技术特征：
1.一种晶圆再生用快速甩干设备，包括机体（1）、固定安装在机体（1）顶部一侧的顶架（2）和固定安装在机体（1）一侧的底座（7），其特征在于：还包括下压机构（3）、取料转运机构（8）、导向机构（9）和定位机构（10），所述下压机构（3）固定安装在顶架（2）一侧，所述下压机构（3）底部固定安装有密封机构（4），所述密封机构（4）底部固定安装有甩干架（5），所述甩干架（5）下方设置有限位机构（6），所述取料转运机构（8）固定安装在底座（7）顶部，所述取料转运机构（8）包括两个分别固定安装在底座（7）顶部两侧的安装板（81）、两个分别固定安装在两个安装板（81）顶部的丝杆滑台（82）、固定安装在两个丝杆滑台（82）的滑动块顶部的支撑板（83）、固定安装在支撑板（83）顶部的电动旋转块（84）、固定安装在电动旋转块（84）顶部的连接板（85）和固定安装在连接板（85）顶部的电动升降套杆（86），所述导向机构（9）设置在机体（1）内壁，所述定位机构（10）固定安装在甩干架（5）外壁两侧。2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述下压机构（3）包括气缸（31）、推杆（32）、连接块（33）、卡槽（34）、卡块（35）和旋转块（36），所述气缸（31）垂直固定安装在顶架（2）顶部一侧，所述推杆（32）固定连接在气缸（31）的输出端，所述连接块（33）固定安装在推杆（32）底端，所述卡槽（34）开设在连接块（33）底部，所述卡块（35）配合安装在卡槽（34）内侧，所述旋转块（36）固定安装在卡块（35）底部。3.根据权利要求2所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述密封机构（4）包括顶板（41）、密封圈（44）、多个分别固定安装在顶板（41）底部两侧的活动块（42）和多个分别配合安装在多个活动块（42）内侧的活动钩（43），所述顶板（41）固定安装在旋转块（36）底部，所述密封圈（44）固定安装在多个活动钩（43）一侧。4.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述限位机构（6）包括高速转盘（62）、多个分别固定安装在甩干架（5）底部两侧的限位杆（61）和多个分别开设在高速转盘（62）顶部两侧的限位孔（63），所述高速转盘（62）固定安装在机体（1）内壁底部。5.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述取料转运机构（8）还包括固定板（87）、固定夹板（88）、电动滑轨（89）和活动夹板（810），所述固定板（87）固定安装在电动升降套杆（86）的伸缩端，所述固定夹板（88）固定安装在固定板（87）底部一侧，所述电动滑轨（89）固定安装在固定板（87）底部一侧，所述活动夹板（810）固定安装在电动滑轨（89）的滑动块底部。6.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述导向机构（9）、四个分别开设在机体（1）内壁的导轨（91）、八个分别配合安装在四个导轨（91）内侧的滑块（92）和八个分别开设在八个滑块（92）一侧的限位槽（93）。7.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述定位机构（10）包括六个分别固定安装在甩干架（5）外壁两侧的安装块（101）、六个分别固定安装在六个安装块（101）一侧的伸缩套（102）、六个分别固定安装在六个伸缩套（102）内部的固定块（103）和六个分别活动安装在六个伸缩套（102）内侧的伸缩杆（105），每个所述固定块（103）与伸缩杆（105）之间均连接有一个伸缩弹簧（104）。8.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用快速甩干设备，其特征在于：所述压紧固定机构（11）包括六个分别固定安装在甩干架（5）内壁两侧的支撑块（111）、六个分别固定安装在六个支撑块（111）底部的液压杆（112）、六个分别固定安装在六个液压杆（112）的伸缩端的
压板（113）和六个分别固定安装在六个压板（113）底部的防护垫（114）。
技术总结
本发明涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用快速甩干设备，机体、固定安装在机体顶部一侧的顶架和固定安装在机体一侧的底座，还包括下压机构、取料转运机构、导向机构和定位机构，所述下压机构固定安装在顶架一侧，所述下压机构底部固定安装有密封机构，本发明通过设置有下压机构和取料转运机构，推动甩干架使甩干架带动卡块与卡槽卡合连接，从而使顶板固定安装在推杆底部，再打开气缸使气缸带动推杆提升至最高处，再打开丝杆滑台使丝杆滑台的滑动块带动支撑板移动至底座一侧，再打开电动升降套杆使电动升降套杆带动固定板向下移动使固定板带动固定夹板和活动夹板移动至晶圆两侧，再打开电动滑轨使电动滑轨的滑动块带动活动夹板向内移动。动夹板向内移动。动夹板向内移动。
技术研发人员：王思远 陈磊 吴伟
受保护的技术使用者：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司
技术研发日：2022.10.31
技术公布日：2023/1/31