晶圆承载转运机构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，特别是涉及一种晶圆承载转运机构。


背景技术：

2.晶圆需要倒角时，利用上料机构将晶圆放入晶圆倒角装置的加工位置，对于只有倒角功能的晶圆倒角装置，可利用机械手直接将晶圆放置到位，而对于集成了清洗和减薄功能的晶圆倒角装置，在给晶圆倒角后还需要进行减薄和清洗，由于减薄装置和清洗装置占用了空间，空间位置不足导致现有的机械手无法实现上料。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够接收上料机构送来的晶圆并将接收的晶圆转移至下一工位的晶圆承载转运机构。
4.为解决上述问题，本实用新型提供一种晶圆承载转运机构，所述晶圆承载转运机构包括两个用于接收晶圆的承载架以及将承载架上的晶圆转运至下一工位的转运机构；所述转运机构包括用于取晶圆的取料盘、用于带动取料盘移动的平面移动机构、用于驱动平面移动机构升降的升降气缸以及用于驱动升降气缸转动的旋转气缸，所述取料盘安装在所述平面移动机构上，所述平面移动机构安装在所述升降气缸上，所述升降气缸安装在所述旋转气缸上，所述平面移动机构带动所述取料盘移动的同时会伸长或缩短平面移动机构的长度，所述旋转气缸驱动所述升降气缸转动，所述升降气缸带动所述平面移动机构转动。
5.进一步的，所述平面移动机构包括底板、驱动电机、第一滑轨、第一同步组件、第二滑轨、第二同步组件以及滑块，所述底板固定在所述升降气缸上，所述第一滑轨、驱动电机和安装板均固定在所述底板上，所述第二滑轨滑动设在所述第一滑轨上，所述驱动电机通过第一同步组件驱动第二滑轨在第一滑轨上移动，所述第二同步组件安装在所述第二滑轨上，所述滑块滑动设在所述第二滑轨上，且滑块与所述第二同步组件连接，所述第二滑轨在第一滑轨上移动能够驱动第二同步组件动作，所述第二同步组件动作带动滑块在第二滑轨上移动。
6.进一步的，所述第一同步组件包括两个第一同步轮和第一同步带，所述底板上设有安装板，所述第一同步轮固定在所述安装板上，所述第一同步带绕设在两个所述第一同步轮上，位于第一滑轨后端的第一同步轮同时还与所述驱动电机的输出轴连接，所述第二滑轨与所述第一同步带连接。
7.进一步的，所述第二滑轨上设有第一连接片，所述第一连接片与所述第一同步带连接。
8.进一步的，所述第二同步组件包括两个第二同步轮、第二同步带以及传动齿轮，两个所述第二同步轮设在所述第二滑轨上，所述第二同步带绕设在所述第二同步轮上，所述滑块与所述第二同步带连接，所述传动齿轮通过传动轴所述第二同步轮连接，所述第一滑轨上设有齿条，所述传动齿轮与所述齿条啮合。
9.进一步的，所述滑块上安装有第二连接片，所述第二连接片与所述第二同步带连接。
10.进一步的，所述第二滑轨上中部设有容纳槽，所述容纳槽用于容纳传动齿轮。
11.进一步的，所述平面移动机构还包括限位挡板，所述限位挡板设在底板上，且所述限位挡板位于第一滑轨的后端，所述限位挡板用于限制第二滑轨移动。
12.进一步的，所述承载架包括用于承载晶圆的承载板以及用于支撑承载板的支撑脚，所述承载板上设有取料缺口，所述承载板上设有呈弧形的通气槽，所述通气槽与所述取料缺口连通。
13.进一步的，所述承载板上设置中心支撑片，所述取料盘的前端设置有避让缺口，所述避让缺口与所述中心支撑片适配。
14.本实用新型晶圆承载转运机构利用平面移动机构带动取料盘移动，同时取料盘在朝取料位置或卸料位置移动时，平面移动机构能够伸长或缩短，能够很好的适应狭小空间，实现了机械转运晶圆。
附图说明
15.图1是本实用新型晶圆承载转运机构的较佳实施方式的结构示意图。
16.图2是转运机构的示意图。
17.图3是转运机构的后视图。
18.图4是取料盘的结构示意图。
19.图5是图3中a-a的剖视图。
20.图6是图3中b-b的剖视图。
21.图7是承载架的仰视图。
22.附图中各标号的含义为：
23.承载架a、承载板1、取料缺口11、通气槽12、中心支撑片13、支撑脚2；
24.转运机构b、取料盘3、避让缺口31、通气孔32、平面移动机构4、底板 41、安装板42、限位挡板43、驱动电机44、第一滑轨45、第一同步组件46、第一同步轮461、第一同步带462、第二滑轨47、第一连接片471、容纳槽472、第二同步组件48、第二同步轮481、第二同步带482、传动齿轮483、滑块49、第二连接片491、升降气缸5、旋转气缸6；
25.机架7。
具体实施方式
26.下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
27.如图1至图3所示，本实用新型晶圆承载转运机构b的较佳实施方式包括两个用于接收晶圆的承载架a以及将承载架a上的晶圆转运至下一工位的转运机构b。所述承载架a和转运机构b均设在倒角装置的机架7上，两个所述承载架a位于所述转运机构b的两侧，便于一个承载架a接收晶圆的同时，另一承载架a用于转运机构b转运晶圆，以提高转运效率。
28.结合图7参考，所述承载架a包括用于承载晶圆的承载板1以及用于支撑承载板1的支撑脚2，所述支撑脚2固定在承载板1的底面。所述承载板1上设有取料缺口11，所述晶圆放置在承载板1上，晶圆将取料缺口11覆盖，所述转运机构b在取料缺口11将晶圆取走。所述承
载板1的顶面设有呈弧形的通气槽12，所述通气槽12与所述取料缺口11连通，晶圆放置在承载板1上，晶圆的下方能有气体流通，能够防止晶圆的底面与承载板1的顶面粘合，如此转运机构b在取走晶圆时，晶圆能够轻松的离开承载板1，不会损坏晶圆。所述承载板1上设置中心支撑片13，所述中心支撑片13位于取料缺口11处，且通气槽12的中心位于中心支撑片13上，如此能够给晶圆的中心提供一个支撑，放置得更稳。
29.如图1至图6所示，所述转运机构b包括用于取晶圆的取料盘3、用于带动取料盘3槽特定方向移动的平面移动机构4、用于驱动平面移动机构4升降的升降气缸5以及用于驱动升降气缸5转动的旋转气缸6，所述取料盘3安装在所述平面移动机构4上，所述平面移动机构4安装在所述升降气缸5上，所述升降气缸5安装在所述旋转气缸6上；所述平面移动机构4带动取料盘3移动的方向取决于旋转缸转动方向，所述平面移动机构带动所述取料盘3移动的同时会伸长或缩短平面移动机构4的长度，使得能够适用于空间较小的位置。所述旋转气缸6驱动所述升降气缸5转动，所述升降气缸5带动所述平面移动机构4转动，所述平面移动机构4转动带动所述取料盘3转动，如此将取料盘 3转动到取料方向或卸料方向。当取料盘3位于所述取料缺口11时，所述升降气缸5驱动平面移动机构4上升，平面移动机构4带动是取料盘3上升，取料盘3从承载板1上取下晶圆。
30.所述取料盘3的前端设置有避让缺口31，所述避让缺口31与所述中心支撑片13适配，如此取料盘3取得晶圆时能够支撑到晶圆的中心，确保晶圆不会倾倒。所述取料盘3的前端还设置有弧形的通气孔32，所述如此取料盘3在卸料时晶圆不会粘合在取料盘3上。
31.所述平面移动机构4包括底板41、安装板42、限位挡板43、驱动电机44、第一滑轨45、第一同步组件46、第二滑轨47、第二同步组件48以及滑块49。所述底板41固定在所述升降气缸5上，所述第一滑轨45、限位挡板43、驱动电机44和安装板42均固定在所述底板41上，所述限位挡板43位于第一滑轨 45的后端，所述第二滑轨47滑动设在所述第一滑轨45上，所述限位挡板43 用于限制第二滑轨47，以防止第二滑轨47从所述第一滑轨45移动过位。所述第一同步组件46安装在所述安装板42上，所述第二滑轨47与所述第一同步组件46连接，所述驱动电机44用于驱动第一同步组件46；当所述驱动电机44 驱动第一同步组件46，使第二滑轨47在所述第一滑轨45上移动。所述第二同步组件48安装在所述第二滑轨47上，所述滑块49滑动设在所述第二滑轨47 上，且滑块49与所述第二同步组件48连接，所述第二滑轨47在第一滑轨45 上移动能够驱动第二同步组件48动作，使第二同步组件48驱动所述滑块49 在第二滑轨47上移动，从而带动所述取料盘3移动。
32.所述第一同步组件46包括两个第一同步轮461和第一同步带462，所述第一同步轮461固定在所述安装板42上，所述第一同步带462绕设在两个所述第一同步轮461上，位于第一滑轨45后端的第一同步轮461同时还与所述驱动电机44的输出轴连接。所述第二滑轨47上安装有第一连接片471，所述第一连接片471与所述第一同步带462固定。驱动电机44驱动所述第一同步轮461 转动时，所述第一同步轮461带动第一同步带462移动，所述第一同步带462 移动带动所述第二滑轨47在所述第一滑轨45上移动。
33.所述第二同步组件48包括两个第二同步轮481、第二同步带482以及传动齿轮483，两个所述第二同步轮481设在所述第二滑轨47上，所述第二同步带 482绕设在所述第二同步轮481上，所述滑块49上安装有第二连接片491，所述第二连接片491与所述第二同步带482固定。所述传动齿轮483通过传动轴所述第二同步轮481连接，所述第一滑轨45上设有齿
条，所述传动齿轮483 与所述齿条啮合。当所述第二滑轨47在所述第一滑轨45上移动时，所述传动齿轮483在所述齿条上移动，所述传动齿轮483移动带动传动轴转动，传动轴转动从而带动第二同步轮481移动，所述第二同步轮481转动带动第二同步带 482转动，所述第二同步带482转动带动所述滑块49移动。
34.所述第二滑轨47上中部设有容纳槽472，所述容纳槽472用于容纳安装所述传动齿轮483，将传动齿轮483设在第二滑轨47内，能够有效的隐藏零部件，减少裸露的部件，同时减小了体积和占用空间。
35.外部上料装置将晶圆放置到承载架a上，旋转气缸6驱动所述取料盘3转动至朝向承载架a方向，而后驱动电机44驱动第一同步轮461转动，第一同步轮461转动带动第一同步带462转动，第一同步带462转动带动第二滑轨47 在第一滑轨45上朝承载架a方向移动，第二滑轨47移动的同时带动传动齿轮 483在齿条上移动，传动齿轮483移动带动第二同步轮481转动，第二同步轮 481转动带动第二同步带482转动，第二同步带482转动带动滑块49在第二滑块49上移动，所述滑块49移动带动取料盘3移动，当取料盘3移动至取料缺口11的下方时，升降机构驱动平面移动机构4上升，所述平面移动机构4上升带动取料盘3上升，取料盘3上升将承载架a上的晶圆取下，而后驱动电机44 带动取料盘3复位，取料盘3复位后旋转气缸6再次转动，使取料盘3朝向卸料方向，其后平面移动机构4再次带动取料盘3移动至卸料位卸料取料盘3上的晶圆，卸料时利用晶圆倒角装置上的装置进行卸料。卸料完成后平面移动机构4带动取料盘3复位，同时升降气缸5复位，以便于下次取料。平面移动机构4能够自由伸缩长度，能够很好的适应空间狭小的集成式倒角装置，且只需一个动力即可驱动，节省动力装置。
36.以上仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型的专利保护范围之内。