SGTIGBT器件的制作方法

本发明涉及一种半导体集成电路，特别是涉及一具有屏蔽栅的沟槽栅(shieldgate trench，sgt)igbt器件。

背景技术：

1、igbt器件是在纵向双扩散mos场效应晶体管的基础上发展而来的，具有导电沟道和pn结，且流过沟道和结的电流由施加在栅极和集电极-发射极之间电压所产生的电场来控制的晶体管。pn结为由p型掺杂的集电区和n型掺杂的漂移区组成的pn结，而现有mos场效应晶体管中由于漏区和漂移区都为n型掺杂，故没有igbt器件所具有的背面pn结，igbt器件在导通时pn结会实现空穴注入，从而能对漂移区的电导进行调制，最后能降低器件的导通电阻和导通压降。

2、为了进一步降低igbt的导通压降，igbt器件的栅极结构从平面栅结构优化到沟槽栅结构，沟槽栅igbt将沟道从横向变为纵向，消除了导通电阻中jfet的影响。同时缩小了原胞尺寸即步进(pitch)，大大提高原胞密度，每个芯片的沟道总宽度增加，减小了沟道电阻。另一方面，由于多晶硅栅面积增大，减少了分布电阻，有利于提高开关速度。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是提供一种sgt igbt器件，能优化对沟道耗尽，能改善应力，减少米勒电容、降低开关损耗以及增加开关速度。

2、为解决上述技术问题，本发明提供的sgt igbt器件包括：

3、第一导电类型掺杂的漂移区。

4、在所述漂移区的顶部形成有第二导电类型掺杂的体区。

5、在所述漂移区的底部形成有第二导电类型重掺杂的集电区。

6、在器件单元区中形成有多个第一栅极结构和多个第二栅极结构。

7、所述第一栅极结构包括形成于第一栅极沟槽中的屏蔽介质层、屏蔽栅导电材料层、栅间介质层、第一栅极导电材料层和第一栅介质层。

8、所述屏蔽栅导电材料层位于所述第一栅极沟槽的底部区域，所述第一栅极导电材料层位于所述第一栅极沟槽的顶部区域。

9、所述屏蔽栅导电材料层和所述第一栅极沟槽的底部区域的内侧表面之间间隔有所述屏蔽介质层。

10、所述第一栅极导电材料层和所述第一栅极沟槽的顶部区域的侧面之间间隔有所述第一栅介质层。

11、所述屏蔽栅导电材料层和所述第一栅极导电材料层之间间隔有所述栅间介质层。

12、所述第一栅极导电材料层纵向穿过所述体区且被所述第一栅极导电材料层侧面覆盖的所述体区表面用于形成导电沟道。

13、所述体区的表面形成有第一导电类型重掺杂的发射区。

14、所述发射区和所述体区都通过顶部的接触孔连接到由正面金属层图形化形成的发射极。

15、所述屏蔽栅导电材料层通过顶部对应的接触孔连接到所述发射极。

16、所述第一栅极导电材料层通过顶部对应的接触孔连接到由正面金属层图形化形成的栅极。

17、所述集电区的背面连接到由背面金属层组成的集电极。

18、所述第二栅极结构包括形成于第二栅极沟槽中的第二栅极导电材料层和第二栅介质层；所述第二栅介质层形成于所述第二栅极沟槽的内侧表面，所述第二栅极导电材料层将形成有所述第二栅介质层的所述第二栅极沟槽完全填充；

19、所述第一栅极结构和所述第二栅极结构交替排列，两个所述第一栅极结构之间间隔一个以上的所述第二栅极结构，利用所述第一栅极结构和所述第二栅极结构交替排列来改善沟道应力。

20、进一步的改进是，所述漂移区由第一导电类型掺杂的第一外延层组成；

21、所述第一外延层形成在第一导电类型掺杂的半导体衬底表面上。

22、进一步的改进是，所述体区由形成于所述第一外延层的表面区域中的第二导电类型掺杂区组成，所述漂移区由所述体区底部的所述第一外延层组成；

23、或者，所述体区由形成于所述第一外延层的顶部表面之上的第二导电类型掺杂的第二外延层组成。

24、进一步的改进是，所述半导体衬底包括硅衬底；

25、所述第一外延层包括硅外延层；

26、所述第二外延层包括硅外延层。

27、进一步的改进是，所述屏蔽栅导电材料层的材料采用多晶硅；所述第一栅极导电材料层的材料采用多晶硅。

28、进一步的改进是，所述屏蔽介质层采用由对所述第一栅极沟槽侧面的硅进行热氧化形成的氧化层。

29、所述栅间介质层采用由对所述屏蔽栅导电材料层的顶部区域的硅进行热氧化形成的氧化层。

30、所述第一栅介质层采用由对所述屏蔽介质层顶部的所述第一栅极沟槽侧面的硅进行热氧化形成的氧化层。

31、进一步的改进是，在所述器件单元区外部还形成有屏蔽栅引出区。

32、所述屏蔽栅引出区中形成有第二栅极结构，所述第二栅极结构包括形成于第二栅极沟槽中的第二屏蔽介质层、第二屏蔽栅导电材料层。

33、所述第二屏蔽介质层形成于整个所述第二栅极沟槽的内侧表面，所述第二屏蔽栅导电材料层将形成有所述第二屏蔽介质层的所述第二栅极沟槽完全填充。

34、所述第二栅极沟槽和所述第一栅极沟槽相连通，所述屏蔽栅导电材料层和所述第二屏蔽栅导电材料层相接触并通过设置在所述第二屏蔽栅导电材料层顶部的接触孔连接到所述发射极。

35、进一步的改进是，在所述漂移区和所述集电区之间还形成有第一导电类型重掺杂的场截止层。

36、进一步的改进是，形成所述栅间介质层的热氧化的温度为1050℃～1150℃。

37、进一步的改进是，形成所述栅间介质层和形成所述第一栅介质层的热氧化工艺相同且温度为1050℃～1150℃。

38、进一步的改进是，所述场截止层的深度为0.5微米～1微米。

39、进一步的改进是，在所述发射区顶部的接触孔的底部形成有第二导电类型重掺杂的体接触区，所述体区通过所述体接触区连接所述发射区顶部的接触孔。

40、进一步的改进是，所述集电区由对减薄后的所述半导体衬底进行第二导电类型重掺杂的背面离子注入形成的掺杂区组成。

41、进一步的改进是，所述发射区的离子注入能量为60kev～100kev，注入剂量为1e14cm-2～1e15cm-2。

42、所述体接触区的离子注入能量为50kev～100kev，注入剂量为1e14cm-2～1e15cm-2。

43、进一步的改进是，所述集电区的注入剂量为1e10cm-2～1e15cm-2。

44、进一步的改进是，所述第二栅极结构为伪栅极结构，所述第二栅极导电材料层为浮置结构且不和所述发射极以及所述栅极连接；

45、所述第二栅极沟槽侧面的所述体区表面未形成所述发射区。

46、进一步的改进是，所述第一栅极结构和所述第二栅极结构交替排列的单元结构为两个所述第二栅极结构加一个所述第一栅极结构或者为一个所述第一栅极结构加一个所述第二栅极结构。

47、进一步的改进是，第一导电类型为n型，第二导电类型为p型；或者，第一导电类型为p型，第二导电类型为n型。

48、本发明中的igbt器件的器件单元的第一栅极结构采用sgt结构，也即将现有结构中的第一栅极导电材料层分裂成第一栅极导电材料层和屏蔽栅导电材料层，sgt结构也称为分裂栅结构，屏蔽栅导电材料层和发射极连接，通过对第一栅极结构进行改进，能得到较薄的栅间介质层和第一栅介质层的厚度，能优化对沟道耗尽，能改善应力；同时，利用未分裂的第二栅极结构和第一栅极结构交替排列，且通过对交替排列的第一栅极结构和第二栅极结构的比例进行调节，能对沟道应力做进一步的调节并从而进一步改善沟道应力。

49、本发明中，第一栅极结构的sgt结构能减少米勒电容、降低开关损耗以及增加开关速度。

50、本发明中，第二栅极结构能作为伪栅极结构，第二栅极导电材料层不和栅极或发射极连接，能进一步改善器件的性能，如进一步减少米勒电容以及降低开关损耗。