。其中，第一啮合部311和第二啮合部321与从动轮2周缘的凸齿啮合连接，并且第一啮合部311和第二啮合部321分别与从动轮2凸齿的不同侧相抵顶。
[0063]
可以理解的，第一啮合部311和第二啮合部321分别与从动轮2凸齿的不同侧相抵顶，使得第一主动轮31和第二主动轮32与从动轮2啮合后的侧隙位于第一主动轮31和第二主动轮32之间，当主动轮组3带动从动轮2同步正转或同步反转时，侧隙的位置始终在第一主动轮31和第二主动轮32之间，不会对从动轮2的传动产生影响，使从动轮2的运动与主动轮组3保持一致，消除从动轮2的运动回差。
[0064]
可以理解的，传动带套设在第一传动部312和第二传动部322上，以使得第一主动轮31和第二主动轮32传动连接；并且第一传动部312和第二传动部322也和惰轮系33通过传动带传动连接，使得第一主动轮31、第二主动轮32、惰轮系33及传动带共同组成主动轮组3。
[0065]
在一实施例中，惰轮系33包括定轮组331和动轮组332，定轮组331与所驱动件4传动连接，以承接驱动件4输出的动力，动轮组332通过传动带与第一主动轮31、第二主动轮32及定轮组331传动连接，用于调节传动带的张紧度。
[0066]
在本实施例中，如图2和图3所示，惰轮系33包括转动轴线固定的定轮组331和转动轴线活动的动轮组332，定轮组331和动轮组332设于安装板11背向驱动件4的一侧，并且定轮组331和动轮组332均设于第一主动轮31和第二主动轮32之间，通过安装板11开设的通孔，定轮组331与驱动件4的输出轴传动连接，动轮组332邻近第一主动轮31或第二主动轮32设置，优选地，动轮组332邻近第二主动轮32设置。
[0067]
可以理解的，定轮组331用于将驱动件4输出的动力传递到主动轮组3中，并且通过传动带将动力传递带第一主动轮31或第二主动轮32中，以驱动从动轮2同步正转或同步反转。动轮组332可在安装板11上进行一个方向上的移动，用于调节所邻近的第一主动轮31或第二主动轮32与从动轮2啮合的角度，保证与从动轮2紧密的抵顶啮合，以保持传动的稳定性，同时，移动动轮组332也可以调节传动带的张紧程度以及传动带套设在第一主动轮31和第二主动轮32上的包角大小。
[0068]
在一实施例中，定轮组331包括驱动轮3311和两个调节轮3312，两个调节轮3312分
设于驱动轮3311两侧，驱动轮3311与驱动件4传动连接，两个调节轮3312均位于传动带的外侧，用于调整传动带的包角。
[0069]
在本实施例中，如图3所示，驱动轮3311通过设于安装板11上的通孔与驱动件4传动连接，两个调节轮3312设于驱动轮3311的两侧，使得两个调节轮3312和驱动轮3311之间形成有空隙，传动带依次蜿蜒的穿设于空隙中，使得传动带的外侧与两个调节轮3312传动连接，传动带的内侧与驱动轮3311传动连接。其中，传动带所围绕形成的封闭空间一侧为内侧，以传动带为界限，另一侧开放空间的一侧为外侧。
[0070]
可以理解的，传动带通过内侧绕在第一传动部312周缘，并从第一传动部312绕出，其通过外侧与一个调节轮3312传动连接，进入调节轮3312与驱动轮3311形成的空隙中，传动带内侧绕在驱动轮3311周缘，并从另一个调节轮3312再次绕出，进入动轮组332。如此设置，可以通过两个调节轮3312提高传动带的张紧程度，并且有效的增大包角，提高传动能力，并且能够使得整体传动更加平稳，以提高激光加工的精准度。
[0071]
在一实施例中，安装板11邻近第二主动轮32开设有两个导槽111，每一导槽111中设有可沿导槽111滑动的导块1111，动轮组332包括两个动轮3321，每一动轮3321安装于一个导块1111上，以使动轮3321可沿导槽111滑动，用于调节传动带的张紧度。
[0072]
在本实施例中，如图2所示，两个导槽111可以是邻近第二主动轮32设置，也可以是邻近第一主动轮31设置，在此不做限定。两个导槽111开设在安装板11设有主动轮组3的一侧，并且两个导槽111之间具有一定的角度。优选地，动轮组332在第二主动轮32的两侧分设两个动轮3321，在导槽111中设有可以沿导槽111滑动的导块1111，在每一个导块1111上设有一个动轮3321。可以理解的，动轮3321安装于导块1111，以使得动轮3321可通过导块1111在导槽111中滑动，以调整动轮3321的位置。优选地，一个动轮3321设于传动带的外侧，一个动轮3321设于传动带的内侧，使得调整动轮3321时，即调整传动带的张紧程度，并且将传动带向远离从动轮2一侧调整，避免传动带与从动轮2发生运动干涉。
[0073]
本发明还提出一种激光加工设备700，该激光加工设备700包括上述的驱动平台100及定位系统600和激光器，定位系统600位于驱动平台100上方，并朝向驱动平台100设置，激光器相对定位系统600设于驱动平台100另一侧，激光器发出激光束，激光束穿过驱动平台用于对晶圆5进行激光加工。该驱动平台100的具体结构参照前述实施例，由于本加工设备采用了前述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有前述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
[0074]
可以理解的，如图1和图6所示，从动轮2为中空设置，从动轮2上设置有用于放置和固定晶圆5的限位板，限位板对应从动轮2的中空部分开设有限位槽，使得晶圆5限位固定于限位槽中，激光器安装于安装台1背向设有定位系统600的一侧，并且也正对晶圆5设置。首先，通过定位系统600对晶圆5的位置和形状进行确认，然后定位系统600将晶圆5位置和形状的数据转换为电路信号数据，传输到正对晶圆5下表面的激光器中，最后激光器根据以上的电路信号数据发出激光束，激光束通过从动轮2的中空部分以对晶圆5背向定位系统600的一侧进行激光加工。
[0075]
在一实施例中，定位系统600包括支臂61、发光组件62及定位组件63，支臂61一端安装于安装台1上，支臂61另一端延伸至驱动平台100上方，形成安装端611，发光组件62安装于安装端611，发光组件62包括壳体621和光学模组622，壳体621围合形成有导光腔6211，
光学模组622安装于导光腔6211中，壳体621开设有轴线互相垂直的第一开口6212和第二开口6213，第一开口6212和第二开口6213与导光腔6211相连通，第一开口6212面向驱动平台100设置，并正对光学模组622，第二开口6213轴线所在方向与驱动平台100所在平面平行，定位组件63邻近发光组件62安装于安装端611，定位组件63包括定位件631和镜头632，镜头632一端与定位件631相连通，镜头632另一端与第二开口6213相连通，以使镜头632轴线与第二开口6213轴线重合。
[0076]
在本实施例中，如图4所示，支臂61为定位系统600的结构支撑件，其可以是机架、支架或基台，在此不做限定。支臂61一端安装于安装台1上，另一端向驱动平台100上方延伸，形成安装端611，在安装端611安装有发光组件62和定位组件63，并且发光组件62和定位组件62相连通设置。其中，发光组件62包括壳体621和光学模组622，壳体621安装于安装端611，其内部形成有中空的导光腔6211，光学模组622安装于导光腔6211中，壳体621上还开设有与导光腔6211相连通的第一开口6212和第二开口6213，其中第一开口6212朝向驱动平台100一侧设置，其轴线所在方向与驱动平台100所在平面垂直，并且，第二开口6213轴线所在方向与第一开口6212轴线所在方向互相垂直。
[0077]
可以理解的，第一开口6212轴线所在方向与光学模组622轴线所在方向重合，光学模组622是一个集发出光线、透射光线以及反射光线为一体的光学集合，从导光腔6211内部发出的光学可以通过第一开口6212照射到驱动平台100的晶圆5上，也可通过第二开口6213进入定位组件63中。
[0078]
可以理解的，定位组件63包括定位件631和镜头632。其中，镜头632两端分别与定位件631和发光组件62的第二开口6213相连通，镜头632轴线所在方向与第二开口6213轴线所在方向重合，使得从发光组件62发出的光线，可通过第二开口6213以及镜头632进入定位件631中，定位件631可以是激光定位传感器、ccd图像传感器、视觉传感器或其他光电传感器，在此不做限定。优选地，定位件631可采用ccd图像传感器，定位件631将接收到的光线转换为数字信号，再传输到激光器中，以便于激光器在对晶圆5加工时，调整其加工位置。
[0079]
在一实施例中，光学模组622包括光源6221和导光镜6222，光源6221面向驱动平台水平放置于导光腔6211中，导光镜6222倾斜设置于导光腔6211中，并位于光源6221与第一开口6212之间，导光镜6222朝向第一开口6212和第二开口6213一侧设置；其中，光源6221发出光线，光线依次穿过导光镜6222和第一开口6212照射向晶圆5，晶圆5反射光线经导光镜6222二次反射，光线穿过第二开口6213和镜头632，进入定位件631，以对晶圆5位置进行定位。
[0080]
在本实施例中，如图5所示，导光镜6222倾斜设置于导光腔6211中，其镜面朝向第一开口6212和第二开口6213一侧设置，光源6221设置在导光镜6222远离第一开口6212的一侧，并且光源6221轴线所在方向与第一开口6212轴线所在方向重合。
[0081]
可以理解的，光源6221用于发出光线，使得光线穿过导光镜6222，通过第一开口6212照射向设于驱动平台100上的晶圆5，以将晶圆5照亮，被照亮的晶圆5将其反射的光线通过第一开口6212照射向导光镜6222中，并通过倾斜设置的导光镜6222，将晶圆5反射的光线反射到第二开口6213中，进而通过镜头632传输到定位件631中，定位件621接收到关于晶圆5位置和形状的光学信号，并将光学信号转换为数字信号，再传递到激光器中，以便于激光器在对晶圆加工时调整加工位置。可以理解的，本实施例中的导光镜6222兼具反射光线
和透射光线的功能，如半反半透镜，对光学模组622中的光源6221所发出的特定光线进行部份分光，把分光回来的光路做为对定位组件63的反馈信号，以调整定位组件63接收信号的稳定性，确保机器视觉的正常运作。当光线从其上方，也就是从光源6221一侧照向导光镜6222时，光线可穿透导光镜6222，进入第一开口6212中；当从晶圆5反射的光线从第一开口6212进入导光镜6222中时，此时导光镜6222仅能反射光线，并通过导光镜6222倾斜设置，将反射的光线沿与第二开口6213轴线重合的方向入射到第二开口6213中，进而入射到定位件631中。
[0082]
可以理解的，通过发光组件62及定位组件63沿与驱动平台100所在平面平行的放置并排设置，可以有效的节省定位系统600所占据的空间，提高空间利用率。并且，通过发光组件62的设置，可以在保证发出光线的基础上，也能改变光线的传播方向，有效的实现了该发光组件62的集成化和微型化，并提高了该定位系统600的通用性和适用性。
[0083]
以上所述仅为本发明的可选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。