一种半导体生产设备用真空电极的制作方法

1.本实用新型涉及真空电极技术领域，具体为一种半导体生产设备用真空电极。


背景技术：

2.真空电极英文名字叫feedthrough，mpf真空电极它有同轴的，功率的，热电偶的，多针的等各种型号，主要是用在高真空或者超高真空中，现有的真空电极结构根据需求，设计出多种多样的结构，并应用在现代的高精尖电子半导体的生产领域，具有极其重要的作用。
3.但现有的真空电极在进行半导体的生产中，其会产生大量的热量，这是由于电流的持续发热导致的，随着热量的积累，从而降低了其使用效果，进而影响生产，进而需要一种能够实现对真空电极散热的结构装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体生产设备用真空电极，以解决上述背景技术中提出现有的半导体生产过程中使用的真空电极会持续发热，进而导致其性能下降，影响生产的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产设备用真空电极，包括安装法兰，所述安装法兰的中部均匀贯穿设置有四组真空电极构件，所述安装法兰顶部的边缘位置处均匀设置有四组定位凹槽，所述安装法兰顶部靠近定位凹槽的位置处均匀设置有六组安装通孔，所述安装法兰顶部位于安装通孔和真空电极构件之间的位置处设置有散热圆槽，所述安装法兰外侧的边缘位置处设置有散热组件。
6.优选的，所述散热组件包括散热鳍片、鳍片通孔、弧形夹板、弹簧、安装孔a、安装槽和安装孔b，所述安装法兰的外侧均匀设置有四组安装槽，所述安装槽内壁的两侧皆设置有弧形夹板，两组所述弧形夹板互相靠近的一侧共同设置有散热鳍片，所述散热鳍片的底部延伸至安装法兰的内部并与真空电极构件的外侧贴合，所述散热鳍片与安装法兰互相靠近的一侧分别设置有三组安装孔a和安装孔b，所述安装孔a和安装孔b之间共同设置有弹簧，所述弧形夹板位于安装法兰的外侧均匀设置有鳍片通孔，通过各个零部件的配合，从而实现了对真空电极构件的散热功能，保证了其运行过程中的正常使用。
7.优选的，所述真空电极构件的外侧与安装法兰的内壁之间皆设置有绝缘紧固件，通过设置有绝缘紧固件，从而保证了真空电极构件位置结构的稳定，同时保证绝缘特性。
8.优选的，所述安装通孔的一端与散热圆槽互相连通，通过设置有安装通孔和散热圆槽实现了对安装法兰的内部进行散热。
9.优选的，所述真空电极构件的两端皆设置有安装螺栓，且螺栓的外侧皆设置有防护涂层，通过设置有安装螺栓，方便与外接零部件进行连接。
10.优选的，所述弧形夹板采用硬质橡胶材质制成，且弧形夹板具有绝缘特性，通过设置有弧形夹板提高了对散热鳍片的夹持稳定性。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体生产设备用真空电极；
12.通过设计有散热鳍片插入安装法兰的内部，进而使得其内部的真空电极构件产生的热量能够随着热传导通过散热鳍片进行散发，并且通过设置有鳍片通孔，提高散热鳍片的散热效率，同时通过设置有弧形夹板，通过弹簧对两组弧形夹板进行夹持，从而保证散热鳍片的位置稳定，并且通过散热圆槽加速安装法兰的散热效率，进而实现了多种途径散热的功能，提高了装置整体的散热效果。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构立体示意图；
14.图2为本实用新型的图1的a处结构放大示意图；
15.图3为本实用新型的图2的弧形夹板处结构立体示意图；
16.图4为本实用新型的俯视剖视图；
17.图5为本实用新型的图4的b处结构放大示意图；
18.图6为本实用新型的图5的c处结构放大示意图。
19.图中：1、安装法兰；2、安装通孔；3、真空电极构件；4、散热圆槽；5、散热鳍片；6、定位凹槽；7、鳍片通孔；8、弧形夹板；9、弹簧；10、安装孔a；11、安装槽；12、安装孔b。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-6，本实用新型提供的实施例：一种半导体生产设备用真空电极，包括安装法兰1，安装法兰1的中部均匀贯穿设置有四组真空电极构件3，真空电极构件3的外侧与安装法兰1的内壁之间皆设置有绝缘紧固件，通过设置有绝缘紧固件，从而保证了真空电极构件3位置结构的稳定，同时保证绝缘特性，安装法兰1顶部的边缘位置处均匀设置有四组定位凹槽6，安装法兰1顶部靠近定位凹槽6的位置处均匀设置有六组安装通孔2，安装法兰1顶部位于安装通孔2和真空电极构件3之间的位置处设置有散热圆槽4，安装通孔2的一端与散热圆槽4互相连通，通过设置有安装通孔2和散热圆槽4实现了对安装法兰1的内部进行散热，安装法兰1外侧的边缘位置处设置有散热组件，真空电极构件3的两端皆设置有安装螺栓，且螺栓的外侧皆设置有防护涂层，通过设置有安装螺栓，方便与外接零部件进行连接；
22.散热组件包括散热鳍片5、鳍片通孔7、弧形夹板8、弹簧9、安装孔a10、安装槽11和安装孔b12，安装法兰1的外侧均匀设置有四组安装槽11，安装槽11内壁的两侧皆设置有弧形夹板8，两组弧形夹板8互相靠近的一侧共同设置有散热鳍片5，散热鳍片5的底部延伸至安装法兰1的内部并与真空电极构件3的外侧贴合，散热鳍片5与安装法兰1互相靠近的一侧分别设置有三组安装孔a10和安装孔b12，安装孔a10和安装孔b12之间共同设置有弹簧9，弧形夹板8位于安装法兰1的外侧均匀设置有鳍片通孔7，通过各个零部件的配合，从而实现了对真空电极构件3的散热功能，保证了其运行过程中的正常使用，弧形夹板8采用硬质橡胶
材质制成，且弧形夹板8具有绝缘特性，通过设置有弧形夹板8提高了对散热鳍片5的夹持稳定性。
23.工作原理：该装置在使用时，通过安装通孔2与外接装置领部件进行安装，当装置在运行使用时，通过真空电极构件3产生的热量会通过热传递至散热鳍片5和安装法兰1的位置处，通过散热鳍片5的高效热传导，至散热鳍片5的另一端，从而通过散热鳍片5进行散热，同时通过散热鳍片5的外侧均匀设置有鳍片通孔7提高散热鳍片5的散热效果，进一步的通过社会组有弧形夹板8对散热鳍片5进行夹持，从而保证了散热鳍片5位置结构的稳定，同时通过弹簧9的反弹力，增强夹持的效果，进而通过设置有安装通孔2和散热圆槽4使得安装法兰1内部的热量会通过安装通孔2和散热圆槽4进行散发，提高安装法兰1的散热效果，通过多种散热结构的设计，从而提高了装置整体的散热性能，保证了装置的正常使用。
24.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
25.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
26.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。