一种晶圆盒的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆盒。


背景技术：

2.在半导体领域中，工厂在加工时通常需要半导体晶圆搬送设备，目前通常将晶圆装在晶圆盒内，采用固定承载台对晶圆盒进行搬运，以实现晶圆的搬运。实际生产中，晶圆沿水平方向依次安插至晶圆盒内，为了防止晶圆滑落、掉片，一般通过卡扣对晶圆进行固定，以防止晶圆滑落，但在现有技术中，卡扣的设置是通过人工操作完成的，因此存在设置不准确，从而导致晶圆滑落、掉片的问题，造成损失。


技术实现要素：

3.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型提供一种晶圆盒，包括晶圆盒主体和感应电路，晶圆盒主体中设置有用于防止晶圆片滑落的卡扣，感应电路中设置有传感器和指示灯，其中，传感器与卡扣对应设置，用于感应卡扣是否紧密闭合，并向指示灯发送信号，指示灯根据来自传感器的不同信号亮不同颜色的提示灯，以提示操作人员是否存在晶圆片滑落的风险。本实用新型通过设置感应电路，能够准确得知晶圆盒中的卡扣是否紧密闭合，进而能够检验是否存在晶圆片滑落的风险，且感应电路中设置有用于提示操作人员的指示灯，能够使操作人员更直观、准确地得知是否存在晶圆片滑落的风险，从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。
4.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆盒，包括：
5.晶圆盒主体，所述晶圆盒主体具有朝向第一方向开口的腔体，且在所述第一方向上，所述晶圆盒主体具有两个相互平行的侧板，两个所述侧板的顶部对称设置有卡扣，所述卡扣用于防止晶圆片滑落；
6.感应电路，包括电源、指示灯及传感器，所述传感器的数量为两个，分别与所述卡扣一一对应设置，每个所述传感器用于感应其相对应的所述卡扣是否紧密闭合，并向所述指示灯发送信号，所述指示灯用于接收来自两个所述传感器的所述信号，并根据所述信号亮提示灯。
7.可选的，两个所述侧板的内壁上固定安装有多组隔板，所述多组隔板在所述侧板的内壁等距分布，且相邻的所述隔板之间形成有插槽，所述插槽用于容纳晶圆片。
8.可选的，所述电源、所述指示灯及两个所述传感器以串联的方式电连接。
9.可选的，所述传感器感应到所述卡扣紧密闭合，即向所述指示灯发送第一信号；所述传感器未感应到所述卡扣紧密闭合，即向所述指示灯发送第二信号。
10.可选的，所述指示灯分别接收到来自两个所述传感器的所述第一信号，即亮第一提示灯。
11.可选的，所述指示灯接收到来自一个所述传感器的所述第一信号，接收到来自另一个所述传感器的所述第二信号，即亮第二提示灯。
12.可选的，所述指示灯接收到来自两个所述传感器的所述第二信号，即亮第二提示灯。
13.可选的，所述第一提示灯与所述第二提示灯的颜色不同。
14.本发明提供的晶圆盒，至少具有以下有益效果：
15.本实用新型提供的晶圆盒包括晶圆盒主体和感应电路，晶圆盒主体中设置有用于防止晶圆片滑落的卡扣，感应电路中设置有传感器和指示灯，其中，传感器与卡扣对应设置，用于感应卡扣是否紧密闭合，并向指示灯发送信号，指示灯根据来自传感器的不同信号亮不同颜色的提示灯，以提示操作人员是否存在晶圆片滑落的风险。本实用新型通过设置感应电路，能够准确得知晶圆盒中的卡扣是否紧密闭合，进而能够检验是否存在晶圆片滑落的风险，且感应电路中设置有用于提示操作人员的指示灯，能够使操作人员更直观、准确地得知是否存在晶圆片滑落的风险，从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。
附图说明
16.图1显示为实施例提供的晶圆盒的正视图。
17.图2显示为实施例提供的晶圆盒的俯视图。
18.元件标号说明
19.10
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
晶圆盒主体
20.20
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
感应电路
21.100
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
腔体
22.11
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
侧板
23.12
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
卡扣
24.13
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
隔板
25.14
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
插槽
26.21
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
电源
27.22
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
指示灯
28.23
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
传感器
具体实施方式
29.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其它优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
30.需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，虽图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量、位置关系及比例可在实现本方技术方案的前提下随意改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。
31.实施例
32.本实施例提供一种晶圆盒，如图1和图2所示，包括晶圆盒主体10和感应电路20。
33.参照图1和图2所示，晶圆盒主体10具有朝向第一方向(图2所示的y轴方向)开口的
腔体100，且在第一方向上(图2所示的y轴方向)，晶圆盒主体10具有两个相互平行的侧板11，两个侧板11的内壁上固定安装有多组隔板13，多组隔板13在侧板11的内壁等距分布，且相邻的隔板13之间形成有插槽14，插槽14用于容纳晶圆片。在实际操作过程中，晶圆片放置在uv膜上，uv膜贴在晶圆载具上，晶圆片通过晶圆载具放置在晶圆盒的插槽14中。
34.参照图1和图2所示，两个侧板11的顶部对称设置有卡扣12，卡扣12用于防止晶圆片滑落。作为示例，卡扣12可绕一定点沿图2箭头所指示的方向转动，且当卡扣12位于图2所示的位置时，晶圆片被卡扣12阻挡，从而防止滑落。
35.如图2所示，感应电路20包括电源21、指示灯22及传感器23，且电源21、指示灯22及传感器23以串联的方式电连接。
36.作为示例，传感器23的数量为两个，分别与卡扣12一一对应设置，每个传感器23用于感应其相对应的卡扣12是否紧密闭合，并向指示灯22发送信号。具体的，若传感器23感应到其相对应的卡扣12紧密闭合，即向指示灯22发送第一信号；若传感器23未感应到其相对应的卡扣12紧密闭合，即向指示灯22发送第二信号。在本实施例中，可以对传感器23的灵敏度进行调节，以保证只有当卡扣12紧密闭合时，传感器23才会向指示灯22发送第一信号，从而保证感应结果的准确性。
37.作为示例，指示灯22用于接收来自两个传感器23的信号，并根据该信号亮提示灯。具体的，若指示灯22分别接收到来自两个传感器23的第一信号，即表明此时两个卡扣12均已紧密闭合，亮第一提示灯，表明此时晶圆片没有滑落风险，可以进行搬运等操作；若指示灯22接收到来自一个传感器23的第一信号，还接收到来自另一个传感器23的第二信号，即表明此时仅有一个卡扣12紧密闭合，亮第二提示灯，表明此时晶圆片存在滑落风险，需要对卡扣12进一步调整；若指示灯22接收到来自两个传感器23的第二信号，即表明此时两个卡扣12均未紧密闭合，亮第二提示灯，表明此时晶圆片存在滑落风险，需要对卡扣12进一步调整。
38.作为示例，第一提示灯与第二提示灯的颜色不同，以便于操作人员分辨。例如在本实施例中，第一提示灯显示为绿灯，第二提示灯显示为红灯。
39.本实用新型提供的晶圆盒包括晶圆盒主体和感应电路，晶圆盒主体中设置有用于防止晶圆片滑落的卡扣，感应电路中设置有传感器和指示灯，其中，传感器与卡扣对应设置，用于感应卡扣是否紧密闭合，并向指示灯发送信号，指示灯根据来自传感器的不同信号亮不同颜色的提示灯，以提示操作人员是否存在晶圆片滑落的风险。本实用新型通过设置感应电路，能够准确得知晶圆盒中的卡扣是否紧密闭合，进而能够检验是否存在晶圆片滑落的风险，且感应电路中设置有用于提示操作人员的指示灯，能够使操作人员更直观、准确地得知是否存在晶圆片滑落的风险，从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。
40.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。