一种晶圆水平传输机构的制作方法

1.本技术属于晶圆清洗制备设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆水平传输机构。


背景技术：

2.在半导体晶圆的制造过程中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素。因此，清洗是其中最重要和最频繁的工艺之一。晶圆清洗的目的是为了去除附着于晶圆表面上的各类污染物，例如，有机物、金属杂质或微细颗粒、需要去除的psg层等，该清洗通常需要在盛放有各种清洗液的不同的清洗槽内进行，因此，晶圆在不同清洗槽之间运动时就需要传输装置来进行传输。
3.中国专利文献cn206116363u公开了一种晶舟，倾斜设置晶舟来使晶圆向一个方向倾斜排列，防止晶圆在晶舟的无序倾斜，进一步防止晶圆之间发生磕碰，提高了晶圆的完整性。然而，该文献中，使用支撑部件向下移动并与承载晶舟的台面接触与否来实现晶舟的水平与否，结构较为复杂，结构稳定性不足，不适合在传输过程中使用。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种在传输过程中保证晶圆倾斜、在上下料时保证晶圆竖直晶圆水平传输机构。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
6.一种晶圆水平传输机构，包括：
7.水平安装座；
8.水平滑轨，设置在水平安装座上，位于水平安装座顶面，从其传输方向依次分为上料段-传输段-下料段；
9.晶圆支撑座，用于承接晶圆，设置于水平滑轨上，具有竖直部分以及通过转轴转动地连接在竖直部分上的水平部分，所述水平部分在容纳晶圆后能够使水平部分相对于水平面形成一定的夹角，水平部分上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；
10.驱动件，用于驱动水平安装座在水平滑轨上移动；
11.还包括水平调整机构，包括，设置于晶圆支撑座上的水平调整轮，与上料段和下料段对应的外部框架上固定设置的水平调整块，所述水平调整块具有倾斜的底面，晶圆支撑座从传输段移动到上料段或者从传输段移动到下料段的过程中水平调整轮在水平调整块的底面上滑动，从而将晶圆支撑座的水平部分调整为水平。
12.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，
13.对应上料段的水平调整块的底面具有起伏。
14.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，
15.对应上料段的水平调整块的底面由水平面、向上倾斜面、向下倾斜面、末端倾斜面构成，水平调整轮行走在水平面时，晶圆支撑座的水平部分呈水平布置，水平调整轮行走在向上倾斜面时，晶圆支撑座水平部分的远离水平调整轮的一端向下运动，水平调整轮行走
在向下倾斜面时，晶圆支撑座水平部分的远离水平调整轮的一端向上运动，水平调整轮行走在末端倾斜面时，晶圆支撑座水平部分的远离水平调整轮的一端向下运动，离开末端倾斜面时，晶圆支撑座水平部分与水平面形成所需的特定夹角。
16.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，
17.向下倾斜面的最高点不高于末端倾斜面的最高点，向下倾斜面的最低点高于水平面的高度，向下倾斜面的最低点到水平面的竖直高度记为h，向下倾斜面的最高点到水平面的竖直高度记为h，h为三分之二到二分之一h。
18.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，
19.还包括位置锁定机构，用于将晶圆支撑座锁定在上料段或者下料段。
20.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，
21.所述位置锁定机构包括，设置在晶圆支撑座上的锁定轮，在外部框架上固定设置的锁定驱动件，所述锁定驱动件的伸缩杆上设置有u型的锁定件，需要锁定时，锁定驱动件驱动锁定件上升，使锁定件卡住锁定轮，需要解除锁定时，锁定驱动件驱动锁定件下降，使锁定件离开锁定轮。
22.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，
23.晶圆支撑座的竖直部分上设置有限位杆，用于限制水平部分的最大倾斜角度。
24.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，所述驱动件，包括驱动电机和皮带传动带；
25.所述皮带传动带布置在水平安装座的侧面，由驱动电机驱动皮带传动带运动，所述皮带传动带通过固定夹与晶圆支撑座底部固定。
26.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，所述水平安装座上还设置有限位轮，以限制皮带传动带的位置。
27.优选地，本实用新型的晶圆水平传输机构，水平安装座上还设置有用于感应水平部分位置的所述传感器。
28.本实用新型的有益效果是：
29.本实用新型的晶圆水平传输机构，晶圆支撑座在上料段和下料段时由水平调整机构调整为水平，以方便机械手直上直下的抓取，在传输段进行传输时，晶圆支撑座的水平部分具有一定的倾斜，可以使晶圆在晶圆支撑座上向一个方向倾斜，防止因为晶圆左右倾斜的状态不同而导致晶圆磕碰，降低晶圆的划伤风险。
附图说明
30.下面结合附图和实施例对本技术的技术方案进一步说明。
31.图1是本技术实施例的晶圆水平传输机构一个方向的立体图；
32.图2是本技术实施例的晶圆水平传输机构另一个方向的立体图；
33.图3是本技术实施例的晶圆支撑座的结构图；
34.图4本技术实施例的下料段的晶圆支撑座的结构图；
35.图5本技术其中一种实施例的上料段的晶圆支撑座的结构图；
36.图6本技术实施例的水平调整块的结构图。
37.图中的附图标记为：
38.1 水平安装座；
39.2 水平滑轨；
40.3 晶圆支撑座；
41.4 皮带传动带；
42.22 驱动电机；
43.31 竖直部分；
44.32 水平部分；
45.33 转轴；
46.41 限位轮；
47.42 固定夹；
48.43 限位杆；
49.311 锁定轮；
50.312 锁定驱动件；
51.313 锁定件；
52.321 水平调整轮；
53.322 水平调整块；
54.323 传感器；
55.3221 水平面；
56.3222 向上倾斜面；
57.3223 向下倾斜面；
58.3224 末端倾斜面。
具体实施方式
59.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
60.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
61.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
62.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术的技术方案。
63.实施例
64.本实施例提供一种晶圆水平传输机构，如图1所示，包括：
65.水平安装座1；
66.水平滑轨2，设置在水平安装座1上，位于水平安装座1顶面，从其传输方向依次分为上料段-传输段-下料段，上料段对应的就是用机械手将晶圆放置到下文的晶圆支撑座3上，传输段对应的就是晶圆支撑座3承载着晶圆进行移动，下料段对应的就是用机械手将晶圆从晶圆支撑座3上取走；
67.晶圆支撑座3，如图3所示，用于承接晶圆，设置于水平滑轨2上，具有竖直部分31以及通过转轴33转动地连接在竖直部分31上的水平部分32，所述水平部分32在容纳晶圆后能够使水平部分32相对于水平面形成一定的夹角(夹角优选为10
°‑
20
°
)，水平部分32上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽；
68.驱动件，用于驱动水平安装座1在水平滑轨2上移动；
69.还包括水平调整机构，包括，设置于晶圆支撑座3上的水平调整轮321，与上料段和下料段对应的外部框架上固定设置的水平调整块322，所述水平调整块322具有倾斜的底面，晶圆支撑座3从传输段移动到上料段或者从传输段移动到下料段的过程中水平调整轮321在水平调整块322的底面上滑动，从而将晶圆支撑座3的水平部分32调整为水平。
70.本实施例的晶圆水平传输机构，晶圆支撑座3在上料段和下料段时由水平调整机构调整为水平，以方便机械手直上直下的抓取，在传输段进行传输时，晶圆支撑座3的水平部分32具有一定的倾斜，可以使晶圆在晶圆支撑座3上向一个方向倾斜，防止因为晶圆左右倾斜的状态不同而导致晶圆磕碰，降低晶圆的划伤风险。
71.优选地，驱动件具体包括皮带传动带4，如图2所示，布置在水平安装座1的侧面，由驱动电机22驱动皮带传动带4运动，所述皮带传动带4通过固定夹42与晶圆支撑座3底部固定，所述水平安装座1上还设置有限位轮41，以限制皮带传动带4的位置。
72.对应上料段的水平调整块322的底面具有起伏，可以使折线的起伏，也可以是波浪线状的起伏。
73.如图6所示，具体的结构为：对应上料段的水平调整块322的底面由水平面3221、向上倾斜面3222、向下倾斜面3223、末端倾斜面3224构成，水平调整轮321行走在水平面3221时，晶圆支撑座3的水平部分呈水平布置，水平调整轮321行走在向上倾斜面3222时，晶圆支撑座3水平部分32的远离水平调整轮321的一端向下运动，水平调整轮321行走在向下倾斜面3223时，晶圆支撑座3水平部分32的远离水平调整轮321的一端向上运动，水平调整轮321行走在末端倾斜面3224时，晶圆支撑座3水平部分32的远离水平调整轮321的一端向下运动，离开末端倾斜面3224时，晶圆支撑座3水平部分32与水平面形成所需的特定夹角。
74.优选地，向下倾斜面3223的最高点(向下倾斜面3223与向下倾斜面3223的连接处)不高于末端倾斜面3224的最高点，向下倾斜面3223的最低点(向下倾斜面3223与末端倾斜面3224的连接处)高于水平面3221的高度，向下倾斜面3223的最低点到水平面3221的竖直高度记为h，向下倾斜面3223的最高点到水平面3221的竖直高度记为h，h为三分之二到二分之一h。
75.通过晶圆支撑座3水平部分32的起伏，“晃动”一下晶圆，使晶圆在后续的倾斜阶段更加容易保持一致，使晶圆在无篮晶圆承载座内更加整齐。当然，此时运行的速度应当控制
在较低速度下，防止剧烈运动导致晶圆破损。
76.还包括位置锁定机构，包括，设置在晶圆支撑座3上的锁定轮311，在外部框架上固定设置的锁定驱动件312，所述锁定驱动件312的伸缩杆上设置有u型的锁定件313，需要锁定时，锁定驱动件312驱动锁定件313上升，使锁定件313卡住锁定轮311，需要解除锁定时，锁定驱动件312驱动锁定件313下降，使锁定件313离开锁定轮311。位置锁定机构能够对晶圆支撑座3进行固定，保持部件的稳定性。
77.进一步地，晶圆支撑座3的竖直部分31上设置有限位杆43，用于限制水平部分32的最大倾斜角度，防止水平部分32过度倾斜。
78.进一步地，水平安装座1上还设置有用于感应水平部分32位置的所述传感器323。如图3所示，当水平部分32倾斜时，水平部分32的一端靠近传感器323，从而使传感器323能够感应到物体，而水平部分32水平时，传感器323则无法感应到物体，将传感器323连接到控制器上，可以实现对水平部分32位置的监控。
79.以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。