技术特征：
1.一种近红外退火结晶设备，其特征在于：包括：壳体，所述壳体设置有相应的退火仓；若干近红外灯管，所述若干近红外灯管阵列排布于所述退火仓的顶端；所述近红外灯管的波长为800nm－1400nm，相邻的所述近红外灯管之间的间距为30mm－40mm；反射面罩，设置于所述退火仓的上端面和若干所述近红外灯管之间，所述反射面罩朝向所述近红外灯管的一面设置为镜面；退火台板，设置于所述退火仓的下端面，所述近红外灯管距离所述退火台板之间的距离为18mm－22mm。2.根据权利要求1所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：包含时间继电器，用于控制所述近红外灯管的点亮时间。3.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为2根，每个所述近红外灯管的功率为100w，所述时间继电器的计时时间为180s。4.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为3根，每个所述近红外灯管的功率为100w，所述时间继电器的计时时间为120s。5.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为2根，每个所述近红外灯管的功率为1000w，所述时间继电器的计时时间为15s。6.根据权利要求2所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述近红外灯管的数量为3根，每个所述近红外灯管的功率为1000w，所述时间继电器的计时时间为8s。7.根据权利要求1所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：还包括电源、散热风扇、显示仪表、开关、排气孔、温度传感器其中的一种或多种，所述电源设置于所述壳体内并为各部件提供电能，所述排气孔、所述显示仪表、所述开关设置于所述壳体的外表面，所述散热风扇设置于所述排气孔，所述温度传感器设置于所述退火仓。8.根据权利要求1所述的一种近红外退火结晶设备，其特征在于：所述壳体设置有和所述退火仓相配合的舱盖。
技术总结
本实用新型涉及一种近红外退火结晶设备，包括：壳体，所述壳体设置有相应的退火仓；若干近红外灯管，所述若干近红外灯管阵列排布于所述退火仓的顶端；反射面罩，设置于所述退火仓的上端面和若干所述近红外灯管之间，所述反射面罩朝向所述近红外灯管的一面设置为镜面；退火台板，设置于所述退火仓的下端面。本实用新型通过在退火仓内设置近红外灯管，利用近红外灯管发生的近红外线照射放置于退火台板上的半导体湿膜，从而能够使半导体湿膜吸收近红外线中的能量并迅速升温从而蒸发半导体湿膜内的水分从而结晶，达到制膜的目的，并大大缩短了退火结晶所需的时间并保证退火结晶后半导体薄膜的质量。体薄膜的质量。体薄膜的质量。
技术研发人员：苏援教 李静 尹君 吴炳辉 王远哲 陈智凌 张渝柏 郑南峰
受保护的技术使用者：嘉庚创新实验室
技术研发日：2022.04.22
技术公布日：2022/12/16