一种可调谐半导体激光器

文档序号:33941246发布日期:2023-04-26 01:42阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可调谐半导体激光器,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,所述前光栅区和所述后光栅区中波导层上制作的光栅均为数字级联布拉格光栅;两个数字级联布拉格光栅的中心光栅周期相同,而取样周期长度不同。

3.如权利要求1或2所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,所述有源层与所述波导层的接触面在水平方向上有一倾斜角度。

4.如权利要求3所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,所述倾斜角度为15°。

5.如权利要求1或2所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,还包括:设置在所述第一弯曲波导与所述前光栅区之间,和/或,所述第二弯曲波导与所述后光栅区之间的独立相位区;

6.如权利要求5所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,还包括:设置于所述功率分支区和所述增益区之间的公共相位区;

7.如权利要求1或2所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,所述前光栅区和所述后光栅区的外端面上镀有增透膜。

8.如权利要求1或2所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,所述功率分支区为1×2多模干涉耦合器。

9.如权利要求1或2所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,所述有源层为半导体材料、量子阱、量子线、量子点或量子级联结构。

10.如权利要求1或2所述的可调谐半导体激光器,其特征在于,所述波导层为多量子阱材料或体材料。


技术总结
本发明公开了一种可调谐半导体激光器,属于半导体激光器领域,包括:增益区,其包括N型衬底、下包层、有源层、上包层、欧姆接触层以及电极;设置于增益区右侧的功率分支区,其包括N型衬底、下包层、波导层、上包层和欧姆接触层,用于将光等功率分为两路;分别设置于功率分支区的两个输出光路的两个弯曲波导,二者均包括N型衬底、下包层、波导层、上包层和欧姆接触层;分别设置于两个弯曲波导右侧的前光栅区和后光栅区,前、后光栅区均包括N型衬底、下包层、波导层、上包层、欧姆接触层和电极,且波导层中制作有光栅,用于产生不同的反射谱。本发明能够减小不同波长的光输出功率的波动,并在更宽的调谐范围内获得更大的输出功率。

技术研发人员:张敏明,张瑞罡,刘德明
受保护的技术使用者:华中科技大学
技术研发日:
技术公布日:2024/1/11
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