一种镀金液匀流结构的制作方法

1.本实用新型涉及匀流结构技术领域，尤其涉及一种镀金液匀流结构。


背景技术：

2.在半导体集成电路的制造工艺过程中，半导体晶圆通常都会经过诸如薄膜沉积、刻蚀、抛光等多道工艺步骤，而这些工艺步骤就成为沾污物产生的重要场所，为了保持晶圆表面的清洁状态,消除在各个工艺步骤中沉积在晶圆表面的沾污物,必须对经受了每道工艺步骤后的晶圆表面进行清洗处理，因此,清洗工艺成为集成电路制作过程中最普遍的工艺步骤,其目的在于有效地控制各步骤的沾污水平，以实现各工艺步骤的目标，目前社会上的镀金液匀流结构基本可以满足人们的需要，但是仍然存在一些问题。
3.专利号为cn111863673a的专利公开了镀金液匀流系统，可以对晶圆进行均匀加工，提高了产品质量，但是现有的专利号cn111863673a专利并不能解决传统的匀流机构与承载箱体之间的拆装工作，大多都为一体式结构，不易维护更换，影响装置在使用过程中的工作效率，因此亟需一种镀金液匀流结构来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种镀金液匀流结构。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种镀金液匀流结构，包括镀金箱体、连通顶块和匀流三联管，所述匀流三联管顶端安装在连通顶块底端中部，所述连通顶块顶端插设在镀金箱体底端中部，所述连通顶块底端外壁皆固定安装有安装侧板，且安装侧板通过拆装机构与镀金箱体外壁之间进行安装。
7.作为上述技术方案的进一步描述：所述拆装机构包括第一固定凸块、密封软垫、限位插块、拉杆、第一滑块、滑杆、第一弹簧、第一限位槽和第二固定凸块，所述安装侧板外壁中部皆插设有限位插块，且限位插块外侧顶端皆固定安装在拉杆内壁中部，所述拉杆顶端皆固定安装在第一滑块底端的外壁中部，所述第一滑块皆滑动连接在滑杆的外壁上，所述滑杆两侧顶端皆固定安装在第一限位槽内壁中部，所述第一限位槽皆对称开设在镀金箱体底端的外壁上，所述第一滑块内侧的外壁中部皆焊接有第一弹簧，且第一弹簧内侧顶端皆焊接在第一限位槽内壁中部，所述第一弹簧中部皆环绕在滑杆的外壁上。
8.作为上述技术方案的进一步描述：所述安装侧板顶端中部皆固定安装有第二固定凸块，且第二固定凸块顶端皆插设在镀金箱体外壁底端。
9.作为上述技术方案的进一步描述：所述第二固定凸块内侧的安装侧板顶端皆胶粘有密封软垫，且密封软垫顶端皆抵接在镀金箱体底端外壁上。
10.作为上述技术方案的进一步描述：所述连通顶块顶端两侧皆固定安装有两组第一固定凸块，且第一固定凸块顶端皆插设在镀金箱体底端开设槽孔的内壁上。
11.作为上述技术方案的进一步描述：所述连通顶块外壁皆滚动抵接在滚珠内侧的外
壁上，所述滚珠外壁中部皆滚动嵌入安装在固定框内壁中部，所述固定框外壁中部皆焊接有第二弹簧，且第二弹簧外侧顶端皆焊接在第二限位槽内壁中部，所述第二限位槽皆对称开设在槽孔内壁上。
12.作为上述技术方案的进一步描述：所述固定框外壁的上下两端皆固定安装有第二滑块，且第二滑块皆滑动连接在滑轨内侧，所述滑轨皆对称开设在第二限位槽内壁的上下两端。
13.综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型中，在拆装机构的作用下能够相对较为便捷的使得镀金箱体与匀流三联管之间进行安装，同时能够在密封软垫的作用下提高在安装过程中的密封效果，保障了装置在使用过程中的实用性，能够相对较为便捷的对镀金箱体和匀流三联管进行分体维护，保障了装置在使用过程中的使用效率，可以相对较为便捷的提高装置在使用过程中的工作效率；
15.2、本实用新型中，可以在滚动机构的作用下能够引导连通顶块顶端相对较为便捷的插设进第一固定凸块底端开设的槽孔中，提高了装置在使用过程中的便捷效率，保障了装置在安装对接过程中的顺滑程度。
附图说明
16.图1示出了根据本实用新型实施例提供的立体结构示意图；
17.图2示出了根据本实用新型实施例提供的正视剖面结构示意图；
18.图3示出了根据本实用新型实施例提供的图2中a处放大结构示意图；
19.图4示出了根据本实用新型实施例提供的图2中b处放大结构示意图。
20.图例说明：
21.1、镀金箱体；2、第一固定凸块；3、连通顶块；4、匀流三联管；5、安装侧板；6、密封软垫；7、限位插块；8、拉杆；9、第一滑块；10、滑杆；11、第一弹簧；12、第一限位槽；13、第二固定凸块；14、第二限位槽；15、第二弹簧；16、固定框；17、滚珠；18、第二滑块；19、滑轨。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种镀金液匀流结构，包括镀金箱体1、连通顶块3和匀流三联管4，匀流三联管4顶端安装在连通顶块3底端中部，连通顶块3顶端插设在镀金箱体1底端中部，连通顶块3底端外壁皆固定安装有安装侧板5，且安装侧板5通过拆装机构与镀金箱体1外壁之间进行安装。
24.拆装机构包括第一固定凸块2、密封软垫6、限位插块7、拉杆8、第一滑块9、滑杆10、第一弹簧11、第一限位槽12和第二固定凸块13，安装侧板5外壁中部皆插设有限位插块7，且限位插块7外侧顶端皆固定安装在拉杆8内壁中部，拉杆8顶端皆固定安装在第一滑块9底端的外壁中部，第一滑块9皆滑动连接在滑杆10的外壁上，滑杆10两侧顶端皆固定安装在第一
限位槽12内壁中部，第一限位槽12皆对称开设在镀金箱体1底端的外壁上，第一滑块9内侧的外壁中部皆焊接有第一弹簧11，且第一弹簧11内侧顶端皆焊接在第一限位槽12内壁中部，第一弹簧11中部皆环绕在滑杆10的外壁上，其作用在于能够相对较为便捷的使得镀金箱体1与匀流三联管4之间进行安装，能够相对较为便捷的对镀金箱体1和匀流三联管4进行分体维护，保障了装置在使用过程中的使用效率，可以相对较为便捷的提高装置在使用过程中的工作效率。
25.安装侧板5顶端中部皆固定安装有第二固定凸块13，且第二固定凸块13顶端皆插设在镀金箱体1外壁底端，其作用在于可以在第二固定凸块13的作用下提高安装侧板5与镀金箱体1外壁之间进行安装插设，保障了装置在安装对接插设过程中的稳定效率。
26.第二固定凸块13内侧的安装侧板5顶端皆胶粘有密封软垫6，且密封软垫6顶端皆抵接在镀金箱体1底端外壁上，其作用在于能够在密封软垫6的作用下提高在安装过程中的密封效果，保障了装置在使用过程中的实用性。
27.连通顶块3顶端两侧皆固定安装有两组第一固定凸块2，且第一固定凸块2顶端皆插设在镀金箱体1底端开设槽孔的内壁上，其作用在于可以在第一固定凸块2的作用下能够相对稳定的使得第一固定凸块2与镀金箱体1底端的槽孔之间进行对接插设，保障了装置在使用过程中的稳定效率。
28.连通顶块3外壁皆滚动抵接在滚珠17内侧的外壁上，滚珠17外壁中部皆滚动嵌入安装在固定框16内壁中部，固定框16外壁中部皆焊接有第二弹簧15，且第二弹簧15外侧顶端皆焊接在第二限位槽14内壁中部，第二限位槽14皆对称开设在槽孔内壁上，其作用在于能够引导连通顶块3顶端相对较为便捷的插设进第一固定凸块2底端开设的槽孔中，提高了装置在使用过程中的便捷效率，保障了装置在安装对接过程中的顺滑程度。
29.固定框16外壁的上下两端皆固定安装有第二滑块18，且第二滑块18皆滑动连接在滑轨19内侧，滑轨19皆对称开设在第二限位槽14内壁的上下两端，其作用在于可以使得固定框16和滚珠17能够相对稳定的在第二限位槽14内侧进行收纳移动，保障了装置在使用过程中的稳固效率。
30.工作原理：向外侧在第一滑块9和滑杆10的滑动作用下拉动拉杆8，带动两组限位插块7移动至最大限位值后，此时将连通顶块3顶端在滚珠17的滚动作用下插设进镀金箱体1底端中部后，直至将第一固定凸块2和第二固定凸块13完成与镀金箱体1之间完成插设锁定工作后，此时在两组第一弹簧11的弹性势能的作用下带动两组限位插块7插设进安装侧板5外壁中部即可完成对镀金箱体1和匀流三联管4之间位置的限定工作。
31.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。