一种载台机构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆测试技术领域。更具体地，涉及一种载台机构及检测设备。


背景技术：

2.在进行晶圆半导体产品进行生产时，晶圆测试是半导体芯片生产过程中的一个重要环节，当前，在测试时，晶圆一般吸附在载台上由检测机构进行检测，晶圆放置平稳，但在检测换料过程中，晶圆的摆放位置与检测机构需要进行升降移动，且晶圆的摆放位置也存在一定的偏差，此时需要升降组件和旋转组件来调节晶圆的位置，使晶圆上的检测区域检测机构对应。现有技术一般在载台下方直接设置旋转轴，以单独的模组进行升降，升降不平稳，占用空间大，旋转驱动机构直接连接旋转轴以驱动载台旋转，这种结构可能导致载台调节时发生倾斜，因此，需设计一种升降便捷、升降稳固和旋转调节精度高的载台机构。


技术实现要素：

3.鉴于上述问题，本实用新型的至少一个目的在于提供一种载台机构，提高了晶圆的换料检测效率，自动化程度高，晶圆产品升降调节稳固，旋转调节精准，检测效果好。
4.为达到上述目的，本实用新型采用下述技术方案：
5.本实用新型的第一个实施例提供一种载台机构，所述载台机构包括：
6.基台；
7.吸附件，设置在基台上以吸附产品；
8.旋转组件，用以带动基台进行旋转调节；
9.顶升组件，用以带动旋转组件进行升降调节，当对产品进行检测时，所述顶升组件带动旋转组件上升至检测位，当产品检测完成时，所述顶升组件带动旋转组件下降至换料位；
10.所述顶升组件包括机架、升降驱动、导向件，所述升降驱动设置在机架上，所述旋转组件连接在升降驱动上，所述旋转组件通过导向件滑动连接在机架上。
11.优选地，所述载台机构还包括平衡调节组件，所述平衡调节组件包括缓冲驱动，所述缓冲驱动通过转接件连接在旋转组件上，以便在旋转组件上升或下降时为旋转组件提供平衡支撑。
12.优选地，所述载台机构还包括换料组件，所述换料组件包括支块，所述支块上连接有放置块，所述换料组件用以对产品在换料时进行承载。
13.优选地，所述放置块上设置有台阶。
14.优选地，所述吸附件为吸盘，所述吸附件上设置有若干吸附孔，所述吸附件嵌入设置在基台上。
15.优选地，所述旋转组件包括旋转支座，所述旋转支座内设置有转台，所述转台的下端连接有下止推板，所述下止推板的下端连接有旋转驱动，所述转台的上端连接有上止推板，所述基台设置在上止推板上。
16.优选地，所述转台内设置有空心轴，所述空心轴的上端连接有旋转接头，所述旋转接头穿过基台与吸附件相通，所述空心轴用于连通气源与旋转接头相通。
17.优选地，所述转台上还设置有与外部相通的进气嘴，所述进气嘴用以对转台在旋转时提供气体压力。
18.优选地，所述旋转组件还包括位移感应组件，所述位移感应组件用以调节基台的旋转角度。
19.优选地，所述位移感应组件包括光栅尺和感应器，所述光栅尺设置在上止推板的下侧，所述感应器设置在旋转支座上且与光栅尺相对应。
20.本实用新型的有益效果如下：
21.本实用新型提供的载台机构通过吸附件进行产品的吸附，由顶升组件进行升降调节，由旋转组件进行旋转调节，由平衡调节组件进行顶升组件的平衡调节，保证顶升组件的升降的稳定性，保证顶升组件及旋转组件不发生倾斜，调节精度高；在换料组件的辅助下，载台机构换料便捷，换料精度高；在旋转组件上的位移感应组件的感应下，旋转平台调节位置精准，产品测试效果好，产品测试效率高，自动化检测程度高。
附图说明
22.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
23.图1示出本实用新型所提供载台机构的结构示意图。
24.图2示出本实用新型所提供载台机构的俯视图。
25.图3为图2中a-a处剖面结构示意图。
具体实施方式
26.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
27.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
29.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限
制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
30.本实施例提供的载台机构提供顶升组件、旋转组件和吸附组件共同对产品进行调节，由平衡调节组件进行顶升组件的平衡调节，保证顶升组件的升降的稳定性，保证顶升组件及旋转组件不发生倾斜，调节精度高；解决现有技术的晶圆载台升降不平稳、占用空间大和载台机构调节时易发生倾斜的问题。
31.结合图1所示，本实施例提供种用于产品测试的载台机构，所述载台机构包括：
32.基台1；
33.吸附件2，设置在基台1上以吸附产品；
34.旋转组件3，用以带动基台1进行旋转调节；
35.顶升组件4，用以带动旋转组件3进行升降调节，当对产品进行检测时，所述顶升组件4带动旋转组件3上升至检测位，当产品检测完成时，所述顶升组件4带动旋转组件3下降至换料位；
36.所述顶升组件4包括机架41、升降驱动42、导向件43，所述升降驱动42设置在机架41上，所述旋转组件3连接在升降驱动42上，所述旋转组件3通过导向件43滑动连接在机架41上。
37.本实用新型提供的载台机构，产品置于基台1上的吸附件2进行吸附，由顶升组件4带动升降，调节至与检测机构对应的位置，旋转组件3对吸附的产品进行旋转调节，调节产品的检测精度；具体地，顶升组件4上的升降驱动42驱动旋转组件3进行升降，旋转组件3通过导向架43进行导向滑动，升降稳定，升降快速，不易发生偏移，当对产品进行检测时，所述顶升组件4带动旋转组件3上升至检测位进行产品的检测，当产品检测完成时，所述顶升组件4带动旋转组件3下降至换料位，更换下一个产品进行检测，以此循环，自动化程度高，产品检测效率高，检测效果好，其中，升降驱动42采用音圈电机，音圈电机占用空间小，功耗小，升降便捷，本实用新型不对升降结构42的结构进行限定，还可设计为实现相同升降作用的直线模组等。
38.在本优选实施方式中，如图1所示，为了进一步增加顶升组件4在带动旋转组件3升降过程中的稳定性，所述载台机构还包括平衡调节组件5，所述平衡调节组件5包括缓冲驱动51，所述缓冲驱动51通过转接件52连接在旋转组件3上，以便在旋转组件3上升或下降时为旋转组件3提供平衡支撑，具体地，所述缓冲驱动51采用升降气缸，在顶升组件4进行顶升和升降时，升降气缸与顶升组件4同时随动，平衡下降时的重力，顶升组件4在带动旋转组件3升降过程中，旋转组件3的水平位置不产生倾斜，稳定性高，测试位置精准，本实用新型不对缓冲驱动51的结构进行限定，还可设计为实现相同升降作用的电缸等。
39.进一步地，如图1所示，为了提高载台机构的检测效率，保证载台机构对与产品对接位置精度高，实现产品的快速换料对接，所述载台机构还包括换料组件6，所述换料组件6包括支块61，所述支块61上连接有放置块62，所述换料组件6用以对产品在换料时进行承载，在进行具体的换料时，产品由外部机械手从侧面放置于换料组件6上的放置块62上，此时产品与基台1相对应，在检测时，基台1在顶升组件4的带动下顶升，对产品进行承载，基台1上的吸附件2对产品进行吸附，顶升到检测位置时，检测机构进行产品检测，检测完成时，顶升组件4下降退回，基台1上的产品下落至放置块62上，然后由外部机械手取走，接着进行换料，进行下一个产品检测，产品换料效率高。
40.进一步地，为了保证换料组件6上的放置块62对产品的承载精度，实现产品的快速放置，所述放置块62上设置有台阶，在进行换料对接时，产品直接放置于放置块62的台阶上，台阶对产品进行一定的限位，使产品精准的放置在放置块62上，产品与基台1对应精准，提高换料和检测的效率。
41.在本优选实施方式中，所述吸附件2为吸盘，所述吸附件2上设置有若干吸附孔，所述吸附件2嵌入设置在基台1上，在对产品进行吸附时，吸附件2采用吸盘进行吸附，吸盘的形状与晶圆产品相对应，吸附贴合稳固，吸盘上设置有若干吸附孔，在对产品进行吸附时，吸附稳固，不易发生脱离，保证产品吸附的平稳性，检测机构对产品检测效果好。
42.在本优选实施方式中，如图2-3所示，所述旋转组件3包括旋转支座31，所述旋转支座31内设置有转台32，所述转台32的下端连接有下止推板33，所述下止推板33的下端连接有旋转驱动34，所述转台32的上端连接有上止推板35，所述基台1设置在上止推板35上，具体地，在旋转组件3进行旋转运动时，由旋转驱动34依次带动下止推板33、转台32和上止推板35进行转动，转台32转动稳固，旋转精度高。
43.进一步地，为了实现转台32对基台1的同步驱动旋转，并对基台1上的吸附件2进行通气吸附，所述转台32内设置有空心轴36，所述空心轴36的上端连接有旋转接头37，所述旋转接头37穿过基台1与吸附件2相通，所述空心轴36用于连通气源与旋转接头37相通。具体地，在对基台1进行驱动和通气时，所述旋转驱动34采用无框直驱电机，无框直驱电机带动转台32旋转，转台32通过旋转接头37带动基台1旋转，基台1旋转调节快速，在对基台1上的吸附件2进行通气时，经无框直驱电机的中空部分接通气源，通过转台32的空心轴36和旋转接头37对吸附件2进行通气，气源接通快速便捷，不占空间，通气效果好，实现吸附件2的精准控制，产品吸附效果好。
44.进一步地，为了增加旋转驱动34带动转台32旋转的稳定性，所述转台32为气浮转台，所述转台32上还设置有与外部相通的进气嘴38，所述进气嘴38用以对转台32在旋转时提供气体压力，具体地，在转台32旋转带动基台1进行旋转时，通气嘴38对支座31的转台32进行通气，转台32在通气时保证平稳的状态，基台1旋转平稳性高，调节效果好。
45.进一步地，为了保证基台1的旋转调节精度，保证检测机构的检测精准，所述旋转组件3还包括位移感应组件7，所述位移感应组件7用以调节基台1的旋转角度，所述位移感应组件7包括光栅尺71和感应器72，所述光栅尺71设置在上止推板35的下侧，所述感应器72设置在旋转支座31上且与光栅尺71相对应，光栅尺71和感应器72配合进行基台1旋转调节位置的感应，保证旋转组件3旋转位置调节到位，旋转组件3调节精准，产品检测精准。
46.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。