一种掩膜版承载盒的制作方法

1.本实用新型涉及掩膜版技术领域，具体而言，涉及一种掩膜版承载盒。


背景技术：

2.如图1所示，为现有技术掩膜版，掩膜版是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上。掩模的性能直接决定了光刻工艺的质量，而掩膜版并非一次性产品，因此，在不使用时需要通过专用承载盒进行存放，而承载盒往往在长时间使用后，承载盒之间的缝隙会过大，进而灰尘会进入承载盒的内部，掉落至掩膜版上；
3.因此，设计一种密封效果好的掩膜版承载盒是必要的。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种掩膜版承载盒，以解决上述问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种掩膜版承载盒，包括：承载盒，镜像设置在所述承载盒外壁上的铰链，设置在所述铰链一侧的承载盖；所述承载盒的内部设置有掩膜版本体；所述承载盒的侧壁上设置有调节部，所述承载盖的侧壁上设置有拼接部；其中所述承载盖盖在所述承载盒上时，所述拼接部能够盖在所述调节部上。
6.进一步的，所述拼接部包括设置在所述承载盖侧壁上的上连接片，开设在所述上连接片外壁上的上开槽；其中所述承载盖盖在所述承载盒上时，所述上连接片能够盖在所述调节部上。
7.进一步的，所述拼接部还包括开设在所述上开槽端面上的卡槽；其中所述上连接片盖在所述调节部上后，所述调节部能够卡入所述卡槽的内部。
8.进一步的，所述调节部包括设置在所述承载盒侧壁上的下连接片，开设在所述下连接片外壁上的下开槽，以及设置在所述下开槽内部的调节板；其中所述上连接片盖在所述下连接片上时，所述上连接片与所述下连接片能够将所述调节板包裹。
9.进一步的，所述调节部还包括等间距设置在所述调节板外壁上的调节块，设置在所述下开槽内壁上的齿块，以及设置在所述调节板外壁顶端的卡块，且所述卡块能够在所述调节板上伸缩；其中所述上连接片与所述下连接片将所述调节板包裹后，推动所述调节板，所述调节板能够朝向所述承载盒的内部滑动。
10.进一步的，所述承载盒的边缘位置处开设有密封槽，所述承载盖的边缘位置处设置有密封条；其中所述承载盖盖在所述承载盒上时，所述密封条能够卡入密封槽的内部。
11.进一步的，所述密封槽的一侧开设有开槽，且所述开槽与所述下连接片平行；其中推动所述调节板，所述调节板能够抵触所述密封条朝向所述承载盒的内部滑动。
12.相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：通过将掩膜版本体放置在承载盒的内部，在对掩膜版进行存放时，可以将承载盖盖在承载盒上，此时的拼接部与调节部之间相互贴合，进而能够起到对承载盒密封的效果，防止了灰尘从承载盒与承载盖之
间的缝隙中进入；
13.并且，将承载盖闭合在承载盒上时，通过推动调节部，调节部能够朝向承载盒的内部伸入，在此过程中，调节部挤压密封条，使得密封条紧绷，防止没能完全进入密封槽中的密封条也能滑落至密封槽中。
附图说明
14.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
15.图1示出了本实用新型的一种掩膜版承载盒立体图；
16.图2示出了本实用新型的图1中a处结构放大图；
17.图3示出了本实用新型的铰链立体图。
18.图中
19.承载盒1、密封槽11、开槽12；
20.承载盖2、密封条21；
21.拼接部3、上连接片31、上开槽311、卡槽312；
22.调节部4、下连接片41、下开槽411、齿块412、调节板42、调节块421、卡块422；
23.铰链5、掩膜版本体6。
具体实施方式
24.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
25.请参阅图1-3，一种掩膜版承载盒，包括：承载盒1，铰链5，承载盖2；所述承载盒1的内部设置有掩膜版本体6；所述承载盒1的侧壁上设置有调节部4，所述承载盖2的侧壁上设置有拼接部3，因此，通过将掩膜版本体6放置在承载盒1的内部，在对掩膜版进行存放时，可以将承载盖2盖在承载盒1上，此时的拼接部3与调节部4之间相互贴合，进而能够起到对承载盒1密封的效果，防止了灰尘从承载盒1与承载盖2之间的缝隙中进入；并且，将承载盖2闭合在承载盒1上时，通过推动调节部4，调节部4能够朝向承载盒1的内部伸入，在此过程中，调节部4挤压密封条21，使得密封条21紧绷，防止没能完全进入密封槽11中的密封条21也能滑落至密封槽11中；针对以上各部件，下面进行一一详述。
26.承载盒1
27.承载盒1为设备主体，其本身是用来对掩膜版本体6进行存放的，由于承载盒1由铰链5和承载盖2共同组成，当掩膜版本体6放置在承载盒1内部后，盖上承载盖2，使得承载盖2能够盖在承载盒1上，在此过程中，能够起到对掩膜版本体6存放的效果；
28.而承载盒1上开设有密封槽11，承载盖2上设置有密封条21，当承载盖2盖在承载盒1上后，密封条21能够卡入密封槽11中，以实现密封的效果，防止了灰尘进入承载盒1的内部。
29.拼接部3
30.拼接部3本身是设置在承载盖2侧壁上的，通过在承载盒1上安装拼接部3，当承载盖2盖在承载盒1上时，拼接部3能够起到对整个承载盒1固定限位的效果；
31.下面具体说明所述拼接部3的结构，所述拼接部3包括：设置在所述承载盖2侧壁上
的上连接片31，开设在所述上连接片31外壁上的上开槽311；通过将承载盖2盖在承载盒1上，此时的上连接片31能够与调节部4相互接触，实现了将承载盒1盖上的效果；
32.其中，所述拼接部3还包括开设在所述上开槽311端面上的卡槽312，当上连接片31与调节部4相接触后，调节部4能够进入卡槽312的内部，起到限位的效果，防止了承载盖2盖在承载盒1上后，会有轻微的位移。
33.调节部4
34.调节部4是固定在承载盒1侧壁上的，其本身调节上连接片31之间相互适配，其本身的作用是承载盖2盖在承载盒1上后，通过调节部4起到调节的效果；
35.下面具体说明所述调节部4的结构，所述调节部4包括：设置在所述承载盒1侧壁上的下连接片41，开设在所述下连接片41外壁上的下开槽411，以及设置在所述下开槽411内部的调节板42；当上连接片31盖在下连接片41上后，两者之间能够将调节板42给包住，并且通过推动调节板42，调节板42能够在下连接片41上滑动调节，在此过程中，调节板42能够从开槽12处挤压密封条21，使得密封条21处于紧绷状态，进而将没完全进入密封槽11中的密封条21给完全抵入，实现良好密封的效果；
36.其中，所述调节部4还包括等间距设置在所述调节板42外壁上的调节块421，设置在所述下开槽411内壁上的齿块412，以及设置在所述调节板42外壁顶端的卡块422，且所述卡块422能够在所述调节板42上伸缩，由于调节板42与下连接片41之间呈齿块412与调节块421啮合设计，因此，调节板42在滑动结束后，能够就地停在当前位置，不会出现回退的现象，并且，上连接片31在刚与下连接片41接触时，下连接片41上的卡块422也能直接卡入卡槽312中，起到水平限位的效果，防止了将承载盖2盖上后出现松动而发生摇晃的现象。
37.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。