技术特征：
1.支架结构，其特征在于，包括：支架本体(100)，所述支架本体(100)用于支撑石英管本体(10)的内壁且所述支架本体(100)内部用于容纳石英舟(20)，所述支架本体(100)上设有扩散孔(110)；加强组件(200)，所述加强组件(200)设在所述支架本体(100)的内侧壁上。2.根据权利要求1所述的支架结构，其特征在于，所述加强组件为多个，多个所述加强组件沿所述支架本体(100)的轴向间隔设置。3.根据权利要求1所述的支架结构，其特征在于，每个所述加强组件(200)包括呈环形阵列的多个加强杆(210)。4.根据权利要求3所述的支架结构，其特征在于，一个所述加强组件(200)的多个所述加强杆(210)以所述支架本体(100)的中心轴线为中心呈环形阵列设置，所述加强杆(210)的两端分别连接于所述支架本体(100)的内壁，相邻的所述加强杆(210)的间距相同。5.根据权利要求3所述的支架结构，其特征在于，所述支架本体(100)为圆筒结构。6.根据权利要求5所述的支架结构，其特征在于，所述加强组件(200)包括六个所述加强杆(210)，六个所述加强杆(210)呈圆形阵列设置于所述支架本体(100)的内壁。7.根据权利要求1所述的支架结构，其特征在于，所述支架本体(100)的外径等于所述石英管本体(10)的内径；和/或，所述支架本体(100)的长度等于所述石英管本体(10)的长度。8.根据权利要求1-7任一项所述的支架结构，其特征在于，所述支架本体(100)为金属件或者陶瓷件。9.高温反应炉，所述高温反应炉包括石英管本体(10)和石英舟(20)，所述石英舟(20)包括石英舟本体(21)，用于承载硅片，其特征在于，还包括权利要求1-8任一所述的支架结构，所述支架结构连接于所述石英管本体(10)的内部，所述石英舟本体(21)设置于所述支架本体(100)内。10.根据权利要求9所述的高温反应炉，所述石英舟(20)还包括舟托(22)，所述舟托(22)连接于所述石英舟本体(21)，用于支撑所述石英舟本体(21)，其特征在于，多个所述加强组件(200)的位置避让所述舟托(22)的位置。
技术总结
本实用新型属于硅片扩散技术领域，公开了一种支架结构及高温反应炉。该支架结构包括支架本体和加强组件，该支架本体用于支撑石英管本体的内壁且该支架本体内部用于容纳石英舟，该支架本体上设有扩散孔；该加强组件设在该支架本体的内侧壁上。该支架结构能够对石英舟和石英管本体形成双向保护，有效支撑石英管本体，防止其损坏，同时当石英管本体破碎后防止碎片损伤石英舟及硅片。碎片损伤石英舟及硅片。碎片损伤石英舟及硅片。
技术研发人员：朱太荣 刘磊 林佳继 刘群
受保护的技术使用者：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
技术研发日：2022.09.13
技术公布日：2023/1/5