一种激光芯片高温烧结工装的制作方法

文档序号:31523772发布日期:2022-09-14 13:26阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种激光芯片高温烧结工装,其特征在于:包括:定位支架(2),其上设置有压紧装置,所述压紧装置包括压块(4)和用于驱动压块(4)上下移动的驱动装置,所述驱动装置包括按钮(10)和设置在定位支架(2)上的滑槽杆(8),滑槽杆(8)上具有一坡度的滑槽(12),所述按钮(10)上设置有贯穿其壁部且伸出的导柱(11),导柱(11)的一端能在所述滑槽(12)上滑动,导柱(11)的另一端置于所述压块(4)的上方,滑槽(12)的高处和低处均设置有卡槽,所述按钮(10)内设置有按钮弹簧(6),按钮弹簧(6)的下端置于所述滑槽杆(8)的凹槽(15)内,所述压块(4)上设置有顶紧机构,所述定位支架(2)上设置有用于将压块(4)复位的弹性装置。2.根据权利要求1所述的一种激光芯片高温烧结工装,其特征在于:所述弹性装置包括设置在定位支架(2)上的定位螺杆(5),定位螺杆(5)套设有定位螺杆弹簧(3),所述定位螺杆弹簧(3)的上端置于所述压块(4)的定位孔(16)内。3.根据权利要求1所述的一种激光芯片高温烧结工装,其特征在于:所述顶紧机构包括若干均匀设置的探针(7)。4.根据权利要求1所述的一种激光芯片高温烧结工装,其特征在于:还包括底板,所述定位支架(2)安装在所述底板上。5.根据权利要求4所述的一种激光芯片高温烧结工装,其特征在于:所述底板上设置有用于放置芯片(9)的定位区域。

技术总结
本实用新型公布了一种激光芯片高温烧结工装,涉及半导体芯片加工设备领域,包括:定位支架,其上设置有压紧装置,压紧装置包括压块和用于驱动压块上下移动的驱动装置,驱动装置包括按钮和滑槽杆,滑槽杆上具有一坡度的滑槽,按钮上设置有导柱,导柱的一端能在所述滑槽上滑动,导柱的另一端置于压块的上方,滑槽的高处和低处均设置有卡槽,按钮内设置有按钮弹簧,按钮弹簧的下端置于所述滑槽杆的凹槽内,压块上设置有顶紧机构,定位支架上设置有用于将压块复位的弹性装置。本实用新型通过在定位支架上设置驱动装置和弹性装置,可实现顶紧机构的上下移动,利于对芯片的压紧定位,极大的提高了生产效率,且减少了零部件损耗和损坏概率。坏概率。坏概率。


技术研发人员:陈志远 林一凡 王以静
受保护的技术使用者:中久光电产业有限公司
技术研发日:2022.07.19
技术公布日:2022/9/13
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1