技术特征：
1.一种带有温控的静电吸盘，其特征在于，包括：基座，所述基座上具有一承载面；底板，设于所述基座的承载面上；加热部，设于所述底板上表面；冷却部，设于加热部的上表面，用于对加热部进行降温；上板，设置在所述冷却部的上表面，所述上板内嵌设有与所述加热部接触的静电吸盘；其中，所述加热部用于自热后将热量传递给静电吸盘；盖板，设于所述上板的上方，所述盖板的中心处设有覆盖在所述静电吸盘上的晶圆放置板；顶升机构，所述顶升机构设于所述基座的下表面；其中，所述顶升机构的顶部上设有可从下到上依次穿过所述基座、底板、冷却部、加热部、静电吸盘和晶圆放置板的顶针部，用驱动顶针部上下升降。2.如权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述加热部为一金属盘，所述金属盘内设有均匀分布的加热丝。3.如权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述加热部为一金属盘，所述金属盘内开有用于流通液体的多个均匀分布的沟槽；所述沟槽通过管道与外置的液体相通，外置的液体经由加热器加热至高温。4.如权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述基座底部还设有热电偶，所述热电偶从下往上插入到加热部内，用于检测加热部的温度。5.如权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述冷却部为一水冷盘，水冷盘的内部设有用于流通水冷液的均匀分布的多条水冷槽；所述水冷槽通过导管与位于基座底部的冷却水出入口相通。6.如权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述晶圆放置板上设有贯穿本静电吸盘的吹气口。
技术总结
本实用新型公开了一种带有温控的静电吸盘，包括基座，基座上具有一承载面；底板设于基座的承载面上；加热部设于底板上表面；冷却部设于加热部的上表面；上板设置在冷却部的上表面，上板内嵌设有与加热部接触的静电吸盘；盖板设于上板的上方，盖板的中心处设有覆盖在所述静电吸盘上的晶圆放置板；顶升机构设于基座的下表面；顶升机构的顶部上设有可从下到上依次穿过基座、底板、冷却部、加热部、静电吸盘和晶圆放置板的顶针部；本实用新型利用顶升部实现对晶圆的顶升，并且能快速的将晶圆放置在晶圆放置板上，然后在静电吸盘通电后快速的对晶圆进行吸附；利用加热部和冷却部可以精确的对晶圆的温度进行控制，晶圆的温度均一性好。晶圆的温度均一性好。晶圆的温度均一性好。
技术研发人员：庞金元 余涛
受保护的技术使用者：璞芯半导体科技（苏州）有限公司
技术研发日：2022.07.29
技术公布日：2023/2/20