一种晶圆卡塞抓取总成的制作方法

1.本实用新型涉半导体技术领域，特别涉及一种晶圆卡塞抓取总成。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之 ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。
3.而晶圆卡塞，则是用于装载晶圆片的载具且卡塞能够起到对晶圆片进行统一整和防护的目的。
4.目前对晶圆卡塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率。


技术实现要素：

5.基于此，本实用新型的目的是提供一种晶圆卡塞抓取总成，旨在解决现有技术中目前对晶圆卡塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率的问题。
6.本实用新型实施例提出的一种晶圆卡塞抓取总成，包括滑轨组件、与所述滑轨组件滑动连接的滑动组件以及用于驱动所述滑动组件沿所述滑轨组件滑移的第一驱动装置，所述第一驱动装置固定连接在所述滑轨组件上，所述滑动组件上连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出端连接有抓取组件，以驱动所述抓取组件沿所述滑动组件远离或靠近方向运动，所述抓取组件用于对晶圆卡塞进行抓取。
7.上述，操作人员可根据晶圆卡塞所处位置，驱动第一驱动装置带动滑动组件在滑轨组件上进行位置调整，使得带动滑动组件上的第二驱动装置及抓取组件移动至与晶圆卡塞竖直对齐处，之后通过第二驱动装置带动抓取组件朝晶圆卡塞位置竖直活动，同时可通过驱动抓取组件对晶圆卡塞进行抓取，采用机械对晶圆卡塞进行抓取，解放操作人员双手，极大程度提高了对晶圆卡塞抓取及后续转运效率，解决了目前对晶圆卡塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率问题。
8.另外，根据本实用新型实施例提出的晶圆卡塞抓取总成，还可以具有如下的附加技术特征：
9.进一步的，所述滑轨组件包括固定部、沿所述固定部两端分别向外延伸出的侧翼部、固定在所述固定部上的支撑板、固定在所述支撑板上下两侧的滑轨，以及固定连接在所述支撑板上靠近所述侧翼部两侧的限位栓。
10.进一步的，所述滑动组件包括固定板、沿所述固定板一侧顶部向外延伸出与所述第一驱动装置的输出端连接的连接部，以及所述固定板上靠近所述滑轨组件一侧的至少一滑块，所述滑块套设与所述滑轨上。
11.进一步的，所述第一驱动装置可以是第一气缸，所述第二驱动装置可以是第二气缸。
12.进一步的，所述抓取组件包括与所述第二驱动装置连接的双向驱动装置、分别嵌于所述双向驱动装置两端的活塞杆，以及沿所述活塞杆远离所述双向驱动装置一端设置的夹持板，所述夹持板底部固定连接有抓取板。
13.进一步的，所述抓取板外形为l字型，所述抓取板包括与所述夹持板固定连接的安装面以及沿所述安装面底部朝所述双向驱动装置方向延伸出与所述晶圆卡塞扣接的抓取面。
14.进一步的，所述抓取面远离所述安装面一侧向外延伸出与所述晶圆卡塞接触的防护部。
15.进一步的，所述安装面一侧朝所述晶圆卡塞方向延伸出嵌于所述晶圆卡塞内的至少一定位导杆。
16.进一步的，所述固定部底部开设有矩形槽，所述矩形槽内嵌有限位柱。
17.进一步的，所述固定板中部开设有用于容置所述限位柱的限位槽，以使所述限位柱沿所述矩形槽至所述限位槽方向穿出，用于限制所述滑动组件活动范围。
附图说明
18.图1为本实用新型实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成及晶圆卡塞的结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中滑轨组件的结构示意图；
20.图3为本实用新型实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中第一驱动装置和滑动组件的结构示意图；
21.图4为本实用新型实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中抓取组件的结构示意图；
22.图5为本实用新型实施例中提出的一种晶圆卡塞抓取总成中抓取组件的部分结构示意图；
23.图6为本实用新型实施例中提出晶圆卡塞的结构示意图。
24.主要元件符号说明：
25.滑轨组件1限位槽34固定部11第二驱动装置4侧翼部12抓取组件5支撑板13双向驱动装置51滑轨14活塞杆52限位栓15夹持板53限位柱16抓取板54第一驱动装置2安装面541滑动组件3抓取面542固定板31防护部543
连接部32定位导杆55滑块33晶圆卡塞6
26.如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
27.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
28.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
29.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
30.请参阅图1至图6，所示为本实用新型实施例中的晶圆卡塞抓取总成，该晶圆卡塞抓取总成包括滑轨组件1、与滑轨组件1滑动连接的滑动组件3以及用于驱动滑动组件3沿滑轨组件1滑移的第一驱动装置2，第一驱动装置2固定连接在滑轨组件1上，滑动组件3上连接有第二驱动装置4，第二驱动装置4的输出端连接有抓取组件5，以驱动抓取组件5沿滑动组件3远离或靠近方向运动，抓取组件5用于对晶圆卡塞6进行抓取，滑轨组件1包括固定部11、沿固定部11 两端分别向外延伸出的侧翼部12、固定在固定部11上的支撑板13、固定在支撑板13上下两侧的滑轨14，以及固定连接在支撑板13上靠近侧翼部12两侧的限位栓15。
31.其中，在一些可选实施例当中，晶圆卡塞抓取总成可以是固定安装在晶圆卡塞6抓取处，还可以是安装于机械臂上通过机械臂(其中，机械臂为常见驱动结构，在此不做阐述)驱动晶圆卡塞抓取总成对晶圆卡塞6进行抓取，以提高晶圆卡塞抓取总成的适用范围。
32.另外，为了便于操作人员对晶圆卡塞抓取总成进行控制，本装置还可以包括一mcu(microcontroller unit；微控制单元)芯片，以通过微控制单元控制唤醒第一驱动装置2，并通过第一驱动装置2驱动与其输出端连接的滑动组件3在滑轨组件1上沿第一驱动装置2输出端输出方向滑移，且微控制单元可以设置于晶圆卡塞抓取总成上或，具体的，滑动组件3上分别设有与滑轨组件1和第一驱动装置2连接结构，滑动组件3包括固定板31、沿固定板31一侧顶部向外延伸出与第一驱动装置2的输出端连接的连接部32，以及固定板31上靠近滑轨组件1一侧的至少一滑块33，滑块33套设于滑轨14上，以使得通过第一驱动装置2驱动滑动组件3滑移时，滑块33与滑轨14的套设限位关系，能够确保滑动组件3可稳定沿滑轨14轨道进行移动，并带动安装在滑动组件3上的第二驱动装置4及抓取组件5移动至指定工作位置便于后续晶圆卡塞6的抓取。
33.进一步的，抓取组件5包括与第二驱动装置4连接的双向驱动装置51、分别嵌于双向驱动装置51两端的活塞杆52，以及沿活塞杆52远离双向驱动装置 51一端设置的夹持板
53，夹持板53底部固定连接有抓取板54，抓取板54外形为l字型，抓取板54包括与夹持板53固定连接的安装面541以及沿安装面541 底部朝双向驱动装置51方向延伸出与晶圆卡塞6扣接的抓取面542，抓取面542 远离安装面541一侧向外延伸出与晶圆卡塞6接触的防护部543，安装面541一侧朝晶圆卡塞6方向延伸出嵌于晶圆卡塞6内的至少一定位导杆55，需要说明的是，晶圆卡塞6上分别设置有，顶部两侧向外延伸出的延伸部与抓取面542 相互抵靠，晶圆卡塞6上两侧开设的用于容置定位导杆55的定位孔。
34.在一些可选实施例当中，第一驱动装置2、第二驱动装置4和双向驱动装置 51，可以是气缸及双向气缸或电动推杆。
35.在具体实施时，当第一驱动装置2驱动滑动组件3带动第二驱动装置4及抓取组件5移动至晶圆卡塞6抓取处后(抓取处，可以理解的，如抓取组件5 位于晶圆卡塞6正上方)可通过唤醒第二驱动装置4，并通过第二驱动装置4上的输出端推动抓取组件5朝晶圆卡塞6所处方向竖直活动，之后唤醒抓取组件5 上的双向驱动装置51，(其中，双向驱动装置51可以理解的，为两端同时具备相对输出方向的驱动装置)使得驱动双向驱动装置51两端的活塞杆52相对朝向输出，并通过活塞杆52带动夹持板53及抓取板54朝靠近和远离双向驱动装置51方向进行活动，在抓取前两组夹持板53和抓取板54会展开至适合容置晶圆卡塞6的间距，之后通过操作人员控制以式两组夹持板53和抓取板54向内侧晶圆卡塞6活动，与此同时，设置在抓取板54上的定位导杆55会初步嵌入晶圆卡塞6上开设的定位孔内，起到对晶圆卡塞6进行初步定位的目的，以避免后续抓取时晶圆卡塞6受外力影响发生位置变化，导致抓取角度出现偏差无法抓取或直接在抓取时晶圆卡塞6损坏的情况，接着，在两组夹持板53和抓取板54持续向晶圆卡塞6活动时，抓取板54会直接与晶圆卡塞6外表面接触，与此同时通过抓取板54与晶圆卡塞6接触部位设置的防护部543(其中，防护部543采用橡胶材料制成，其本身具有较好的防护及防滑效果)对晶圆卡塞6 外表面起到防护的效果，以避免抓取板54直接与晶圆卡塞6接触导致晶圆卡塞 6表面出现磨损情况，进而完成抓取组件5对晶圆卡塞6的抓取操作，操作人员可通过驱动第二驱动装置4控制抓取组件5抬起，在抬起过程中通过晶圆卡塞6 上设置的外延部能够直接搭接在抓取面541上，避免后续转运过程中晶圆卡塞6 从抓取组件5上掉落情况，一定程度保证了晶圆卡塞6位于抓取组件5中的稳定。
36.另外，在一些可选实施例当中，第二驱动装置4及抓取组件5在滑动组件3 上工配设有两组，且能够同时对两组晶圆卡塞6进行抓取，进一步提高了晶圆卡塞抓取总成对晶圆卡塞6的抓取效率。
37.在一些可选实施例当中，还包括固定部11底部开设的矩形槽，矩形槽内嵌有限位柱16，固定板31中部开设有用于容置限位柱16的限位槽34，以使限位柱16沿矩形槽至限位槽34方向穿出，用于限制滑动组件3活动范围，需要说明的是，限位柱16还可以相对矩形槽及限位槽34进行拆卸，以使增大滑动组件3在滑轨组件1上的活动范围并通过支撑板13上的限位栓15对滑动组件3 进行限位。
38.综上，操作人员可根据晶圆卡塞6所处位置，驱动第一驱动装置2带动滑动组件3在滑轨组件1上进行位置调整，使得带动滑动组件3上的第二驱动装置4及抓取组件5移动至与晶圆卡塞6竖直对齐处，之后通过第二驱动装置4 带动抓取组件5朝晶圆卡塞6位置竖直活动，同时可通过驱动抓取组件5对晶圆卡塞6进行抓取，采用机械对晶圆卡塞6进行抓取，解放操作人员双手，极大程度提高了对晶圆卡塞6抓取及后续转运效率，解决了目前对晶圆卡
塞的抓取和搬运，均通过人工手动操作，极大程度耗费人力，且降低了晶圆卡塞搬运效率问题。
39.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
40.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。