一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置的制作方法

文档序号:32636447发布日期:2022-12-21 01:59阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:包括箱体罩壳(1),所述箱体罩壳(1)的内部设有摆臂组件(2),且所述摆臂组件(2)的底端转动连接擦盘组件(3);所述摆臂组件(2)用于带动所述擦盘组件(3)升降旋转;所述箱体罩壳(1)的内部底端固定有擦粉平台(4),且所述擦粉平台(4)的表面配合连接有真空吸盘(61);所述真空吸盘(61)的底端固定有主轴(6),且所述主轴(6)贯穿所述擦粉平台(4);所述主轴(6)的底端设有升降组件(5);所述升降组件(5)用于带动所述主轴(6)升降。2.根据权利要求1所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述摆臂组件(2)包括升降部分和摆动部分,所述升降部分用于带动所述摆动部分升降;所述升降部分包括伺服电机(26)、丝杠(27)、螺母(28)和导轨板(29);所述伺服电机(26)的外侧顶端固定有导轨板(29),所述导轨板(29)固定于箱体罩壳(1)的底端;所述伺服电机(26)的输出端连接丝杠(27),且所述丝杠(27)配合连接螺母(28);所述导轨板(29)的侧部设有线轨(291)。3.根据权利要求2所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述摆动部分包括连接壳(21)、摆臂轴(22)、固定盒(23)、第一减速电机(24)和传动组件(25);所述固定盒(23)的侧部固定有第一滑块(231),且所述第一滑块(231)滑动连接所述线轨(291);所述螺母(28)的侧部固定有固定盒(23),且所述固定盒(23)的顶端内部转动连接有摆臂轴(22);所述摆臂轴(22)的顶端固定有连接壳(21);所述摆臂轴(22)的另一端通过传动组件(25)连接第一减速电机(24)。4.根据权利要求3所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述擦盘组件(3)包括第二减速电机(31)、擦盘头(32)、擦拭盘(33),所述第二减速电机(31)安装于所述连接壳(21)内部一侧,且所述第二减速电机(31)的输出端连接擦盘头(32);所述擦盘头(32)的底端连接擦拭盘(33)。5.根据权利要求1所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述箱体罩壳(1)的内部底端设有吹粉枪(71),且所述箱体罩壳(1)的表面开设有通孔(11);所述通孔(11)配合连接升降的所述真空吸盘(61)。6.根据权利要求1所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述升降组件(5)包括气缸(51)、限位柱(52)、背板(53)、第二滑块(54)和连接板(55),所述背板(53)固定于所述箱体罩壳(1)的底端,且所述背板(53)的侧部固定有气缸(51);所述气缸(51)的顶端固定第二滑块(54);所述第二滑块(54)滑动连接所述限位柱(52),且所述限位柱(52)固定于所述背板(53)与所述箱体罩壳(1)之间;所述第二滑块(54)的侧部固定有连接板(55),且所述连接板(55)的侧部固定有主轴(6)。7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:还包括支撑架(9)和输送件(8),所述箱体罩壳(1)固定于所述支撑架(9)的内部,且所述支撑架(9)内设置有输送件(8);所述输送件(8)用于输送工件进行上下料;所述输送件(8)包括出料传片轨道(81)、进料传片轨道(82)、传送组件(83)和推料件(84),所述箱体罩壳(1)的两端分别固定有结构相同的出料传片轨道(81)和进料传片轨道(82),且所述进料传片轨道(82)的端部设有推料件(84),所述推料件(84)用于推动工件进入到进料传片轨道(82);所述出料传片轨道(81)和进料传片轨道(82)顶端设有传送组件(83);所述传送组件(83)用于移动工件。
8.根据权利要求7所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述传送组件(83)包括托片架(831)、气动滑块(832)、连接架(833)、气动滑轨(834)和置片槽(835),所述气动滑轨(834)固定于所述支撑架(9)的底端,且所述气动滑轨(834)的表面滑动连接气动滑块(832);所述气动滑块(832)的侧部固定有连接架(833),且所述连接架(833)的底端固定有托片架(831);所述托片架(831)的两端开设置片槽(835)。9.根据权利要求8所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述推料件(84)包括固定架(841)、推动组件(842)和推板(843),所述固定架(841)的顶端设有推板(843),且所述推板(843)与所述固定架(841)之间设有推动组件(842);所述推动组件(842)用于推动所述推板(843)在所述固定架(841)内伸缩。10.根据权利要求9所述的一种gpp芯片玻璃钝化擦粉装置,其特征在于:所述进料传片轨道(82)的顶部开设沟槽,且所述进料传片轨道(82)的沟槽侧部设有限位板(821);所述进料传片轨道(82)、所述出料传片轨道(81)、所述推板(843)、所述托片架(831)在同一水平高度上。

技术总结
本实用新型提供一种GPP芯片玻璃钝化擦粉装置,包括箱体罩壳,所述箱体罩壳的内部设有摆臂组件,且所述摆臂组件的底端转动连接擦盘组件;所述摆臂组件用于带动所述擦盘组件升降旋转;所述箱体罩壳的内部底端固定有擦粉平台,且所述擦粉平台的表面配合连接有真空吸盘;所述真空吸盘的底端固定有主轴,且所述主轴贯穿所述擦粉平台;所述主轴的底端设有升降组件;所述升降组件用于带动所述主轴升降。本实用新型的擦粉装置采用可升降的真空吸盘吸附固定硅片,利用可旋转升降的擦盘组件对固定的硅片进行擦粉操作;采用本实用新型的装置进行擦粉,擦粉的压力能够稳定均匀,可有效的确保硅片的加工质量,减少硅片的损耗,同时加工效率高。效率高。效率高。


技术研发人员:谢辉平
受保护的技术使用者:无锡优联创芯机电设备有限公司
技术研发日:2022.08.17
技术公布日:2022/12/20
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