一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆治具技术领域，更具体的说，尤其涉及一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具。


背景技术：

2.晶圆就是通过将硅晶棒经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料硅晶圆片。同时为了保证晶圆的质量，在制作完成以后通常需要通过承片治具放在显微镜载台上进行检测。
3.但是目前现有的专利号cn214477363u公开的一种显微镜载台晶圆承片治具还存在一定的不足之处，例如只是将晶圆放置在治具的上部，而无法对晶圆进行固定，导致移动检测过程中晶片容易出现晃动或位移，影响观察，从而大大降低其实用价值等问题。
4.有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，以解决上述背景技术中提出的问题和不足。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，由以下具体技术手段所达成：
7.一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，包括：承载板、把手、挡边、滑槽、固定板、滑块、推把；所述承载板右侧的外壁上设有把手，且承载板与把手为一体式结构；所述挡边位于承载板上部的右侧，且挡边与承载板为一体式结构；所述滑槽位于承载板上部的两侧，且滑槽与承载板为一体式结构；所述固定板设置在滑槽的上部，且固定板与滑槽通过滑块滑动连接；所述滑块位于固定板下部的两侧，且滑块与固定板为一体式结构；所述推把位于固定板后端的中间位置，且推把与固定板为一体式结构。
8.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具所述挡边为半圆形的凹槽，且挡边与固定板之间呈左右对称方式设置。
9.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具所述固定板为前端呈弧形设置的长方形板状结构，且固定板通过滑槽与滑块滑动配合设置在承载板上的左侧。
10.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具所述滑槽与滑块均为t形状，且滑槽与滑块之间通过间隙配合方式滑动连接。
11.由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
12.1、本实用新型一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，通过设置固定板，并利用推把推动固定板沿滑槽滑动对放在挡边内的晶圆进行夹持，从而可以提高晶圆在该装置上的放置牢固性，提高检测观察时的稳定性，继而大大提高了该装置的实用价值。
13.2、本实用新型一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，通过将固定板的前端设置呈弧形状，并与挡边呈左右对称方式设置，从而可以对一定直径范围内的不同大小直径的晶圆进行夹持固定，继而大大提了该装置的使用灵活性及实用价值。
14.3、本实用新型通过对上述装置在结构上的改进，具有晶圆放置固定功能，大大提高移动检测观察时的稳定性，并且固定晶圆尺寸灵活可调，大大提高其实用性能及实用价值等优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
附图说明
15.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型的滑槽分布位置结构示意图；
18.图3为本实用新型的固定板放大结构示意图。
19.图中：承载板1、把手2、挡边3、滑槽4、固定板5、滑块6、推把7。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
21.需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.同时，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.请参见图1至图3，本实用新型提供一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具的具体技术实施方案：
25.一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，包括：承载板1、把手2、挡边3、滑槽4、固定板5、滑块6、推把7；承载板1右侧的外壁上设有把手2，且承载板1与把手2为一体式结构；挡边3位于承载板1上部的右侧，且挡边3与承载板1为一体式结构；滑槽4位于承载板1上部的两侧，且滑槽4与承载板1为一体式结构；固定板5设置在滑槽4的上部，且固定板5与滑槽4通过滑块6滑动连接；滑块6位于固定板5下部的两侧，且滑块6与固定板5为一体式结构；推把7位于固定板5后端的中间位置，且推把7与固定板5为一体式结构。
26.具体的，挡边3为半圆形的凹槽，且挡边3与固定板5之间呈左右对称方式设置，并且结合图1所示，挡边3与固定板5配合可以对晶圆进行夹持固定。
27.具体的，固定板5为前端呈弧形设置的长方形板状结构，且固定板5通过滑槽4与滑块 6滑动配合设置在承载板1上的左侧，并且通过推把7可以对固定板5进行推动或抽拉。
28.具体的，滑槽4与滑块6均为t形状，且滑槽4与滑块6之间通过间隙配合方式滑动连接，并且滑槽4与滑块6之间的间隙配合设置成既不妨碍滑动又不会随意移动的间隙配合。
29.具体实施步骤：
30.使用该装置时，首先将该装置放在显微镜载台上，然后将晶圆利用吸笔放置在位于挡边 3的一侧，并推动推把7将固定板5向前移动对晶圆进行夹紧，即可通过把手2对承载板1 进行移动检测观察即可，并且晶圆在承载板1上通过固定板5的夹持在移动时稳定性较强，大大提高观察效果，继而使该装置更加具备实用价值。
31.综上所述：该一种便于晶圆取放的显微镜载台承片治具，通过设置固定板，并利用推把推动固定板沿滑槽滑动对放在挡边内的晶圆进行夹持，从而可以提高晶圆在该装置上的放置牢固性，提高检测观察时的稳定性，继而大大提高了该装置的实用价值；，通过将固定板的前端设置呈弧形状，并与挡边呈左右对称方式设置，从而可以对一定直径范围内的不同大小直径的晶圆进行夹持固定，继而大大提了该装置的使用灵活性及实用价值，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。