一种方形插片式石英舟的制作方法

文档序号:30623999发布日期:2022-07-05 16:34阅读:223来源:国知局

1.本实用新型涉及石英舟技术领域,尤其涉及一种方形插片式石英舟。


背景技术:

2.石英舟又名石英玻璃,石英玻璃是以含二氧化硅物质,如水晶、硅石,一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%。石英玻璃具有优异的光学性能,不仅可见光透光度特别好,而且透紫外线,红外线,石英玻璃电学性能极佳,在常温下,它的电阻相当于普通玻璃的10倍,对全部频率的介电损失很微小,绝缘耐压强度大。
3.现有的石英舟在插取硅片时,如果硅片与卡槽处于错位状态,此时插入硅片不仅会对硅片造成损坏而且会破坏石英舟,同时现有的石英舟的尺寸是固定的而目前主流硅片尺寸有5英寸、6英寸,不同尺寸的硅片需要更换不同型号的石英舟来存放,频繁更换不同型号的石英舟会加大生产成本。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处,提供一种方形插片式石英舟,通过设置警示灯等结构,能够提醒操作人员硅片插入出现错位,避免强制插入造成硅片和石英舟出现损坏,通过设置活动板等结构,能够使得石英舟能够承载不同尺寸的硅片,提高了石英舟的实用性,降低了石英舟的生产成本。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种方形插片式石英舟,包括:两个侧杆,所述侧杆上设置有防护警示机构和限位机构;
6.所述防护警示机构包括插接在侧杆上的u型杆,所述u型杆上固定连接有连接杆,所述连接杆的两端固定连接有卡杆,所述卡杆的顶部固定连接有定触片和若干个复位弹簧,所述复位弹簧的另一端固定连接有防护板,所述防护板的底部固定连接有动触片,所述连接杆上固定连接有两个对称分布的警示灯,所述警示灯内设置有纽扣电池,所述警示灯与纽扣电池电性连接,所述纽扣电池与所述定触片电性连接;
7.所述限位机构用于对侧杆进行限位。
8.优选的,所述限位机构包括固定连接在侧杆两端的活动板,所述活动板上转动连接有两个对称分布的转动杆,所述侧杆的两端设置有顶杆,所述顶杆上固定连接有两组对称分布的限位板,每组限位板的数量为两个,所述限位板上开设有限位孔。
9.优选的,所述顶杆的底部固定连接有两组支撑柱,每组支撑柱的数量为2-4个,所述支撑柱的底端固定连接有底杆,所述底杆相互靠近的一侧固定连接有若干个支撑杆。
10.优选的,所述支撑杆和侧杆上均开设有若干个卡槽。
11.优选的,所述转动杆的侧壁上固定两个有两个对称分布的限位耳,所述限位耳与转动杆一体成型。
12.优选的,所述连接杆和u型杆一体成型,所述侧杆上开设有限位槽。
13.优选的,所述底杆、顶杆和支撑柱上开设有若干个轻量孔。
14.优选的,所述顶杆上开设有两个对称分布的通孔,所述侧杆的顶部和底部分布与通孔的顶部和底部内壁滑动连接。
15.本实用新型的有益效果在于:
16.(1)本实用新型通过警示灯、防护板、定触碰和动触片等结构,其中当硅片与卡槽处于错位的状态,此时硅片不能够穿过卡槽,如果强制插入,则会导致硅片和石英舟出现损坏,在此种状态下,硅片的一角或两角与防护板抵接,使得防护板向下运动压缩复位弹簧,进而使得定触片与动触片接触,实现警示灯15、定触片、动触片、纽扣电池形成电性通路,警示灯亮起,提醒操作人员硅片插入出现错位,避免强制插入造成硅片和石英舟出现损坏。
17.(2)本实用新型通过限位板、活动板、转动杆等结构,其中当需要使用英寸的硅片时,转动活动板一侧的转动杆,使得转动杆与一侧的限位板脱离,滑动侧杆,使得另一侧的转动杆与另一个限位板滑动套接,之后转动转动杆使得转动杆上的限位耳与限位板上的限位孔呈现错位的状态,从而对活动板进行限位,进而对侧杆进行限位,从而使得英寸的硅片能够放置到石英舟内,当需要放置英寸的硅片时,使得活动板复位即可,从而能够承载不同尺寸的硅片,提高了石英舟的实用性,降低了石英舟的生产成本。
18.综上所述,本实用新型能够提醒操作人员硅片插入出现错位,避免强制插入造成硅片和石英舟出现损坏,同时使得石英舟能够承载不同尺寸的硅片,提高了石英舟的实用性,降低了石英舟的生产成本,操作简单,使用方便,适合大量推广。
附图说明
19.图1为方形插片式石英舟第一视角结构示意图;
20.图2为图1中a处放大结构示意图;
21.图3为方形插片式石英舟第二视角结构示意图;
22.图4为图3中b处放大结构示意图;
23.图5为方形插片式石英舟工作状态结构示意图。
24.附图标记:1、底杆;2、连接杆;3、u型杆;4、支撑杆;5、支撑柱;6、顶杆;7、侧杆;8、防护板;9、卡杆;10、限位板;11、转动杆;12、活动板;13、定触片;14、动触片;15、警示灯;16、复位弹簧。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
26.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、
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顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术
特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
27.实施例一
28.如图1-5所示,一种方形插片式石英舟,包括:两个侧杆7,侧杆7上设置有防护警示机构和限位机构;防护警示机构包括插接在侧杆7上的u型杆3,u型杆3上固定连接有连接杆2,连接杆2的两端固定连接有卡杆9,卡杆9的顶部固定连接有定触片13和若干个复位弹簧16,复位弹簧16的另一端固定连接有防护板8,防护板8的材质为橡胶,防护板8的底部固定连接有动触片14,连接杆2上固定连接有两个对称分布的警示灯15,警示灯15内设置有纽扣电池,警示灯15与纽扣电池电性连接,纽扣电池15与定触片13电性连接,在将硅片放置到石英舟内时,如果在放置时硅片与卡槽处于错位的状态,此时硅片不能够穿过卡槽,如果强制插入,则会导致硅片和石英舟出现损坏,在此种状态下,硅片的一角与防护板8抵接,使得防护板8向下运动压缩复位弹簧16,进而使得定触片13与动触片14接触,实现警示灯15、定触片13、动触片14、纽扣电池形成电性通路,警示灯15亮起,提醒操作人员硅片插入出现偏移,避免强制插入造成硅片和石英舟出现损坏;
29.限位机构用于对侧杆7进行限位。
30.本实施例中,顶杆6的底部固定连接有两组支撑柱5,每组支撑柱5的数量为2-4个,支撑柱5的底端固定连接有底杆1,底杆1相互靠近的一侧固定连接有若干个支撑杆4,两个底杆1、若干个支撑杆4、若干个支撑柱5、两个顶杆6和两个侧杆7构成石英舟。
31.本实施例中,限位机构包括固定连接在侧杆7两端的活动板12,活动板12上转动连接有两个对称分布的转动杆11,侧杆7的两端设置有顶杆6,顶杆6上固定连接有两组对称分布的限位板10,每组限位板10的数量为两个,限位板10上开设有限位孔,当需要使用石英舟时,首先将u型杆3的两端插入侧杆7上开设的限位槽内,使得连接杆2的一侧与侧杆7抵接,从而使得卡杆9与侧杆7卡接,之后将石英舟放置到平整的工作台上,之后放入硅片,使得硅片通过侧杆7上开设的卡槽缓慢下落,继续使得硅片缓慢向下运动至与支撑杆4上的卡槽卡接,当硅片放置完成后,向外拔出u型杆3,通过连接杆2带动卡杆9脱离侧杆7,之后即可将石英舟放置到扩散浆上,当需要使用6英寸的硅片时,转动活动板12一侧的转动杆11,使得转动杆11与一侧的限位板10脱离,滑动侧杆7,使得另一侧的转动杆11与另一个限位板10滑动套接,之后转动转动杆11使得转动杆11上的限位耳与限位板10上的限位孔呈现错位的状态,从而对活动板12进行限位,进而对侧杆7进行限位,从而使得6英寸的硅片能够放置到石英舟内,当需要放置5英寸的硅片时,使得活动板12复位即可。
32.本实施例中,支撑杆4和侧杆7上均开设有若干个卡槽,这样设置的目的是,对硅片进行卡接。
33.本实施例中,转动杆11的侧壁上固定两个有两个对称分布的限位耳,限位耳与转动杆11一体成型,这样设置的目的是,当转动杆11上的限位耳与限位板10上的限位孔呈现错位的状态,即可对活动板12进行限位。
34.本实施例中,连接杆2和u型杆3一体成型,侧杆7上开设有限位槽,这样设置的目的上,使得u型杆3的两端能够插入侧杆7上开设的限位槽内。
35.本实施例中,底杆1、顶杆6和支撑柱5上开设有若干个轻量孔,这样设置的好处是,
不仅减轻了石英舟重量,同时便于对高温扩散。
36.本实施例中,顶杆6上开设有两个对称分布的通孔,侧杆7的顶部和底部分布与通孔的顶部和底部内壁滑动连接。
37.工作步骤
38.在使用石英舟之前,首先将u型杆3的两端插入侧杆7上开设的限位槽内,使得连接杆2的一侧与侧杆7抵接,从而使得卡杆9与侧杆7卡接,将防护警示机构安装在石英舟上,然后将石英舟放置到平整的工作台上,开始放置硅片,硅片通过侧杆7上开设的卡槽缓慢下落,继续使得硅片缓慢向下运动至与支撑杆4上的卡槽卡接,实现硅片的安装,当硅片与卡槽处于错位的状态时,此时硅片不能够穿过卡槽,如果强制插入,则会导致硅片和石英舟出现损坏,在此种状态下,硅片的一角与防护板8抵接,使得防护板8向下运动压缩复位弹簧16,进而使得定触片13与动触片14接触,实现警示灯15、定触片13、动触片14、纽扣电池形成电性通路,警示灯15亮起,提醒操作人员硅片插入出现错位,避免强制插入造成硅片和石英舟出现损坏,硅片安装完成后,向外拔出u型杆3,通过连接杆2带动卡杆9脱离侧杆7,从而通过u型杆3将整个防护警示机构取下,最后将石英舟放置到扩散浆上进行下一步操作;
39.当需要使用6英寸的硅片时,转动活动板12一侧的转动杆11,使得转动杆11与一侧的限位板10脱离,滑动侧杆7,使得另一侧的转动杆11与另一个限位板10滑动套接,之后转动转动杆11使得转动杆11上的限位耳与限位板10上的限位孔呈现错位的状态,从而对活动板12进行限位,进而对侧杆7进行限位,从而使得6英寸的硅片能够放置到石英舟内,当需要放置5英寸的硅片时,使得活动板12复位即可,从而能够承载不同尺寸的硅片,提高了石英舟的实用性,降低了石英舟的生产成本。
40.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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