一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板的制作方法

1.本实用新型涉及喷淋板技术领域，尤其涉及一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板。


背景技术：

2.半导体镀膜设备时目前镀膜设备中重要的一种，主要为了对半导体之间进行快速稳定的镀膜工作，而喷淋板则是半导体镀膜设备内部重要的部件。
3.其中专利号为cn205077140u公开了一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板，该喷淋板包括制有固定螺孔的喷淋板主体，喷淋板主体上制有小孔，而该喷淋板在安装时存在一定缺陷：
4.上述喷淋板在安装时通过多个外部螺栓穿出固定螺孔并与设备内部进行连接，需要重复多次的螺栓拧紧操作，较为的繁琐。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是为了解决现有技术中喷淋板在安装时通过多个外部螺栓穿出固定螺孔并与设备内部进行连接，需要重复多次的螺栓拧紧操作，较为的繁琐的问题，而提出的一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
7.一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板，包括喷淋板和开设于所述喷淋板内部的多个对称设置的喷淋孔，所述喷淋板的内部螺纹穿设有多个沿喷淋板中轴线呈环形对称设置的螺栓，
8.所述螺栓的外侧固定套设有橡胶轮，多个所述橡胶轮相靠近一侧共同接触连接有硬质橡胶环，
9.所述喷淋板的表面开设有第一环形槽，所述硬质橡胶环与第一环形槽之间设有限位转动机构，
10.所述环形槽的内表面底部开设有多个定位孔，所述定位孔的内部设有定位机构。
11.优选的，所述硬质橡胶环远离喷淋板的一侧固定设有多个连板，所述连板的内部转动设有转杆，所述转杆靠近第一环形槽的一端固定套设有滚轮，所述滚轮位于第一环形槽内。
12.优选的，所述第一环形槽的内壁开设有第二环形槽，所述滚轮的轮壁与第一环形槽和第二环形槽的内侧壁接触连接。
13.优选的，所述定位机构包括弧形板，所述弧形板与连板固定连接，并套设于转杆的外侧，所述弧形板的内部两端均滑动穿设有定位杆，所述定位杆穿设于所述定位孔内，所述定位杆的杆壁套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与弧形板和定位杆固定连接。
14.优选的，相邻两个所述定位杆之间固定设有拉杆。
15.优选的，所述连板与硬质橡胶环之间通过螺栓固定连接。
16.优选的，所述拉杆呈u形设置。
17.与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板，具备以下有益效果：
18.1、该半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板，通过设有的螺栓、橡胶轮、硬质橡胶环、第一环形槽、第二环形槽和限位转动机构，通过转动硬质橡胶环同时驱动多个橡胶轮进行转动，使得橡胶轮带动螺栓进行转动，可提高喷淋板与镀膜设备的快速连接。
19.2、该半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板，通过设有的硬质橡胶环、弧形板、定位孔和定位机构，能够在硬质橡胶环转动结束后对硬质橡胶环的位置进行确定。
20.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型操作方便，能够在喷淋板进行安装时，同时对多个安装螺栓进行拧动，最短时间内完成螺栓与螺孔和设备之间的连接，提高了喷淋板的安装效率。
附图说明
21.图1为本实用新型提出的一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板的结构示意图；
22.图2为图1中局部a部分的结构放大图。
23.图中：1喷淋板、2喷淋孔、3螺栓、4橡胶轮、5硬质橡胶环、6第一环形槽、7连板、8转杆、9滚轮、10第二环形槽、11弧形板、12定位杆、13定位孔、14弹簧、15拉杆。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
25.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.实施例1
27.参照图1，一种半导体镀膜设备反应腔用新型喷淋板，包括喷淋板1和开设于喷淋板1内部的多个对称设置的喷淋孔2，可通过喷淋孔2进行物质的通过喷淋。
28.参照图1，喷淋板1的内部螺纹穿设有多个沿喷淋板中轴线呈环形对称设置的螺栓3，能够通过螺栓3与镀膜设备内部进行连接，完成对喷淋板1的安装。
29.参照图1，螺栓3的外侧固定套设有橡胶轮4，多个橡胶轮4相靠近一侧共同接触连接有硬质橡胶环5，可通过硬质橡胶环5的转动带动多个橡胶轮进行4进行转动。
30.实施例2
31.实施例2在实施例1的基础上如图1-2示，喷淋板1的表面开设有第一环形槽6，硬质橡胶环5与第一环形槽6之间设有限位转动机构，硬质橡胶环5远离喷淋板1的一侧固定设有多个连板7，连板7与硬质橡胶环5之间通过螺栓固定连接，可将连板7与硬质橡胶环5进行分离，
32.参照图2，连板7的内部转动设有转杆8，转杆8靠近第一环形槽6的一端固定套设有滚轮9，滚轮9位于第一环形槽6内，通过滚轮9提高硬质橡胶环5的转动便捷性。
33.实施例3
34.实施例3在实施例2的基础上如图2示，第一环形槽6的内壁开设有第二环形槽10，滚轮9的轮壁与第一环形槽6和第二环形槽10的内侧壁接触连接，通过第二环形槽10的设置，对滚轮9的转动进行限位，从而对整个硬质橡胶环5的转动进行限位。
35.实施例4
36.实施例4在实施例1的基础上如图2示，环形槽的内表面底部开设有多个定位孔13，定位孔13的内部设有定位机构，定位机构包括弧形板11，弧形板11与连板7固定连接，并套设于转杆8的外侧，弧形板11的内部两端均滑动穿设有定位杆12，定位杆12穿设于定位孔13内，通过定位杆12与定位孔13的插接，对硬质橡胶环5的位置进行确定。
37.参照图2，定位杆12的杆壁套设有弹簧14，弹簧14的两端分别与弧形板11和定位杆12固定连接，相邻两个定位杆12之间固定设有拉杆15，拉杆15呈u形设置，可通过拉动拉杆15同时带动两个定位杆12进行拉动，完成定位杆12与定位孔的连接和分离。
38.本实用新型中，在对喷淋板1进行安装时，将喷淋板1放置于镀膜设备内部，并同时拉动两个拉杆15，使得拉杆15带动定位杆12从定位孔13内分离，并拉伸弹簧14，随后转动两个拉杆15，使得拉杆15带动弧形板11、连板7以及硬质橡胶环5进行转动，而硬质橡胶环5通过滚轮9与第一环形槽6和第二环形槽10之间的接触，对自身的转动进行限位，当硬质橡胶环5转动时，通过与橡胶轮4之间的摩擦，开始带动多个橡胶轮4同时转动，从而多个橡胶轮4开始带动螺栓3进行转动并与设备内部的螺纹孔进行连接，提高安装效率，而螺栓3拧动距离一定时，松开拉杆，并通过弹簧14的弹力回复，拉动定位杆13插入第一环形槽6内部相应位置的定位孔13内，即可完成对硬质橡胶环5的位置确定。
39.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。