一种晶圆检测用料盘的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆检测用料盘，属于晶圆检测技术领域。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆在生产加工过程中，依据加工工艺需求，需要进行晶圆的icp刻蚀加工，icp刻蚀工艺前，通常需要将晶圆排列放置到料盘内，此过程称为晶圆的上片，以便于在刻蚀加工时，将承载有晶圆的整个料盘放入等离子刻蚀机中进行刻蚀加工。
3.现有的晶圆检测用料盘在使用的过程中，由于晶圆工件放置于托盘的顶部，通过机械手进行拿取，但是晶圆工件位于托盘的顶部并无固定措施，无法对其进行定位，从而导致机械手在拿取时出现偏差的情况，通过料框通过螺杆与螺帽固定连接在底座的顶部，当需要对料框的位置进行调节时，不能进行快速调节，从而影响晶圆的检测效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测用料盘，本实用新型结构简单，使用方便，可以对托盘顶部的工件进行自主定位，同时方便料框本体的位置调节，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种晶圆检测用料盘，包括底座，所述底座的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑杆，所述滑杆的顶部固定连接有料框，所述料框的内部固定连接有托盘，所述料框的内壁上固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧远离料框内壁的一端固定连接有夹持板，所述夹持板的内部开设有弧形槽，所述弧形槽的内部固定连接有缓冲棉，所述弧形槽的外侧固定连接有磁极柱，所述料框的外侧固定连接有固定板，所述固定板的内部开设有移动孔，所述移动孔的内部活动连接有定位杆，所述定位杆的顶部固定连接有限位罩，所述底座的内部开设有凹槽。
7.进一步的，所述滑杆对称分布在料框的底部，且料框通过滑杆活动连接在底座的顶部。
8.进一步的，所述托盘均匀分布在料框的内部，所述压缩弹簧对称分布在料框的内部。
9.进一步的，所述夹持板通过压缩弹簧活动连接在托盘的顶部，且夹持板对称分布在托盘的顶部。
10.进一步的，所述磁极柱对称分布在夹持板的外侧，且相对应的磁极柱处于同一平面上。
11.进一步的，所述固定板对称分布在料框的外侧，所述定位杆的底部活动连接凹槽的内部。
12.进一步的，所述限位罩的面积大于移动孔的面积，所述凹槽均匀分布在底座的内
部。
13.本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型通过设置了滑槽，再通过滑槽内部的滑杆使料框活动连接在底座的顶部，由于在料框的内部固定连接有托盘，当托盘的顶部没有放置晶圆工件时，通过夹持板外侧的磁极柱，由于两个磁极柱处于同一平面上，向着相互排斥，从而使夹持板对压缩弹簧产生挤压，使其相互远离，这时两个夹持板之间存在着些许的空间，通过将晶圆工件放置于两个夹持板之间，由于在夹持板的内部开设有弧形槽，而弧形槽的内部固定连接有缓冲棉，不仅可以很好对晶圆工件进行夹持，同时也不会对工件的周围造成伤害，当晶圆工件放置结束后，会将磁极柱遮挡，从而在压缩弹簧的带动下相互靠近，对晶圆工件进行自主定位，当需要对料框的位置进行调节时，通过移动限位罩，使限位罩将定位杆从移动孔取出，这时定位杆会从凹槽的内部移出，在滑杆的带动下使料框在底座的顶部进行移动，当移动到合适的位置时，再将定位杆进入到凹槽的内部，从而对料框本体进行固定，达到了方便调节的效果。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的具体实施方式一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
16.图1是本实用新型一种晶圆检测用料盘的主视图；
17.图2是本实用新型一种晶圆检测用料盘托盘顶部的俯视图；
18.图3是本实用新型一种晶圆检测用料盘底座顶部的俯视图；
19.图4是本实用新型一种晶圆检测用料盘图1中a处结构的放大图；
20.图中标号：1、底座；2、滑槽；3、滑杆；4、料框；5、托盘；6、压缩弹簧；7、夹持板；8、弧形槽；9、缓冲棉；10、磁极柱；11、固定板；12、移动孔；13、定位杆；14、限位罩；15、凹槽。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.实施例1：请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：
23.一种晶圆检测用料盘，包括底座1，底座1的内部开设有滑槽2，滑槽2的内部滑动连接有滑杆3，滑杆3的顶部固定连接有料框4，料框4的内部固定连接有托盘5，料框4的内壁上固定连接有压缩弹簧6，压缩弹簧6远离料框4内壁的一端固定连接有夹持板7，夹持板7的内部开设有弧形槽8，弧形槽8的内部固定连接有缓冲棉9，弧形槽8的外侧固定连接有磁极柱10。
24.具体的，如图1所示，滑杆3对称分布在料框4的底部，且料框4通过滑杆3活动连接在底座1的顶部，托盘5均匀分布在料框4的内部，压缩弹簧6对称分布在料框4的内部，夹持板7通过压缩弹簧6活动连接在托盘5的顶部，且夹持板7对称分布在托盘5的顶部。
25.具体的，如图1-4所示，磁极柱10对称分布在夹持板7的外侧，且相对应的磁极柱10
处于同一平面上，固定板11对称分布在料框4的外侧，定位杆13的底部活动连接凹槽15的内部，限位罩14的面积大于移动孔12的面积，凹槽15均匀分布在底座1的内部。
26.实施例2：请参阅图1、图2与图4，本实施例与实施例1的区别在于：料框4的外侧固定连接有固定板11，固定板11的内部开设有移动孔12，移动孔12的内部活动连接有定位杆13，定位杆13的顶部固定连接有限位罩14，底座1的内部开设有凹槽15。
27.本实用新型工作原理：通过设置了滑槽2，再通过滑槽2内部的滑杆3使料框4活动连接在底座1的顶部，由于在料框4的内部固定连接有托盘5，当托盘5的顶部没有放置晶圆工件时，通过夹持板7外侧的磁极柱10，由于两个磁极柱10处于同一平面上，向着相互排斥，从而使夹持板7对压缩弹簧6产生挤压，使其相互远离，这时两个夹持板7之间存在着些许的空间，通过将晶圆工件放置于两个夹持板7之间，由于在夹持板7的内部开设有弧形槽8，而弧形槽8的内部固定连接有缓冲棉9，不仅可以很好对晶圆工件进行夹持，同时也不会对工件的周围造成伤害，当晶圆工件放置结束后，会将磁极柱10遮挡，从而在压缩弹簧6的带动下相互靠近，对晶圆工件进行自主定位，当需要对料框4的位置进行调节时，通过移动限位罩14，使限位罩14将定位杆13从移动孔12取出，这时定位杆13会从凹槽15的内部移出，在滑杆3的带动下使料框4在底座1的顶部进行移动，当移动到合适的位置时，再将定位杆13进入到凹槽15的内部，从而对料框4本体进行固定，达到了方便调节的效果。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。