用于晶圆的遮光装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备的设计及制造技术领域，特别地涉及一种用于晶圆的遮光装置。


背景技术：

2.目前，在半导体设备领域，当晶圆需要进行激光退火工序时，需要用激光对晶圆表面进行照射，激活晶圆内部的注入离子，由于晶圆的边缘结构强度较弱，当激光照射到晶圆边缘时，由于突发的热应力变形，晶圆容易出现碎片，所以需要遮光环对晶圆边缘进行保护。
3.然而，相关技术中的激光退火装置，其结构复杂，导致激光退火装置现场组装不便。


技术实现要素：

4.针对上述现有技术中的问题，本技术提出了一种用于晶圆的遮光装置，解决了激光退火装置现场组装不方便的问题。
5.本实用新型的用于晶圆的遮光装置，包括：安装座，设置出气孔；遮光环，设置在安装座上；气路，设置在安装座内，气路与出气孔连通；其中，安装座不遮挡遮光环的通孔，气路能够将外部的气体通入出气孔，出气孔能够向晶圆喷射气体，以保证晶圆的退火光斑处的洁净度。
6.在一个实施方式中，气路包括：环形总路，沿遮光环的周向设置；轴向支路，轴向支路沿遮光环的轴向延伸设置；其中，轴向支路的一端与环形总路连通，其另一端与出气孔连通。通过本实施方式，环形总路能够将外部的气体导入轴向支路，进而通过出气孔喷向晶圆，从而实现了遮光装置的清洗功能。
7.在一个实施方式中，安装座的内壁面上开设有安装孔，安装孔与轴向支路连通，遮光装置还包括气路调节件，气路调节件设置在安装孔内，气路调节件的一端能够伸入轴向支路内调节轴向支路内气体的流量。通过本实施方式，通过将气路调节件的一端伸入轴向支路内，以调节轴向支路横截面的过流面积，这样实现了调节轴向支路内气体的流量，从而使得遮光装置的气路的流量可调。
8.在一个实施方式中，安装孔为螺纹孔，气路调节件与安装孔螺纹连接，通过旋拧气路调节件以调节出气孔的出气量。
9.在一个实施方式中，气路调节件包括顶丝和设置在顶丝端部的橡胶球头。通过本实施方式，橡胶球头具有密封功能，能够防止轴向支路内的气体从安装孔泄漏出，从而确保遮光装置的出气孔能够高效地吹出气体，以降低对晶圆退火面的污染。
10.在一个实施方式中，气路包括多个轴向支路，多个轴向支路沿遮光环的周向间隔设置，安装座的内壁面上开设有多个安装孔，多个安装孔与多个轴向支路一一对应地连通，遮光装置还包括多个气路调节件，多个气路调节件一一对应地设置在多个安装孔内。
11.在一个实施方式中，安装座的侧壁上开设有安装口，晶圆通过安装口侧向到达遮光环的下方。
12.在一个实施方式中，安装座上还设置有与气路连通的进气口，遮光装置还包括进气管，进气管与进气口连通。
13.在一个实施方式中，安装座的侧壁上还开设有避让口，避让口与安装口间隔设置，用于避让进气管。
14.在一个实施方式中，遮光环可拆卸地设置在安装座上。
15.上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本实用新型的目的。
16.本实用新型提供的一种用于晶圆的遮光装置，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：
17.气路集成设置在遮光装置内，这样使得遮光装置具有双重功能，即遮光装置的遮光环能够对晶圆边缘处进行保护，避免退火过程中晶圆出现碎片的风险。通过遮光装置的气路和出气孔吹出洁净的气体，降低了对晶圆退火面的污染。进而满足了遮光装置的多功能要求，同时简化了整个激光退火装置的结构，从而方便激光退火装置的现场组装。
附图说明
18.在下文中将基于实施例并参考附图来对本实用新型进行更详细的描述。其中：
19.图1显示了本实用新型的用于晶圆的遮光装置结构示意图；
20.图2显示了图1中的遮光装置的剖视图(以避让口的轴向对称面为剖面)；
21.图3显示了图2中的遮光装置的局部剖视图；
22.图4显示了图1中的气路调节件的局部剖视图；
23.图5显示了本实用新型的激光退火装置的结构示意图。
24.在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
25.附图标记：
26.10、安装座；11、出气孔；12、通孔；13、安装口；14、避让口；15、安装孔；20、遮光环；30、气路；31、环形总路；32、轴向支路；40、气管；50、气路调节件；51、顶丝；52、橡胶球头；60、连通孔；100、遮光装置；200、片台；300、光源；400、机械手；500、晶圆。
具体实施方式
27.下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。
28.需要说明的是，本技术中的气体为清洁的惰性气体，如氮气。
29.如图1至图3所示，本实用新型提供了一种用于晶圆500的遮光装置100，其包括安装座10、遮光环20和气路30。
30.其中，安装座10上设置有出气孔11，遮光环20设置在安装座10上，气路30设置在安装座10内，气路30与出气孔11连通。安装座10不遮挡遮光环20的通孔12，气路30能够将外部的气体通入出气孔11，出气孔11能够向晶圆500喷射气体，以保证晶圆500的退火光斑处的洁净度。
31.上述设置中，气路30集成设置在遮光装置100内，这样使得遮光装置100具有双重
功能，即遮光装置100的遮光环20能够对晶圆500边缘处进行保护，避免退火过程中晶圆500出现碎片的风险。通过遮光装置100的气路30和出气孔11吹出洁净的气体，降低了对晶圆500退火面的污染。进而满足了遮光装置100的多功能要求，同时简化了整个激光退火装置的结构，从而方便激光退火装置的现场组装。
32.具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，气路30包括环形总路31和轴向支路32。
33.其中，环形总路31沿遮光环20的周向设置，轴向支路32沿遮光环20的轴向延伸设置，轴向支路32的一端与环形总路31连通，其另一端与出气孔11连通。
34.上述设置中，环形总路31能够将外部的气体导入轴向支路32，进而通过出气孔11喷向晶圆500，从而实现了遮光装置100的清洗功能。
35.具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，安装座10的内壁面上开设有安装孔15，安装孔15与轴向支路32连通，遮光装置100还包括气路调节件50，气路调节件50设置在安装孔15内，气路调节件50的一端能够伸入轴向支路32内调节轴向支路32内气体的流量。
36.上述设置中，通过将气路调节件50的一端伸入轴向支路32内，以调节轴向支路32横截面的过流面积，这样实现了调节轴向支路32内气体的流量，从而使得遮光装置100的气路30的流量可调。
37.具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，安装孔15为螺纹孔，气路调节件50与安装孔15螺纹连接，通过旋拧气路调节件50以调节出气孔11的出气量。
38.具体地，如图4所示，在一个实施例中，气路调节件50包括顶丝51和设置在顶丝51端部的橡胶球头52。
39.上述设置中，橡胶球头52具有密封功能，能够防止轴向支路32内的气体从安装孔15泄漏出，从而确保遮光装置100的出气孔11能够高效地吹出气体，以降低对晶圆500退火面的污染。
40.具体地，在一个实施例中，顶丝51采用m2顶丝。
41.具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，气路30包括多个轴向支路32，多个轴向支路32沿遮光环20的周向间隔设置，安装座10的内壁面上开设有多个安装孔15，多个安装孔15与多个轴向支路32一一对应地连通，遮光装置100还包括多个气路调节件50，多个气路调节件50一一对应地设置在多个安装孔15内。
42.具体地，如图1至图3所示，在一个实施例中，气路30包括七个轴向支路32，七个轴向支路32沿遮光环20的周向间隔设置，安装座10的内壁面上开设有七个安装孔15，七个安装孔15与七个轴向支路32一一对应地连通，遮光装置100还包括七个气路调节件50，七个气路调节件50一一对应地设置在多个安装孔15内。
43.具体地，如图1所示，在一个实施例中，安装座10的侧壁上开设有安装口13，晶圆500能够通过安装口13侧向到达遮光环20的下方。
44.上述设置中，设置安装口13能够确保晶圆500侧向到达遮光环20的下方。这样提高了晶圆500安装的便利性，从而提高了激光退火装置的组装效率。
45.具体地，如图1所示，在一个实施例中，安装座10上还设置有与气路30连通的进气口，遮光装置100还包括进气管40，进气管40与进气口连通。
46.具体地，如图1和图5所示，在一个实施例中，安装座10的侧壁上还开设有避让口
14，避让口14与安装口13间隔设置，用于避让进气管40。
47.具体地，在一个实施例中，遮光环20可拆卸地设置在安装座10。
48.具体地，如图1所示，在一个实施例中，遮光装置100上设置有连通孔60，连通孔60设置在遮光环20的上端面上，贯穿于遮光环20和安装座10。连通孔60内可传送螺钉，用于将遮光装置100固定在片台200上。
49.如图5所示，本技术还提供了一种激光退火装置，其包括光源300、机械手400和片台200。
50.其中，光源300设置在最上端，机械手400将晶圆500送达遮光装置100内。
51.需要说明的是，遮光装置100通过上述螺钉安装到片台200上，当晶圆500通过机械手400放置在片台200上时，遮光装置100通过气路30吹出洁净的氮气，维持片台200上的洁净环境，避免晶圆500被污染。当激光光源300照射到晶圆500上时，遮光装置100会将晶圆500的边缘遮挡，避免晶圆500出现碎片，晶圆500内的金属离子会挥发出来，通过遮光装置100吹出的气流吹出片台200外，对片台200形成一定的保护。遮光装置100经激光照射依旧性能稳定，可以通过氧化铝烧结制成，气路调节件50带有橡胶压头的m2的顶丝51组成，通过调节顶丝51的旋紧程度，可以调节出气孔11的出气量大小。
52.本技术中的遮光装置100具有以下特点：
53.1、保护晶圆边缘，降低晶圆碎片的风险；
54.2、维持洁净的工艺环境，降低晶圆颗粒度污染；
55.3、维持片台上洁净环境，提高片台200的使用寿命；
56.4、集成气路，结构简单，方便现场组装。
57.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
58.虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本实用新型，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本实用新型的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本实用新型的精神和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。