1.本实用新型涉及扫描电子显微镜分析样品台专用技术领域,具体的说是一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台。
背景技术:2.德国蔡司evo 10型扫描电镜样品台结构简单,台面形状为单一圆盘型结构。主要存在两个问题:1)该样品台仅能满足底面较平、形状较规则的试样,同时还需在试样底面贴上导电胶布以固定试样,如果试样较长,高倍下扫描图像模糊,将试样倾斜扫描时图像模糊程度加重,这是由于胶布与试样之间缓慢松弛引起;2)在不倾斜的情况下,最大样品高度只有35mm,限制了试样的使用范围。
3.专利cn215342493u公开了一种多功能电镜样品台,通过夹持来固定试样。此产品不足之处在于零件繁多,安装试样复杂,且该样品台与原设备底座之间无限位卡槽结构,不能从根本上保证试样的稳定性。
4.专利cn206516602u公开了一种扫描电镜多功能样品台,通过在不同平面不同规格的多个针脚孔和圆弧形底的凹槽中,放置不同规格的试样,以此来提高工作效率。此产品的不足之处在于没有夹持功能,仍需借助粘贴胶布才能固定试样,且针脚孔和凹槽的规格有限,不能满足不同试样的安装要求。
技术实现要素:5.本实用新型解决的技术问题是提供一种对不同形状、最大试样高度80mm的样品均可进行快速夹持安装,大大提高了工作效率的可倾斜夹持式扫描电镜样品台。
6.为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案实现:
7.本实用新型提出一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台,包括u型台、挡边、凹槽面、可调垫块、内六角紧定螺钉和螺纹孔,所述u型台顶部一侧对称、固定安装有两个挡边,两个所述挡边之间预留有凹槽面,所述凹槽面中部活动安装有可调垫块,其一所述挡边贯穿开设有螺纹孔,所述螺纹孔中部转动安装有内六角紧定螺钉。
8.进一步的,所述可调垫块包括两个长方体型垫块或两个圆弧面的体型垫块。
9.进一步的,两个所述长方体型垫块相近一侧共同夹紧安装有方形式样。
10.进一步的,两个所述圆弧面的体型垫块相近一侧共同夹紧安装有圆形式样。
11.进一步的,所述u型台底部一侧固定、对称安装有两个底座,两个所述底座相近一侧均贯穿开设有燕尾槽。
12.本实用新型的有益效果如下:本实用新型所述的一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台,采用了可调垫块机构,当待观察式样的高度小于35mm,且试样大小适宜时:安装方形式样时,选择两块长方体型垫块夹持方形式样,再将内六角紧定螺钉固定即可;安装圆形式样时,选择两块圆弧面的体型垫块夹持圆形式样,然后拧紧内六角紧定螺钉其固定;当待观察式样的高度介于35mm和80mm之间,且试样大小适宜时:将样品台倾斜度进行试样观察,选择
长方体型垫块和圆弧面的体型垫块,将试样水平放置而垫块竖立放置以夹紧试样,本实用新型可倾斜带夹持的样品台,不仅可以有效解决样品因放置不稳或粘贴胶布松弛造成的高倍图像模糊问题,还可以通过旋转度倾斜样品台,以此提高对样品高度的限制范围,从原来的35mm提高到80mm,且本实用新型适用性强,对不同形状、最大试样高度80mm的样品均可进行快速夹持安装,大大提高了工作效率。
附图说明
13.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
14.图1为本实用新型提供的一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台的实施例一整体结构示意图;
15.图2为本实用新型提供的一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台的实施例二整体结构示意图;
16.图3为本实用新型提供的一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台的实施例三整体结构示意图;
17.图中:
18.1、燕尾槽;
19.2、底座;
20.3、u型台;
21.4、挡边;
22.5、凹槽面;
23.6、可调垫块;61、长方体型垫块;62、圆弧面的体型垫块;
24.7、内六角紧定螺钉;8、螺纹孔;9、方形式样;10、圆形式样。
具体实施方式
25.为使本实用新型实施例的目的、技术手段和优点更加清楚,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
26.为了更好的理解上述技术方案,下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
27.实施例一:
28.如图1-2所示,本实用新型实施例提供一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台,包括u型台3、挡边4、凹槽面5、可调垫块6、内六角紧定螺钉7和螺纹孔8,u型台3顶部一侧对称、固定安装有两个挡边4,两个挡边4之间预留有凹槽面5,用于放置式样,凹槽面5中部活动安装有可调垫块6,其一挡边4贯穿开设有螺纹孔8,用于挤压可调垫块6,进而使可调垫块6夹紧式样,螺纹孔8中部转动安装有内六角紧定螺钉7。
29.具体的,可调垫块6包括两个长方体型垫块61或两个圆弧面的体型垫块62。
30.具体的,两个长方体型垫块61相近一侧共同夹紧安装有方形式样9。
31.实施例二:
32.如图1和图3所示,本实用新型实施例提供一种可倾斜夹持式扫描电镜样品台,包括u型台3、挡边4、凹槽面5、可调垫块6、内六角紧定螺钉7和螺纹孔8,u型台3顶部一侧对称、固定安装有两个挡边4,两个挡边4之间预留有凹槽面5,用于放置式样,凹槽面5中部活动安装有可调垫块6,其一挡边4贯穿开设有螺纹孔8,用于挤压可调垫块6,进而使可调垫块6夹紧式样,螺纹孔8中部转动安装有内六角紧定螺钉7。
33.具体的,两个圆弧面的体型垫块62相近一侧共同夹紧安装有圆形式样10。
34.具体的,u型台3底部一侧固定、对称安装有两个底座2,两个底座2相近一侧均贯穿开设有燕尾槽1,用于将样品台卡接固定在在电镜样品室梯形凸台卡位上。
35.具体工作方式:
36.当待观察式样的高度小于35mm,且试样大小适宜时:
37.安装方形式样9时,选择两块长方体型垫块61夹持方形式样9,再将内六角紧定螺钉7固定即可;
38.安装圆形式样10时,选择两块圆弧面的体型垫块62夹持圆形式样10,然后拧紧内六角紧定螺钉7其固定;
39.当待观察式样的高度介于35mm和80mm之间,且试样大小适宜时:
40.将样品台倾斜90度进行试样观察,选择长方体型垫块61和圆弧面的体型垫块62,将试样水平放置而垫块竖立放置以夹紧试样。
41.上述试样安装在样品台后,将样品台沿着底座2的燕尾槽1推入电镜样品室梯形凸台卡位,卡紧后遂完成整个试样和样品台的安装过程。
42.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
43.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。