电注入装置、电注入腔室及电注入设备的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能光伏电池技术领域，具体地，涉及一种电注入装置、电注入腔室及电注入设备。


背景技术：

2.随着太阳能产业的不断发展，人们对太阳能电池的效率和抗光衰能力越发重视。目前，在太阳能电池制备工艺中，电注入工艺可以显著提高电池片的电池效率和抗光衰能力，电注入工艺是采用电注入设备在工艺要求的温度范围内，对电池片持续通入工艺要求的电流，以达到钝化效果的一种工艺。
3.在电注入工艺中，对于工艺温度的调控是整个工艺的核心之一，
4.但是，在现有的电注入设备中，对于工艺温度调控的技术并不成熟，
5.在实际应用中，往往会出现因工艺温度偏低，而导致电池片的电池效率和抗光衰能力的提效偏低或无增益的情况，或者出现因温度偏高，破坏电池的电极间的接触，而导致电池片不良的情况。


技术实现要素：

6.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种电注入装置、电注入腔室及电注入设备，其能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，从而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
7.为实现本实用新型的目的而提供一种电注入装置，用于对叠置的多个电池片进行电注入工艺，所述电注入装置包括第一电注入部件和第二电注入部件，所述第一电注入部件用于从所述多个电池片中位于一侧的所述电池片对所述多个电池片进行加热，并向所述多个电池片通入电流，所述第二电注入部件用于从所述多个电池片中位于另一侧的所述电池片对所述多个电池片进行加热，并将所述电流导出，所述第一电注入部件和/或所述第二电注入部件中设置有第一测温件，所述电注入装置还包括监控部件，所述第一测温件用于从所述多个电池片的一侧和/或另一侧对所述多个电池片的实时温度进行监测，得到第一实时温度，所述监控部件与所述第一测温件电连接，并与所述第一电注入部件和/或所述第二电注入部件电连接，用于获取所述第一实时温度，并根据所述第一实时温度对所述第一电注入部件和/或所述第二电注入部件的加热功率进行调控。
8.可选的，所述第一电注入部件包括第一板体和第一加热件，所述第一板体用于与所述多个电池片中位于一侧的所述电池片接触，所述第一加热件设置在所述第一板体中，用于对所述多个电池片进行加热；
9.所述第二电注入部件包括第二板体和第二加热件，所述第二板体用于与所述多个电池片中位于另一侧的所述电池片接触，所述第二加热件设置在所述第二板体中，用于对所述多个电池片进行加热；
10.所述监控部件与所述第一加热件和/或所述第二加热件电连接，用于根据所述第
一实时温度对所述第一加热件和/或所述第二加热件的加热功率进行调控。
11.可选的，所述第一板体和/或所述第二板体中设置有所述第一测温件，且所述第一测温件从所述第一板体和/或所述第二板体的朝向所述多个电池片的一面露出，用于在所述第一板体和/或所述第二板体与所述电池片接触时，与所述多个电池片中位于一侧和/或另一侧的所述电池片接触，从所述多个电池片的一侧和/或另一侧对所述多个电池片的实时温度进行监测，得到所述第一实时温度。
12.可选的，所述第一板体和/或所述第二板体中设置有多个所述第一测温件，所述多个第一测温件在所述第一板体和/或所述第二板体的朝向所述多个电池片的一面均匀间隔分布。
13.可选的，所述第一电注入部件还包括第一电极，所述第一电极设置在所述第一板体中，用于向所述多个电池片通入电流；
14.所述监控部件还与所述第一电极电连接，用于监测所述第一电极的输入电流，得到实时输入电流，并根据所述第一实时温度和所述实时输入电流，对所述第一电极的输入电流进行调控。
15.可选的，所述第二电注入部件还包括第二电极，所述第二电极设置在所述第二板体中，用于将所述电流导出；
16.所述监控部件还与所述第二电极电连接，用于监测所述第一电极的输入电流和输入电压，以及所述第二电极的输出电流和输出电压，并根据所述输入电流、所述输入电压、所述输出电流和所述输出电压计算所述多个电池片的实时电阻，且根据所述第一实时温度和所述实时电阻对所述第一加热件和/或所述第二加热件的加热功率进行调控，并根据所述第一实时温度、所述实时输入电流和所述实时电阻对所述第一电极的输入电流进行调控。
17.可选的，所述电注入装置还包括第二测温件，所述第二测温件用于设置在电注入腔室内，并位于所述多个电池片的周围，用于从所述多个电池片的周围对所述多个电池片的中部的实时温度进行监测，得到第二实时温度；
18.所述监控部件还与所述第二测温件电连接，用于根据所述第一实时温度和所述第二实时温度计算平均实时温度，并根据所述平均实时温度和所述实时电阻对所述第一加热件和/或所述第二加热件的加热功率进行调控，并根据所述平均实时温度、所述实时输入电流和所述实时电阻对所述第一电极的输入电流进行调控。
19.可选的，所述电注入装置还包括加热部件，所述加热部件用于设置在电注入腔室的腔室本体中，并位于所述多个电池片的周围，用于从所述多个电池片的周围对所述多个电池片进行加热；
20.所述监控部件还与所述加热部件电连接，用于根据所述平均实时温度和所述实时电阻对所述加热部件的加热功率进行调控。
21.本实用新型还提供一种电注入腔室，包括腔室本体和如本实用新型提供的所述电注入装置，所述电注入装置设置在所述腔室本体中，用于对叠置的所述多个电池片进行电注入工艺。
22.本实用新型还提供一种电注入设备，包括多个如本实用新型提供的所述电注入腔室，多个所述电注入腔室包括用于对叠置的所述多个电池片进行加热和电注入工艺的电注
入加热腔室，和用于对叠置的所述多个电池片进行保温和电注入工艺的电注入保温腔室。
23.本实用新型具有以下有益效果：
24.本实用新型提供的电注入装置，借助第一电注入部件从多个电池片中位于一侧的电池片对多个电池片进行加热，并向多个电池片通入电流，借助第二电注入部件从多个电池片中位于另一侧的电池片对多个电池片进行加热，并将电流导出，可以在电注入工艺中对叠置的多个电池片进行加热并进行电注入，从而可以实现电注入工艺，而通过在第一电注入部件和/或第二电注入部件中设置第一测温件，并通过设置监控部件与第一测温件电连接，并与第一电注入部件和/或第二电注入部件电连接，可以借助第一测温件从多个电池片的一侧和/或另一侧对多个电池片的实时温度进行监测，得到第一实时温度，并借助监控部件获取第一实时温度，并根据第一实时温度对第一电注入部件和/或第二电注入部件的加热功率进行调控，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，继而能够降低工艺温度过高或过低的情况的出现，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
25.本实用新型提供的电注入腔室，通过将本实用新型提供的电注入装置设置在腔室本体中，可以借助本实用新型提供的电注入装置对叠置的多个电池片进行电注入工艺，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
26.本实用新型提供的电注入设备，借助本实用新型提供的电注入腔室对叠置的多个电池片进行电注入工艺，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
附图说明
27.图1为本实用新型实施例提供的电注入装置和电注入腔室的结构示意图；
28.附图标记说明：
29.1-第一电注入部件；2-第二电注入部件；3-第一测温件；4-加热部件；5-传送装置；6-多个电池片。
具体实施方式
30.为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的电注入装置、电注入腔室及电注入设备进行详细描述。
31.如图1所示，本实用新型实施例提供一种电注入装置，用于对叠置的多个电池片6进行电注入工艺，电注入装置包括第一电注入部件1和第二电注入部件2，第一电注入部件1用于从多个电池片6中位于一侧的电池片对多个电池片6进行加热，并向多个电池片6通入电流，第二电注入部件2用于从多个电池片6中位于另一侧的电池片对多个电池片6进行加热，并将电流导出，第一电注入部件1和/或第二电注入部件2中设置有第一测温件3，电注入装置还包括监控部件(图中未示出)，第一测温件3用于从多个电池片6的一侧和/或另一侧对多个电池片6的实时温度进行监测，得到第一实时温度，监控部件与第一测温件3电连接，并与第一电注入部件1和/或第二电注入部件2电连接，用于获取第一实时温度，并根据第一实时温度对第一电注入部件1和/或第二电注入部件2的加热功率进行调控。
32.本实用新型实施例提供的电注入装置，借助第一电注入部件1从多个电池片6中位于一侧的电池片对多个电池片6进行加热，并向多个电池片6通入电流，借助第二电注入部件2从多个电池片6中位于另一侧的电池片对多个电池片6进行加热，并将电流导出，可以在电注入工艺中对叠置的多个电池片6进行加热并进行电注入，从而可以实现电注入工艺，而通过在第一电注入部件1和/或第二电注入部件2中设置第一测温件3，并通过设置监控部件与第一测温件3电连接，并与第一电注入部件1和/或第二电注入部件2电连接，可以借助第一测温件3从多个电池片6的一侧和/或另一侧对多个电池片6的实时温度进行监测，得到第一实时温度，并借助监控部件获取第一实时温度，并根据第一实时温度对第一电注入部件1和/或第二电注入部件2的加热功率进行调控，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，继而能够降低工艺温度过高或过低的情况的出现，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
33.也就是说，在实际应用中，多个电池片6可以以堆叠放置的方式进入电注入腔室进行电注入工艺，电注入腔室中，第一电注入部件1和第二电注入部件2相对设置，当叠置的多个电池片6进入电注入腔室后，第一电注入部件1可以与叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片接触，以能够从叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片对叠置的多个电池片6进行加热，并能够从叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片向叠置的多个电池片6通入电流，也就是说，第一电注入部件1通过对叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片进行加热，使热量能够从叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片向另一侧的电池片传递，从而能够对叠置的多个电池片6中的每个电池片进行加热，并通过向叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片通入电流，使电流能够从叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片向另一侧的电池片传递，从而能够向叠置的多个电池片6中的每个电池片通入电流。
34.第二电注入部件2可以与叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片接触，以能够从叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片对叠置的多个电池片6进行加热，并能够从叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片将叠置的多个电池片6中的电流。也就是说，第一电注入部件1通过对叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片进行加热，使热量能够从叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片向一侧的电池片传递，从而能够对叠置的多个电池片6中的每个电池片进行加热，并通过叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片将通入电流，使电流能够从叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片将第一电注入部件1向叠置的多个电池片6通入的电流导出，从而借助第一电注入部件1和第二电注入部件2能够在电注入工艺中对叠置的多个电池片6进行加热并进行电注入，进而能够实现电注入工艺。
35.在电注入工艺过程中，由于第一电注入部件1和/或第二电注入部件2中设置有第一测温件3，因此，第一测温件3可以从多个电池片6的一侧和/或另一侧对多个电池片6的实时温度进行监测。也就是的，当第一电注入部件1设置有第一测温件3时，第一测温件3可以从叠置的多个电池片6的一侧对叠置的多个电池片6的实时温度进行监测；当第二电注入部件2中设置有第一测温件3时，第一测温件3可以从叠置的多个电池片6的另一侧对叠置的多个电池片6的实时温度进行监测；当第一电注入部件1和第二电注入部件2中均设置有第一测温件3时，第一测温件3可以从叠置的多个电池片6的一侧和另一侧对叠置的多个电池片6的实时温度进行监测。第一测温件3测得的叠置的多个电池片6的实时温度称为第一实时温度。
36.通过将监控部件与第一测温件3电连接，监控部件可以获取第一实时温度，通过将监控部件与第一电注入部件1和/或第二电注入部件2电连接，监控部件可以根据第一实时温度对第一电注入部件1和/或第二电注入部件2的加热功率进行调控。也就是说，当监控部件与第一电注入部件1电连接时，监控部件可以根据第一实时温度对第一电注入部件1的加热功率进行调控，从而对叠置的多个电池片6中的每个电池片在电注入工艺中的工艺温度进行调控；当监控部件与第二电注入部件2电连接时，监控部件可以根据第一实时温度对第二电注入部件2的加热功率进行调控，从而对叠置的多个电池片6中的每个电池片在电注入工艺中的工艺温度进行调控；当监控部件与第一电注入部件1和第二电注入部件2均电连接时，监控部件可以根据第一实时温度对第一电注入部件1的加热功率和第二电注入部件2的加热功率进行调控，从而对叠置的多个电池片6中的每个电池片在电注入工艺中的工艺温度进行调控。
37.例如，当第一实时温度高于电注入工艺要求的工艺温度或者第一实时温度升高速度过快时，监控部件可以降低第一电注入部件1的加热功率和/或第二电注入部件2的加热功率，以使多个电池片6的实时温度降低，或者使多个电池片6的实时温度升高的速度降低，当第一实时温度低于电注入工艺要求的工艺温度或者第一实时温度升高速度过慢时，监控部件可以提高第一电注入部件1的加热功率和/或第二电注入部件2的加热功率，以使多个电池片6的实时温度提高，或者使多个电池片6的实时温度升高的速度提高。
38.这样就能够降低叠置的多个电池片6中的每个电池片在电注入工艺中工艺温度过高或过低的情况的出现。
39.如图1所示，在本实用新型一实施例中，第一电注入部件1和第二电注入部件2中可以均设置有第一测温件3。这样借助第一测温件3可以从叠置的多个电池片6的一侧和另一侧均对叠置的多个电池片6的实时温度进行监测，从而能够提高第一测温件3对叠置的多个电池片6的实时温度进行监测的准确性，提高第一实时温度的准确性，继而能够提高监控部件根据第一实时温度对第一电注入部件1和/或第二电注入部件2的加热功率进行调控的准确性，进而能够进一步降低工艺温度过高或过低的情况的出现，能够进一步提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并进一步改善电注入工艺的良率。
40.在本实用新型一实施例中，监控部件可以与第一电注入部件1和第二电注入部件2均电连接。这样借助监控部件可以根据第一实时温度对第一电注入部件1的加热功率和第二电注入部件2的加热功率进行调控，从而能够提高监控部件对叠置的多个电池片6中的每个电池片在电注入工艺中的工艺温度进行调控的效率，进而能够进一步降低工艺温度过高或过低的情况的出现，进而能够进一步提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并进一步改善电注入工艺的良率。
41.可选的，第一电注入部件1可以包括第一板体和第一加热件(图中未示出)，第一板体用于与多个电池片6中位于一侧的电池片接触，第一加热件设置在第一板体中，用于对多个电池片6进行加热；第二电注入部件2可以包括第二板体和第二加热件，第二板体用于与多个电池片6中位于另一侧的电池片接触，第二加热件设置在第二板体中，用于对多个电池片6进行加热；监控部件可以与第一加热件和/或第二加热件电连接，用于根据第一实时温度对第一加热件和/或第二加热件的加热功率进行调控。
42.也就是说，在实际应用中，当叠置的多个电池片6进入电注入腔室后，第一板体可
以与叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片接触，第一板体中的第一加热件产生的热量可以通过第一板体向叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片传递，从而能够从叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片对叠置的多个电池片6进行加热，第二板体以与叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片接触，第二板体中的第二加热件产生的热量可以通过第二板体向叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片传递，从而能够从叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片对叠置的多个电池片6进行加热。
43.通过将监控部件与第一加热件电连接，监控部件可以根据第一实时温度对第一加热件的加热功率进行调控，实现对第一电注入部件1的加热功率的调控；通过将监控部件与第二加热件电连接，监控部件可以根据第一实时温度对第二加热件的加热功率进行调控，实现对第二电注入部件2的加热功率的调控；通过将监控部件与第一加热件和第二加热件电连接，监控部件可以根据第一实时温度对第一加热件和第二加热件的加热功率进行调控，实现对第一电注入部件1和第二电注入部件2的加热功率的调控。
44.可选的，第一板体和/或第二板体中可以设置有第一测温件3，且第一测温件3从第一板体和/或第二板体的朝向多个电池片6的一面露出，用于在第一板体和/或第二板体与电池片接触时，与多个电池片6中位于一侧和/或另一侧的电池片接触，从多个电池片6的一侧和/或另一侧对多个电池片6的实时温度进行监测，得到第一实时温度。
45.也就是说，第一板体中可以设置有第一测温件3，即，第一电注入部件1中设置有第一测温件3时，第一测温件3可以从第一板体的朝向多个电池片6的一面露出，使第一测温件3在第一板体与电池片接触时，能够与多个电池片6中位于一侧的电池片接触，从多个电池片6的一侧对多个电池片6的实时温度进行监测；或者，第二板体中可以设置有第一测温件3，即，第二电注入部件2中设置有第一测温件3时，第一测温件3可以从第二板体的朝向多个电池片6的一面露出，使第一测温件3在第二板体与电池片接触时，能够与多个电池片6中位于另一侧的电池片接触，从多个电池片6的另一侧对多个电池片6的实时温度进行监测；或者，第一板体和第二板体中可以均设置有第一测温件3(如图1所示)，即，第一电注入部件1和第二电注入部件2中均设置有第一测温件3时，第一测温件3可以从第一板体和第二板体的朝向多个电池片6的一面露出，使第一测温件3在第一板体和第二板体与电池片接触时，能够与多个电池片6中位于一侧和另一侧的电池片接触，从多个电池片6的一侧和另一侧均对多个电池片6的实时温度进行监测。
46.这样的设计能够提高对多个电池片6的实时温度进行监测的准确性，提高第一实时温度的准确性。
47.可选的，第一测温件3可以包括热电偶。
48.但是，第一测温件3的类型及设置方式并不以此为限，例如，第一测温件3可以包括红外测温件，此种情况下，第一板体和/或第二板体中可以开设有安装孔，安装孔的一端口位于第一板体和/或第二板体的朝向多个电池片6的一面，第一测温件3可以安装在安装孔中，而无需在第一板体和/或第二板体与电池片接触时，与多个电池片6中位于一侧和/或另一侧的电池片接触，也能够从多个电池片6的一侧和/或另一侧对多个电池片6的实时温度进行监测，得到第一实时温度。
49.可选的，第一板体和/或第二板体中可以设置有多个第一测温件3，多个第一测温件3可以在第一板体和/或第二板体的朝向多个电池片6的一面均匀间隔分布。
50.也就是说，第一板体中可以设置有多个第一测温件3，多个第一测温件3可以在第一板体的朝向多个电池片6的一面均匀间隔分布；或者，第二板体中可以设置有多个第一测温件3，多个第一测温件3可以在第二板体的朝向多个电池片6的一面均匀间隔分布；或者，第一板体和第二板体中可以均设置有多个第一测温件3(如图1所示)，第一板体中的多个第一测温件3可以在第一板体的朝向多个电池片6的一面均匀间隔分布，第二板体中的多个第一测温件3可以在第二板体的朝向多个电池片6的一面均匀间隔分布。
51.这样的设计能够提高对多个电池片6的实时温度进行监测的准确性，进而能够提高第一实时温度的准确性。
52.可选的，第一电注入部件1可以还包括第一电极，第一电极可以设置在第一板体中，用于向多个电池片6通入电流；监控部件可以还与第一电极电连接，用于监测第一电极的输入电流，得到实时输入电流，并根据第一实时温度和实时输入电流，对第一电极的输入电流进行调控。
53.也就是说，在实际应用中，当第一板体与叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片接触时，第一板体中的第一电极可以与多个电池片6中位于一侧的电池片接触，向叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片通入电流，使电流从叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片向另一侧传递，从而能够从叠置的多个电池片6中位于一侧的电池片向叠置的多个电池片6通入电流。由于第一电极向多个电池片6通入电流的大小，也会对多个电池片6的工艺温度造成影响，因此，通过将监控部件与第一电极电连接，可以借助监控部件对第一电极的输入电流进行监测，得到实时输入电流，并能够根据第一实时温度和实时输入电流，对第一电极的输入电流进行调控，从而能够进一步对电注入工艺的工艺温度进行监控，继而能够进一步降低工艺温度过高或过低的情况的出现，进而能够进一步提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并进一步改善电注入工艺的良率。
54.例如，当第一实时温度高于电注入工艺要求的工艺温度或者第一实时温度升高速度过快时，监控部件可以将第一电极向多个电池片6通入的电流降低至低于实时输入电流，以使多个电池片6的实时温度降低，或者使多个电池片6的实时温度升高的速度降低，当第一实时温度低于电注入工艺要求的工艺温度或者第一实时温度升高速度过慢时，监控部件可以将第一电极向多个电池片6通入的电流提高至高于实时输入电流，以使多个电池片6的实时温度提高，或者使多个电池片6的实时温度升高的速度提高。
55.可选的，第二电注入部件2可以还包括第二电极，第二电极设置在第二板体中，用于将电流导出；监控部件还与第二电极电连接，用于监测第一电极的输入电流和输入电压，以及第二电极的输出电流和输出电压，并根据输入电流、输入电压、输出电流和输出电压计算多个电池片6的实时电阻，且根据第一实时温度和实时电阻对第一加热件和/或第二加热件的加热功率进行调控，并根据第一实时温度、实时输入电流和实时电阻对第一电极的输入电流进行调控。
56.也就是说，在实际应用中，当第二板体与叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片接触时，第二板体中的第二电极可以与叠置的多个电池片6中位于另一侧的电池片接触，使第一电极向多个电池片6通入的电流从多个电池片6中位于一侧的电池片导出。由于多个电池片6的电阻会在多个电池片6的温度升高到一定程度时快速增加，而在多个电池片6的温度降低到一定程度时快速降低，也就是说，多个电池片6的电阻会与多个电池片6的温度
具有一定关系，因此，通过将监控部件与第一电极和第二电极电连接，可以借助监控部件对第一电极的输入电流和输入电压进行监测，并对第二电极的输出电流和输出电压进行监测，从而能够计算多个电池片6的实时电阻，再根据第一实时温度和实时电阻对第一加热件和/或第二加热件的加热功率进行调控，并根据第一实时温度、实时输入电流和实时电阻对第一电极的输入电流进行调控，从而能够进一步对电注入工艺的工艺温度进行监控，继而能够进一步降低工艺温度过高或过低的情况的出现，进而能够进一步提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并进一步改善电注入工艺的良率。
57.可选的，电注入装置可以还包括第二测温件，第二测温件用于设置在电注入腔室内，并位于多个电池片6的周围，用于从多个电池片6的周围对多个电池片6的中部的实时温度进行监测，得到第二实时温度；监控部件还与第二测温件电连接，用于根据第一实时温度和第二实时温度计算平均实时温度，并根据平均实时温度和实时电阻对第一加热件和/或第二加热件的加热功率进行调控，并根据平均实时温度、实时输入电流和实时电阻对第一电极的输入电流进行调控。
58.也就是说，在实际应用中，借助第二测温件可以在电注入工艺中，从多个电池片6的周围对多个电池片6的中部的实时温度进行监测，得到第二实时温度，通过将监控部件与第二测温件电连接，可以借助监控部件获取第二实时温度，并借助监控部件根据第一实时温度和第二实时温度计算平均实时温度，由于第一实时温度是由第一测温件3从多个电池片6的一侧和/或另一侧对多个电池片6进行监测得到的，而第二实时温度是由第二测温件从多个电池片6的周围对多个电池片6的中部的进行监测得到的，因此，根据第一实时温度和第二实时温度计算得到的平均实时温度相对于第一实时温度或第二实时温度可以更加准确的反映多个电池片6的温度，从而提高对多个电池片6的实时温度进行监测的准确性，这样在根据平均实时温度和实时电阻对第一加热件和/或第二加热件的加热功率进行调控，并根据平均实时温度、实时输入电流和实时电阻对第一电极的输入电流进行调控时，就能够进一步提高调控的准确性，进而能够进一步降低工艺温度过高或过低的情况的出现，能够进一步提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并进一步改善电注入工艺的良率。
59.可选的，第二测温件可以包括红外测温件(图1中光线a表示红外测温件发出进行测温的光线)。
60.可选的，电注入装置可以还包括加热部件4，加热部件4用于设置在电注入腔室的腔室本体中，并位于多个电池片6的周围，用于从多个电池片6的周围对多个电池片6进行加热；监控部件还与加热部件4电连接，用于根据平均实时温度和实时电阻对加热部件4的加热功率进行调控。
61.也就是说，在实际应用中，加热部件4可以在电注入工艺中，从多个电池片6的周围对多个电池片6进行加热，通过设置在第一电注入部件1、第二电注入部件2和加热部件4对多个电池片6进行加热，可以提高对多个电池片6加热的均匀性。通过将监控部件与加热部件4电连接，可以借助监控部件根据平均实时温度和实时电阻对加热部件4的加热功率进行调控，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，继而能够降低工艺温度过高或过低的情况的出现，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
62.如图1所示，本实用新型实施例还提供一种电注入腔室，包括腔室本体和如本实用新型实施例提供的电注入装置，电注入装置设置在腔室本体中，用于对叠置的多个电池片6进行电注入工艺。
63.本实用新型实施例提供的电注入腔室，通过将本实用新型实施例提供的电注入装置设置在腔室本体中，可以借助本实用新型实施例提供的电注入装置对叠置的多个电池片6进行电注入工艺，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
64.本实用新型实施例还提供一种电注入设备，包括多个如本实用新型实施例提供的电注入腔室，多个电注入腔室可以包括用于对叠置的多个电池片6进行加热和电注入工艺的电注入加热腔室，和用于对叠置的多个电池片6进行保温和电注入工艺的电注入保温腔室。
65.本实用新型实施例提供的电注入设备，借助本实用新型实施例提供的电注入腔室对叠置的多个电池片6进行电注入工艺，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
66.举例来说，在实际应用中，在电池片进行电注入工艺之前，可以对电池片进行电极热处理，之后通过自动化设备进行效率，之后可以进行电注入工艺。
67.在电池片进行电注入工艺过程中，可以先通过自动化设备将多个电池片6堆叠放置并上料，之后可以通过传送装置5将叠置的多个电池片6传送至本实用新型实施例提供的加热腔室中，由于本实用新型实施例提供的加热腔室中设置本实用新型实施例提供的电注入装置，因此，可以借助本实用新型实施例提供的电注入装置对叠置的多个电池片6进行加热和电注入工艺，同时可以对叠置的多个电池片6的平均温度和实时电阻进行监测，并根据平均温度和实时电阻对电注入装置的输入电流、电注入装置的加热功率和加热部件4的加热功率进行调节，以使叠置的多个电池片6能够在不超过工艺要求的工艺温度的基础上，以最快的速度达到工艺要求的工艺温度。之后，传送装置5可以将叠置的多个电池片6传送至保温腔室中，由于本实用新型实施例提供的加热腔室中设置本实用新型实施例提供的电注入装置，因此，可以借助本实用新型实施例提供的电注入装置对叠置的多个电池片6进行保温和电注入工艺，使叠置的多个电池片6能够在工艺要求的工艺温度中持续进行电注入工艺，同时可以对叠置的多个电池片6的平均温度和实时电阻进行监测，并根据平均温度和实时电阻对电注入装置的输入电流、电注入装置的加热功率和加热部件4的加热功率进行调节，以使叠置的多个电池片6能够保持在工艺要求的工艺温度中，持续进行电注入工艺，从而能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，进而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
68.之后，传送装置5可以将叠置的多个电池片6传送至冷却腔室，冷却腔室可以对叠置的多个电池片6进行冷却处理，之后可以通过自动化设备将叠置的多个电池片6进行下料，之后可以对经过电注入工艺后的电池片进行测试分选。
69.可选的，对电池片进行电极热处理可以包括n型丝网印刷烧结。
70.可选的，加热腔室的数量可以为多个，多个加热腔室可以同时对多组堆叠的电池片进行加热及电注入工艺。
71.可选的，一组堆叠的电池片的数量可以为大于或等于200个。
72.可选的，一组堆叠的电池片的数量可以为400个。
73.综上所述，本实用新型实施例提供的电注入装置、电注入腔室及电注入设备，能够对电注入工艺的工艺温度进行监控，从而能够提高电池片在经过电注入工艺后的电池效率和抗光衰能力，并改善电注入工艺的良率。
74.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变形和改进，这些变形和改进也视为本实用新型的保护范围。