用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置的制作方法

1.本实用新型涉及刻蚀机技术领域，具体为用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置。


背景技术：

2.刻蚀是半导体行业内常用的一种技术，其刻蚀的可靠性和均匀性一直是业界对工艺良率、对产品的质量有着重要影响，同时刻蚀工艺对环境及机台本身的要求也不断提高。
3.半导体刻蚀机在使用的过程中，将晶圆放置在刻蚀腔体内部的压载盘上，而压载盘通过螺丝安装在刻蚀腔体的内部，但是由于刻蚀腔体内部加速离子轰击及高温的环境易造成螺丝发生晃动甚至脱落，不便于刻蚀腔体内部压载盘上晶圆的稳定刻蚀操作。
4.因此亟需用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置来解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，以解决上述背景技术中提出的由于刻蚀腔体内部加速离子轰击及高温的环境易造成螺丝发生晃动甚至脱落，不便于刻蚀腔体内部压载盘上晶圆的稳定刻蚀操作的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀腔体压载盘及安装在刻蚀腔体压载盘上用于刻蚀腔体压载盘固定螺丝，还包括多个防护套筒，各个所述防护套筒分别位于各个螺丝的上方，各个所述防护套筒上开设有安装孔及操作腔，所述安装孔与操作腔之间相通设置，各个所述防护套筒上设置有用于与螺丝限位固定的固定组件。
7.所述防护套筒由陶瓷材料制成。
8.所述固定组件包括开设在操作腔与安装孔之间的多个滑动槽，所述滑动槽与操作腔及安装孔相通设置，各个所述滑动槽上滑动连接有推动板，所述操作腔的内部设置有用于推动板运动导向的导向组件，各个所述推动板相对的一端固定有弧形夹持板，所述操作腔的内部设置有用于各个推动板驱动的驱动组件。
9.各个所述弧形夹持板相对的一侧设置有防滑凸起。
10.所述导向组件包括开设在操作腔内壁上的t型滑槽，所述t型滑槽上滑动连接有t型滑块，所述t型滑块与推动板相固定。
11.所述驱动组件包括转动连接在操作腔内部的环形板，所述环形板靠向各个推动板的一侧设置有螺旋条，所述螺旋条上滑动连接有多个传动块，各个所述传动块分别与各个推动板相固定，所述防护套筒上设置有用于环形板转动的转动组件。
12.所述转动组件包括转动连接在防护套筒上的驱动杆，所述驱动杆位于操作腔内部的一端固定有蜗杆，所述驱动杆的另一端固定有转动销，所述环形板上固定有蜗轮，所述蜗杆与蜗轮之间相互啮合设置，所述环形板上设置有用于蜗杆稳定转动的支撑组件。
13.所述支撑组件包括固定在环形板上的固定板，所述固定板上转动连接有转动杆，所述转动杆的一端与蜗杆的一端相固定。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.本实用新型的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，刻蚀机刻蚀腔体内部压载盘在使用的过程中，将各个防护套筒分别套设在各个螺丝上并通过固定组件进行限位，通过各个防护套筒的隔热防护作用，避免刻蚀腔体压载盘上的螺丝由于加速离子轰击及高温的环境发生晃动甚至脱落。
附图说明
16.图1为本实用新型的整体外形结构示意图；
17.图2为本实用新型的防护套筒内部结构示意图；
18.图3为本实用新型的固定组件内部结构示意图；
19.图4为本实用新型的驱动组件结构示意图。
20.图中：1、刻蚀腔体压载盘；2、螺丝；301、防护套筒；302、安装孔；303、操作腔；401、滑动槽；402、推动板；403、弧形夹持板；501、t型滑槽；502、t型滑块；601、环形板；602、螺旋条；603、传动块；701、蜗轮；702、驱动杆；703、蜗杆；704、转动销；801、固定板；802、转动杆。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-4，本实用新型提供的用于刻蚀腔体保护金属螺丝的装置，包括刻蚀腔体压载盘1及安装在刻蚀腔体压载盘1上用于刻蚀腔体压载盘1固定螺丝2，还包括多个防护套筒301，各个防护套筒301分别位于各个螺丝2的上方，各个防护套筒301上开设有安装孔302及操作腔303，安装孔302与操作腔303之间相通设置，各个防护套筒301上设置有用于与螺丝2限位固定的固定组件，刻蚀机刻蚀腔体内部压载盘在使用的过程中，将各个防护套筒301分别套设在各个螺丝2上并通过固定组件进行限位，通过各个防护套筒301的隔热防护作用，避免刻蚀腔体压载盘1上的螺丝2由于加速离子轰击及高温的环境发生晃动甚至脱落。
23.防护套筒301由陶瓷材料制成，过陶瓷材料的防护套筒301提高对螺丝2的防护效果，使刻蚀腔体压载盘1保持稳定的操作使用。
24.固定组件包括开设在操作腔303与安装孔302之间的多个滑动槽401，滑动槽401与操作腔303及安装孔302相通设置，各个滑动槽401上滑动连接有推动板402，操作腔303的内部设置有用于推动板402运动导向的导向组件，各个推动板402相对的一端固定有弧形夹持板403，操作腔303的内部设置有用于各个推动板402驱动的驱动组件，整个固定过程操作简单、实施便捷，通过各个弧形夹持板403受力后的相互靠近运动，便于防护套筒301与不同外径尺寸的螺丝2进行安装固定，进一步的更加便于对刻蚀腔内部的螺丝2进行防护。
25.各个弧形夹持板403相对的一侧设置有防滑凸起，通过防滑凸起，增加摩擦力，便于防护套筒301更加稳定的与螺丝2相固定。
26.导向组件包括开设在操作腔303内壁上的t型滑槽501，t型滑槽501上滑动连接有t
型滑块502，t型滑块502与推动板402相固定，通过t型滑槽501及t型滑块502，对推动板402的运动进行导向。
27.驱动组件包括转动连接在操作腔303内部的环形板601，环形板601靠向各个推动板402的一侧设置有螺旋条602，螺旋条602上滑动连接有多个传动块603，各个传动块603分别与各个推动板402相固定，防护套筒301上设置有用于环形板601转动的转动组件，在环形板601转动的过程中，通过环形板601上螺旋条602与各个传动块603之间的相互啮合传动及t型滑槽501与t型滑块502对推动板402的导向作用，便于驱动各个推动板402进行相互靠近或是相互远离运动。
28.转动组件包括转动连接在防护套筒301上的驱动杆702，驱动杆702位于操作腔303内部的一端固定有蜗杆703，驱动杆702的另一端固定有转动销704，环形板601上固定有蜗轮701，蜗杆703与蜗轮701之间相互啮合设置，环形板601上设置有用于蜗杆703稳定转动的支撑组件，通过转动销704带动驱动杆702另一端的蜗杆703进行转动，在蜗杆703转动的过程中，通过蜗杆703与蜗轮701之间的相互啮合传动，便于带动环形板601受力在操作腔303的内部转动。
29.支撑组件包括固定在环形板601上的固定板801，固定板801上转动连接有转动杆802，转动杆802的一端与蜗杆703的一端相固定，在蜗杆703转动的过程中，带动转动杆802在固定板801上转动，通过固定板801的支撑，便于蜗杆703更加稳定的进行转动。
30.工作原理：刻蚀机刻蚀腔体内部压载盘在使用的过程中，将各个防护套筒301分别套设在各个螺丝2上并通过固定组件进行限位，通过各个防护套筒301的隔热防护作用，避免刻蚀腔体压载盘1上的螺丝2由于加速离子轰击及高温的环境发生晃动甚至脱落，且通过陶瓷材料的防护套筒301提高对螺丝2的防护效果，使刻蚀腔体压载盘1保持稳定的操作使用；
31.在防护套筒301通过固定组件与螺丝2限位安装的过程中，将防护套筒301套设在螺丝2上，此时螺丝2位于安装孔302的内部，套设完成后，通过转动销704带动驱动杆702另一端的蜗杆703进行转动，在蜗杆703转动的过程中，通过蜗杆703与蜗轮701之间的相互啮合传动，带动环形板601受力在操作腔303的内部转动，在环形板601转动的过程中，通过环形板601上螺旋条602与各个传动块603之间的相互啮合传动及t型滑槽501与t型滑块502对推动板402的导向作用，使各个推动板402受力进行相互靠近运动，通过各个推动板402的相互靠近运动，使各个弧形夹持板403与螺丝2相抵，完成防护套筒301在螺丝2上套设后的限位固定，整个固定过程操作简单、实施便捷，通过各个弧形夹持板403受力后的相互靠近运动，便于防护套筒301与不同外径尺寸的螺丝2进行安装固定，进一步的更加便于对刻蚀腔内部的螺丝2进行防护。
32.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。