一种定位精准的PERC电池片生产刻蚀机的制作方法

一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机
技术领域
1.本发明涉及perc电池片生产技术领域，具体为一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机。


背景技术：

2.硅片在扩散工序，采用背靠背的单面扩散方式，硅片的侧边和背面边缘不可避免地都会扩散上磷原子。当阳光照射，p-n结的正面收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到p-n结的背面，造成短路通路。短路通道等效于降低并联电阻。
3.perc电池片生产刻蚀机通过刻蚀槽hno3和hf的混合液体会对扩散后硅片的下表面及边缘进行腐蚀,以去除边缘的n型硅,打破硅片表面短路通路，因此刻蚀对于液位高度的控制需要特别精确，但是传统的perc电池片生产刻蚀机在对硅片定位夹紧后，硅片的下表面以及边缘总会被夹具覆盖住，从而导致硅片的下表面以及边缘无法全面地被刻蚀槽内溶液腐蚀到，从而导致了通过该刻蚀机刻蚀后的perc电池片，会出现较多的不良品，且刻蚀时产生的废气不能及时地进行处理，污染环境，为此，我们提出一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机，包括，本体，所述本体上设置有透明门；
6.所述本体内设置有刻蚀槽；
7.所述本体内的两侧均设置有电动导轨，两组所述电动导轨的输出端均与活动板连接；
8.所述活动板的顶部设置有气缸，所述气缸的的活塞杆贯穿活动板连接有安装板；
9.所述安装板的底部均匀设置有位于刻蚀槽上方的定位装置；
10.所述本体的底部设置有减震垫。
11.作为本发明所述一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的一种优选方案，其中：所述定位装置包括两组结构相同的连接杆，两组所述连接杆的底端均设置有固定箱，所述固定箱的前侧均设置有箱门，所述箱门上设置有把手。
12.作为本发明所述一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的一种优选方案，其中：所述固定箱的内部均匀设置有转轴，所述转轴的底部均通过轴承转动连接在固定箱上，所述转轴上套接有齿轮，所述齿轮的前后两侧均啮合连接有支撑板，两组所述支撑板均横向贯穿固定箱，两组所述支撑板上均滑动连接有安装在固定箱内的导杆，所述支撑板延伸至固定箱外侧的一端顶部开设有缺口，两组所述支撑板中的一组支撑板顶部与硅片相贴合。
13.作为本发明所述一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的一种优选方案，其中：
所述固定箱上均匀设置有凸杆，所述凸杆上设置有微型电动伸缩杆，所述微型电动伸缩杆的输出端与硅片的顶部相贴合。
14.作为本发明所述一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的一种优选方案，其中：所述固定箱内设置有电机，所述电机的输出轴与其中一组所述转轴连接，相邻所述转轴上均设置有传动结构。
15.作为本发明所述一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的一种优选方案，其中：所述传动结构包括分别套接在相邻所述转轴上的皮带轮一，两组所述皮带轮一之间连接有皮带一。
16.作为本发明所述一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的一种优选方案，其中：所述固定箱内设置有顶板，所述顶板的底部通过轴承转动连接有连接轴，所述连接轴和电机的输出轴上均套接有皮带轮二，两组所述皮带轮二之间连接有皮带二，所述连接轴上设置有扇叶，所述固定箱上设置有进气管和排气口，所述固定箱内设置有位于顶板和排气口之间的废气净化器。
17.作为本发明所述一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的一种优选方案，其中：所述本体的前后两侧两端均设置有液压缸，所述液压缸的活塞杆上均设置有移动轮。
18.与现有技术相比，本发明的有益效果是：在支撑板上方逐个放好硅片，然后通过微型电动伸缩杆从上方定位压紧硅片，每个硅片仅有底部两侧被单独的支撑板进行支撑，因此在刻蚀时，通过支撑板向着相反的方向移动，可以间歇地改变覆盖硅片底部的位置，从而使得硅片的下表面可以全面被溶液腐蚀到，减少硅片刻蚀后不良品出现的概率；在刻蚀时，电机可以通过皮带轮二带动连接轴转动，使得扇叶转动，进而使得刻蚀时的废气可以及时地通过进气管抽进，在废气净化器的净化后，通过排气口排出，减少对环境的污染。
附图说明
19.图1为本发明一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的整体结构示意图；
20.图2为本发明一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机所述的定位装置结构示意图；
21.图3为本发明一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机所述的固定箱内部结构示意图；
22.图4为本发明一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机的a处结构示意图。
23.图中：1、本体；2、透明门；3、刻蚀槽；4、电动导轨；5、活动板；6、气缸；7、安装板；8、连接杆；9、固定箱；10、箱门；11、把手；12、转轴；13、齿轮；14、支撑板；15、导杆；16、缺口；17、硅片；18、凸杆；19、微型电动伸缩杆；20、电机；21、皮带轮一；22、皮带轮二；23、连接轴；24、顶板；25、扇叶；26、进气管；27、废气净化器；28、排气口；29、减震垫；30、液压缸；31、移动轮。
具体实施方式
24.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
25.实施例1
26.参照图1至图4，一种定位精准的perc电池片生产刻蚀机，包括，本体1，本文中未提及到的perc电池片生产刻蚀机中的其他结构，均与现有技术相同，本体1上设置有透明门2；
27.本体1内设置有刻蚀槽3，刻蚀槽3内设置有用于腐蚀硅片下表面和边缘的溶液；
28.本体1内的两侧均设置有电动导轨4，两组电动导轨4的输出端均与活动板5连接，电动导轨4可以使得硅片17沿前后方向移动，以便于进入刻蚀流程中不同的工序；
29.活动板5的顶部设置有气缸6，气缸6的的活塞杆贯穿活动板5连接有安装板7；
30.安装板7的底部均匀设置有位于刻蚀槽3上方的定位装置；
31.本体1的底部设置有减震垫29，可以减少刻蚀过程中本体1的震动。
32.定位装置包括两组结构相同的连接杆8，两组连接杆8的底端均设置有固定箱9，固定箱9的前侧均设置有箱门10，箱门10上设置有把手11，方便对固定箱9内结构进行维护。
33.固定箱9的内部均匀设置有转轴12，转轴12的底部均通过轴承转动连接在固定箱9上，转轴12上套接有齿轮13，齿轮13的前后两侧均啮合连接有支撑板14，两组支撑板14均横向贯穿固定箱9，两组支撑板14上均滑动连接有安装在固定箱9内的导杆15，导杆15可以对支撑板14进行支撑，支撑板14延伸至固定箱9外侧的一端顶部开设有缺口16，两组支撑板14中的一组支撑板14顶部与硅片17相贴合，缺口16使得支撑板14便于横向进入到硅片17的底部，每个硅片17的底部两侧均由单独的支撑板14进行支撑。
34.固定箱9上均匀设置有凸杆18，凸杆18上设置有微型电动伸缩杆19，微型电动伸缩杆19的输出端与硅片17的顶部相贴合，通过微型电动伸缩杆19向下压紧硅片17。
35.固定箱9内设置有电机20，电机20的输出轴与其中一组转轴12连接，相邻转轴12上均设置有传动结构。
36.传动结构包括分别套接在相邻转轴12上的皮带轮一21，两组皮带轮一21之间连接有皮带一，电机20驱动一组转轴12转动，即可通过皮带轮一21驱动相邻的转轴12转动，即可使得相邻的转轴12相邻的转轴12跟随转动，使得所有的转轴12均能够同步转动，使得每个齿轮13均能够带动前后两侧的支撑板14向着相反方向移动，从而使得支撑硅片17底部的支撑板14收回，收回时支撑板14还没有完全脱离硅片17底部，之前收回的支撑板14就已经通过缺口16去支撑硅片17底部的，直到收回的支撑板14完全收回，即可改变覆盖硅片17底部的位置，从而使得硅片17的下表面可以全面被溶液腐蚀到，减少硅片17刻蚀后不良品出现的概率。
37.在固定箱9内设置有顶板24，顶板24的底部通过轴承转动连接有连接轴23，连接轴23和电机20的输出轴上均套接有皮带轮二22，两组皮带轮二22之间连接有皮带二，连接轴23上设置有扇叶25，固定箱9上设置有进气管26和排气口28，固定箱9内设置有位于顶板24和排气口28之间的废气净化器27，在电机20工作时，皮带轮二22带动连接轴23转动，使得扇叶25转动，进而使得刻蚀时的废气可以及时地通过进气管26抽进，在废气净化器27的净化后，通过排气口28排出至本体1内，再通过本体1排出至大气中，减少对环境的污染。
38.实施例2
39.参照图1，在本体1的前后两侧两端均设置有液压缸30，液压缸30的活塞杆上均设置有移动轮31，通过液压缸30驱动移动轮31接触地面，方便移动本体1，且便于使减震垫29悬空，以便于对减震垫29更换。
40.其余结构均与实施例1相同。
41.操作过程：打开透明门2，在支撑板14上方逐个放好硅片17，然后通过微型电动伸缩杆19从上方定位压紧硅片17，接着通过气缸6驱动安装板7向下移动，即可使得硅片17进入刻蚀槽3内，通过刻蚀槽3内溶液腐蚀硅片17的下表面以及边缘处，每个硅片17仅有底部两侧被单独的支撑板14进行支撑，因此在刻蚀时，开启电机20，电机20通过输出轴驱动其中一组转轴12转动，进而通过相邻转轴12上的传动结构，使得每个转轴12均同步跟随转动，从而使得每个齿轮13均能够带动前后两侧的支撑板14向着相反方向移动，从而使得支撑硅片17底部的支撑板14收回，而之前收回的支撑板14去支撑硅片17底部，通过设置缺口16，便于支撑板14进入硅片17的底部进行支撑，从而通过支撑板14向着相反的方向移动，可以间歇地改变覆盖硅片17底部的位置，从而使得硅片17的下表面可以全面被溶液腐蚀到，减少硅片17刻蚀后不良品出现的概率，在刻蚀时，电机20可以通过皮带轮二22带动连接轴23转动，使得扇叶25转动，进而使得刻蚀时的废气可以及时地通过进气管26抽进，在废气净化器27的净化后，通过排气口28排出，硅片17从刻蚀槽3中移出后，通过电动导轨4继续向后移动进行刻蚀后续的工序。
42.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。