扫描电镜的样品平台及扫描电镜的制作方法

1.本实用新型涉及扫描电镜的零部件技术领域，尤其是涉及一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜。


背景技术：

2.随着科技的发展，扫描电镜在各科研、企事业单位被广泛应用。扫描电镜是阴极与阳极之间的高压产生高速电子，经过多级聚焦形成极细的电子束，在试样品表面逐点扫描激发表面的各种信号，最后收集并分析。为了减少更换试样品抽真空的耗时，样品托上一次会装几种甚至几十种不同的试样品，但是相关技术的方案使用杆件作为支撑，整体结构的强度低、负载能力差。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种扫描电镜的样品平台，提高结构的强度，增加负载能力。
4.本实用新型还提出一种应用上述样品平台的扫描电镜，提高结构的强度，增加负载能力。
5.根据本实用新型实施例的扫描电镜的样品平台，包括：基座；旋转驱动组件，所述旋转驱动组件包括：蜗轮，所述蜗轮可枢转地设在所述基座上；蜗杆，所述蜗杆啮合所述蜗轮以驱使所述蜗轮转动；驱动件，所述驱动件连接所述蜗杆以驱使所述蜗杆转动；样品承载台，所述样品承载台用于沿周向放置多个样品，所述样品承载台连接所述蜗轮以在所述蜗轮的带动下旋转。
6.根据本实用新型实施例的扫描电镜的样品平台，通过蜗轮、蜗杆与驱动件的配合使样品承载台旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮、蜗杆的配合使整体结构强度高，从而提示了负载能力。
7.一些实施例中，扫描电镜的样品平台还包括检测件和被测件，所述被测件设在所述样品承载台上，所述检测件电连接所述驱动件，所述样品承载台旋转过程中所述检测件可检测所述被测件，以获取所述样品承载台的起始位和旋转角度。
8.一些具体实施例中，所述被测件为设在所述样品承载台上的凸柱，所述检测件为设在所述基座上的微动开关，所述被测件随所述样品承载台旋转的过程中所述凸柱触发所述的微动开关。
9.可选地，所述凸柱设在所述样品承载台的底部且向下延伸，所述微动开关设在所述样品承载台的下方。
10.一些实施例中，所述基座上设有轴承孔，所述轴承孔内设有交叉滚子轴承，所述蜗轮上设有枢转轴，所述枢转轴内套在所述交叉滚子轴承上。
11.一些实施例中，所述旋转驱动组件还包括蜗杆座，所述蜗杆座设在所述基座上，所述蜗杆座包括两个间隔开设置的安装座，所述蜗杆的两端通过轴承分别安装在两个所述安
装座上。
12.一些具体实施例中，所述蜗杆座还包括固定座，所述固定座与两个所述安装座相连，所述固定座上设有安装孔，所述安装孔沿垂直于所述蜗杆轴向方向的第一方向延伸，所述基座上设有螺孔，所述螺孔内设有配合在所述安装孔内的紧固件，所述固定座相对所述紧固件可沿所述第一方向调节。
13.进一步地，所述固定座的厚度小于所述安装座的厚度，所述基座上设有定位凸台和靠近所述定位凸台设置的定位面，所述固定座止抵在所述定位凸台上，两个所述安装座止抵在所述定位面上。
14.可选地，所述驱动件为步进电机，所述样品平台还包括屏蔽壳，所述屏蔽壳设在所述基座上，所述步进电机设在所述屏蔽壳内，所述步进电机的输出轴穿设在所述屏蔽壳上并与所述蜗杆相连。
15.根据本实用新型实施例的扫描电镜，包括上述的扫描电镜的样品平台。
16.根据本实用新型实施例的扫描电镜，通过蜗轮、蜗杆与驱动件的配合使样品承载台旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮、蜗杆的配合使整体结构强度高，从而提示了负载能力。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
19.图1为本实用新型实施例中样品平台的爆炸示意图一；
20.图2为本实用新型实施例中样品平台的爆炸示意图二；
21.图3为本实用新型实施例中样品承载台的剖视图。
22.附图标记：
23.100、样品平台；
24.10、基座；12、螺孔；13、定位凸台；14、定位面；15、轴承孔；151、交叉滚子轴承；
25.20、样品承载台；26、紧固件；27、被测件；
26.30、旋转驱动组件；31、蜗杆座；314、安装座；3113、定位挡肩；313、固定座；3131、安装孔；32、蜗杆；321、角接触球轴承；322、深沟球轴承；33、蜗轮；34、驱动件；
27.50、检测件；60、屏蔽壳。
具体实施方式
28.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
29.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
30.此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。
31.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.下面结合附图描述本实用新型实施例的扫描电镜的样品平台100。
34.如图1、图2所示，根据本实用新型实施例的扫描电镜的样品平台100，扫描电镜的样品平台100包括：基座10、旋转驱动组件30及样品承载台20。
35.旋转驱动组件30包括：蜗轮33、蜗杆32及驱动件34。
36.蜗轮33可枢转地设在基座10上。蜗杆32啮合蜗轮33以驱使蜗轮33转动。驱动件34连接蜗杆32以驱使蜗杆32转动，进而驱动蜗轮33转动，从而将驱动件34的驱动力平稳的传递到蜗轮33上。
37.样品承载台20用于沿周向放置多个样品，样品承载台20连接蜗轮33以在蜗轮33的带动下旋转，通过设置蜗轮33蜗杆32将驱动件34的驱动力平稳传递到样品承载台20上，蜗轮33、蜗杆32、驱动件34的强度高，从而使样品承载台20承载更多的样品，使样品承载台20更有动力带动更多样品转动。
38.根据本实用新型实施例的扫描电镜的样品平台100，通过蜗轮33、蜗杆32与驱动件34的配合使样品承载台20旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮33、蜗杆32的配合使整体结构强度高，从而提示了负载能力。
39.如图1、图2所示，一些实施例中，样品承载台20的中心轴可以是与蜗轮33的旋转轴同轴，样品承载台20绕自身中心轴旋转；或者，样品承载台20的中心轴与蜗轮33的旋转轴不同轴，样品承载台20绕蜗轮33的旋转轴旋转，从而适应不同的需求。
40.如图1、图2所示，一些实施例中，扫描电镜的样品平台100还包括检测件50和被测件27，被测件27设在样品承载台20上，检测件50电连接驱动件34，样品承载台20旋转过程中检测件50可检测被测件27，以获取样品承载台20的起始位和旋转角度，通过获取样品承载台20的起始位和旋转角度，实现对样品位置的精确控制。
41.如图1、图2所示，一些具体实施例中，被测件27为设在样品承载台20上的凸柱，检测件50为设在基座10上的微动开关，被测件27随样品承载台20旋转的过程中凸柱触发的微动开关，通过将样品承载台20上的凸柱设为被测件27，无需另设装置与检测件50配合出发，方便制造。其中，微动开关处于凸柱的运动路径上，在凸柱随样品承载台20旋转的过程中，凸柱行经微动开关与微动开关发生接触，从而触发微动开关。
42.如图1、图2所示，可选地，凸柱设在样品承载台20的底部且向下延伸，微动开关设
在样品承载台20的下方，通过将凸柱设在样品承载台20的底部，充分利用样品承载台20的底部空间，避免占用样品承载台20上部放置样品的空间。
43.如图1、图2所示，一些实施例中，基座10上设有轴承孔15，轴承孔15内设有交叉滚子轴承151，蜗轮33上设有枢转轴，枢转轴内套在交叉滚子轴承151上，通过设置交叉滚子轴承151实现对蜗轮33的导向作用，提高强度，增加负载能力。
44.如图1、图2所示，一些实施例中，旋转驱动组件30还包括蜗杆座31，蜗杆座31设在基座10上，蜗杆座31包括两个间隔开设置的安装座314，蜗杆32的两端通过轴承分别安装在两个安装座314上，从而实现蜗杆32的转动。
45.进一步地，蜗杆座31为一体化设计，以同时安装轴承与蜗杆32，从而进一步保证了位置精度。
46.如图1、图2所示，进一步地，蜗杆32两端的轴承包括角接触球轴承321、深沟球轴承322。具体地，角接触球轴承321设在蜗杆32靠近驱动件34的一端，深沟球轴承322设在蜗杆32远离驱动件34的一端，在实现蜗杆32转动的基础上，进一步保证了蜗杆32的稳定性及位置精度。
47.如图1、图2所示，更具体地，角接触球轴承321为两个，两个角接触球轴承321组合成角接触球轴承321组，使用蜗杆32锁紧螺母将角接触球轴承321组的内圈锁紧，进一步保证稳定性。
48.如图1、图3所示，一些具体实施例中，蜗杆座31还包括固定座313，固定座313与两个安装座314相连，固定座313上设有安装孔3131，安装孔3131沿垂直于蜗杆32轴向方向的第一方向延伸，基座10上设有螺孔12，螺孔12内设有配合在安装孔3131内的紧固件26，固定座313相对紧固件26可沿第一方向调节，通过设置延伸的安装孔3131，使固定座313相对紧固件26可调节，实现对蜗杆32与蜗轮33之间间隙的调节，保证了蜗轮33与蜗杆32的准确啮合，减少背隙。例如，紧固件26为螺钉，螺钉旋入螺孔12内。当然，可以理解，紧固件26还可以是销钉、螺栓等等，这里不再赘述。
49.其中，第一方向垂直于蜗杆32轴向方向，且第一方向朝向蜗轮33方向，使安装孔3131朝向蜗轮33方向延伸，紧固件26安装在安装孔3131内，在紧固件26未将固定座313完全紧固在基座10上时，推动固定座313移动，在紧固件26的限制下，固定座313可远离或接近蜗轮33，从而实现蜗轮33与蜗杆32之间间隙的调整，保证蜗轮33蜗杆32的啮合，在调整完成后，通过紧固件26将固定座313固定在基座10上，完成安装。
50.如图3所示，进一步地，安装座314上设有定位挡肩3113，蜗杆32穿设在定位挡肩3113内，从而对蜗杆32进行定位，保证精度。
51.进一步地，固定座313的厚度小于安装座314的厚度，基座10上设有定位凸台13和靠近定位凸台13设置的定位面14，固定座313止抵在定位凸台13上，两个安装座314止抵在定位面14上，通过设置定位凸台13、定位面14对蜗杆座31进行定位，保证安装精度。
52.可选地，驱动件34为步进电机，样品平台100还包括屏蔽壳60，屏蔽壳60设在基座10上，步进电机设在屏蔽壳60内，步进电机的输出轴穿设在屏蔽壳60上并与蜗杆32相连，通过设置屏蔽壳60包裹步进电机，避免步进电机的电磁干扰到测样。例如，屏蔽壳60的材质为纯铁，从而屏蔽电磁干扰。
53.下面结合图1至图3，描述本实用新型样品平台100的一个具体实施例。
54.一种扫描电镜的样品平台100包括：基座10、样品承载台20、旋转驱动组件30、检测件50、被测件27及屏蔽壳60。
55.基座10上设有轴承孔15、螺孔12、定位凸台13及定位面14。轴承孔15内设有交叉滚子轴承151。螺孔12内设有紧固件26，紧固件26为螺钉。定位面14靠近定位凸台13设置。
56.样品承载台20用于沿周向放置十二个样品。
57.旋转驱动组件30包括：蜗杆座31、蜗杆32、蜗轮33及驱动件34。
58.蜗杆座31设在基座10上，蜗杆座31包括两个间隔开设置的安装座314及固定座313，安装座314上设有定位挡肩3113，固定座313与两个安装座314相连，固定座313上设有安装孔3131，安装孔3131沿垂直于蜗杆32轴方向的第一方向延伸，固定座313相对紧固件26可沿第一方向调节。其中，固定座313的厚度小于安装座314的厚度，固定座313止抵在定位凸台13上，两个安装座314止抵在定位面14上。蜗杆32的两端通过轴承分别安装在两个安装座314上，以使蜗杆32在安装座314上转动。蜗轮33上设有枢转轴，枢转轴内套在交叉滚子轴承151上，同时，蜗轮33与蜗杆32啮合。驱动件34为步进电机，步进电机的输出轴与蜗杆32相连，以驱使蜗杆32转动。
59.被测件27为设在样品承载台20上的凸柱，凸柱设在样品承载台20的底部且向下延伸。
60.检测件50为设在基座10上的微动开关，微动开关电连接驱动件34，微动开关设在样品承载台20的下方，凸柱随样品承载台20旋转过程中凸柱触发微动开关，以获取样品承载台20的起始位和旋转角度。
61.屏蔽壳60设在基座10上，屏蔽壳60的材质为纯铁，步进电机设在屏蔽壳60内。
62.根据本实用新型实施例的扫描电镜，包括上述的扫描电镜的样品平台100。
63.根据本实用新型实施例的扫描电镜，通过蜗轮33、蜗杆32与驱动件34的配合使样品承载台20旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮33、蜗杆32的配合使整体结构强度高，从而提示了负载能力。
64.根据本实用新型实施例的扫描电镜的样品平台100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
65.在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
66.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。