一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管的制作方法

1.本实用新型涉及场效应管技术领域，尤其是涉及一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管。


背景技术：

2.场效应管，全称场效应晶体管，是利用控制输入回路的电场效应来控制输出回路电流的一种半导体器件，主要有结型场效应管和金属氧化物半导体场效应管两种类型，由多数载流子参与导电，也称为单极型晶体管，属于电压控制型半导体器件，具有输入电阻高、噪声小、功耗低、动态范围大、易于集成、没有二次击穿现象、安全工作区域宽等优点，现已成为双极型晶体管和功率晶体管的强大竞争者。而沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管，则是在金属氧化物半导体场效应管的基础上发展起来的一种新型垂直结构场效应管，属于高元胞密度器件，因其具有低导通电阻、低栅漏电荷密度的特点，所以功率损耗低、开关速度快。
3.然而，传统的沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管，散热性能差，使用过程中很容易出现过热烧毁问题，降低了场效应管的工作可靠性，存在一定安全隐患。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服上述技术不足，提出一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管，解决现有技术中沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管，散热性能差，使用过程中很容易出现过热烧毁问题，降低了场效应管的工作可靠性，存在一定安全隐患的技术问题。
5.为达到上述技术目的，本实用新型的技术方案提供一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管，包括场效应管主体、外壳和封闭盖，外壳为内部中空，一端封闭，一端开口结构，场效应管主体设在外壳内，外壳的封闭端设有供场效应管主体上的引脚从外壳内穿出的通孔，外壳侧壁内部绕设有冷却介质通道，外壳外侧壁且位于冷却介质通道两端分别设有进液孔和排液孔，外壳的开口端设有用于将场效应管主体固定在外壳内的封闭盖。
6.进一步，外壳包括第一壳体和第二壳体，第一壳体为内部中空，两端开口结构，场效应管主体设在第一外壳内部，第一壳体外侧壁绕设有冷却介质通道，第二壳体为内部中空，一端封闭，一端开口结构，第二壳体套设在第一壳体上，通孔设在第二壳体的封闭端，进液孔和排液孔设在第二壳体侧壁且分别位于冷却介质通道两端。
7.进一步，第二壳体与第一壳体之间设有用于将第二壳体与第一壳体之间密封的密封套。
8.进一步，密封套为橡胶套或硅胶套。
9.进一步，第一壳体外侧壁设有第一固定槽，第二壳体内侧壁设有与第一固定槽相配合的第一固定块。
10.进一步，第一壳体与场效应管主体之间设有弹性导热套。
11.进一步，弹性导热套为导热硅胶套。
12.进一步，第一壳体内侧壁设有第二固定槽，封闭盖外侧壁设有与第二固定槽相配合的第二固定块。
13.本实用新型的有益效果包括：
14.1、将场效应管主体放入到外壳内并使场效应管主体上的引脚穿过通孔并从场效应管主体内伸出，冷却介质可通过进液孔进入到冷却介质通道内，快速降低场效应管主体的温度，避免场效应管主体使用过程中出现过热烧毁问题，提高了场效应管主体的工作可靠性，降低了场效应管主体的安全隐患；
15.2、外壳包括第一壳体和第二壳体，第一壳体为内部中空，两端开口结构，场效应管主体设在第一外壳内部，第一壳体外侧壁绕设有冷却介质通道，第二壳体为内部中空，一端封闭，一端开口结构，第二壳体套设在第一壳体上，通孔设在第二壳体的封闭端，进液孔和排液孔设在第二壳体侧壁且分别位于冷却介质通道两端，结构简单，生产制造方便；
16.3、第一壳体与场效应管主体之间设有弹性导热套。通过弹性导热套可将场效应管主体更加牢固固定在第一壳体内，提高场效应管主体与第一壳体之间的热传递效果，从而可进一步提高场效应管主体的散热效率。
附图说明
17.图1是本实用新型实施例的一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管结构示意图；
18.图2是本实用新型实施例的一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管拆分图；
19.图3是本实用新型实施例的一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管剖视图；
20.图4是图3的a处放大图；
21.图中：1、场效应管主体；11、引脚；2、外壳；21、第一壳体；211、冷却介质通道；212、第一固定槽；213、第二固定槽；22、第二壳体；221、通孔；222、进液孔；223、排液孔；224、第一固定块；23、密封套；3、封闭盖；31、第二固定块；4、导热垫。
具体实施方式
22.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
23.如图1-4所示，本实用新型提供了一种沟槽栅极金属氧化物半导体场效应管，包括场效应管主体1、外壳2和封闭盖3，外壳1为内部中空，一端封闭，一端开口结构，场效应管主体1设在外壳2内，外壳2的封闭端设有供场效应管主体1上的引脚11从外壳2内穿出的通孔221，外壳2侧壁内部绕设有冷却介质通道211，外壳2外侧壁且位于冷却介质通道211两端分别设有进液孔222和排液孔223，外壳2的开口端设有用于将场效应管主体1固定在外壳2内的封闭盖3。
24.将场效应管主体1放入到外壳2内并使场效应管主体1上的引脚11穿过通孔221并从外壳2内伸出，冷却介质可通过进液孔222进入到冷却介质通道211内，快速降低场效应管主体1的温度，避免场效应管主体1使用过程中出现过热烧毁问题，提高了场效应管主体1的工作可靠性，降低了场效应管主体1的安全隐患。
25.需要说明的是，外壳2包括第一壳体21和第二壳体22，第一壳体22为内部中空，两端开口结构，场效应管主体1设在第一外壳21内部，第一壳体21外侧壁绕设有冷却介质通道211，第二壳体22为内部中空，一端封闭，一端开口结构，第二壳体22套设在第一壳体21上，通孔221设在第二壳体22的封闭端，进液孔222和排液孔223设在第二壳体22侧壁且分别位于冷却介质通道211两端。该种外壳2，结构简单，生产制造方便。
26.本实施例中，第二壳体22与第一壳体21之间设有用于将第二壳体22与第一壳体21之间密封的密封套23。通过密封套23可将第二壳体22与第一壳体21之间密封，防止冷却介质通道211内的冷却介质从第二壳体22与第一壳体22之间的间隙流出。
27.需要说明的是，密封套23为内部中空，两端开口结构。
28.需说明的的是，密封套23为橡胶套或硅胶套。
29.需要说明的是，密封套23侧壁设有连通冷却介质通道211与进液孔222和排液孔223的过液孔。
30.本实施例中，第一壳体21外侧壁设有第一固定槽212，第二壳体22内侧壁设有与第一固定槽212相配合的第一固定块221。通过第一固定槽212与第一固定块224配合可使第一壳体21与第二壳体22之间更加牢固连接，防止第一壳体21与第二壳体22之间松动。
31.本实施例中，第一壳体21与场效应管主体1之间设有弹性导热套4。通过弹性导热套4可将场效应管主体1更加牢固固定在第一壳体21内，提高场效应管主体1与第一壳体21之间的热传递效果，从而可进一步提高场效应管主体1的散热效率。
32.需要说明的是，弹性导热套4为导热硅胶套。
33.需要说明的是，弹性导热套4为内部中空，两端开口结构。
34.本实施例中，第一壳体21内侧壁设有第二固定槽213，封闭盖3外侧壁设有与第二固定槽213相配合的第二固定块31。通过第二固定槽213与第二固定块31配合可使第一壳体21与封闭盖3之间更加牢固连接，防止第一壳体21与密封盖3之间松动。
35.具体原理：使用时，将密封套23套设在第一壳体21上，然后将第二壳体22套设在第一壳体21上，同时使第二壳体22内侧壁的第一固定块221固定在第一壳体21外侧壁的第一固定槽212，即可完成外壳2的组装，然后将弹性导热套4放入到第一外壳21内，放入完毕后，将场效应管主体1放入到弹性导热套4内，并使场效应管主体1上的引脚11穿过通孔221并从外壳2内伸出，最后将封闭盖盖在第一壳体21内，同时使封闭盖3外侧壁的第二固定块31固定在第一壳体21内侧壁的第二固定槽213内，即可完成场效应管的组装，冷却介质可通过进液孔222进入到冷却介质通道211内并从排液孔223流出，快速降低场效应管主体1的温度。
36.本实用新型的有益效果包括：将场效应管主体1放入到外壳2内并使场效应管主体1上的引脚11穿过通孔221并从外壳2内伸出，冷却介质可通过进液孔222进入到冷却介质通道211内，快速降低场效应管主体1的温度，避免场效应管主体1使用过程中出现过热烧毁问题，提高了场效应管主体1的工作可靠性，降低了场效应管主体1的安全隐患。
37.以上所述本实用新型的具体实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何根据本实用新型的技术构思所做出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围内。