一种针顶晶圆转移装置的制作方法

文档序号:35484719发布日期:2023-09-16 22:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:包括晶圆承载组件(41)、晶圆转移组件(42)、检测组件(43)及转移组件(44),其中,

2.根据权利要求1所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述晶圆承载组件(41)包括承载部件、承载旋转部件、承载盘(416)及第一凸环(4111),其中,所述承载部件竖直设置;所述承载盘(416)竖直设置在承载部件的一侧,且与承载部件的侧壁沿竖直平面方向可转动地连接;所述承载旋转部件设置在承载部件上,且输出端与承载盘(416)连接,以便驱动承载盘(416)旋转运动;所述承载盘(416)上开设有圆形通槽;所述第一凸环(4111)沿着圆形通槽的边沿设置在承载盘(416)上,并向外凸起;所述承载载盘竖直插设在承载盘(416)上,并经承载盘(416)固定,第一凸环(4111)向外顶起承载载盘的承载平面,使承载平面张紧。

3.根据权利要求2所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述承载部件包括承载支架(411)、承载升降电机(412)及承载座(413),其中,所述承载支架(411)竖直设置;所述承载升降电机(412)竖直设置在承载支架(411)上,且输出端朝上设置;所述承载座(413)沿竖直方向可滑动地连接在承载支架(411)的侧壁上,并通过丝杆及丝杆座与承载升降电机(412)的输出轴连接,承载升降电机(412)驱动承载座(413)升降运动;所述圆形通槽贯穿承载座(413)的侧壁。

4.根据权利要求3所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述承载盘(416)靠近承载座(413)的一侧设有圆形齿轮(417);所述承载旋转部件包括承载旋转电机(414)、承载旋转齿轮(415)及承载旋转带(418),其中,所述承载旋转电机(414)设置在承载座(413)的一侧壁上,且输出轴穿过承载座(413)延伸至承载座(413)的另一侧;所述承载旋转齿轮(415)套设承载旋转电机(414)的输出轴上;所述承载旋转带(418)套设在圆形齿轮(417)及承载旋转齿轮(415)上,并与圆形齿轮(417)及承载旋转齿轮(415)啮合连接,承载旋转齿轮(415)旋转时通过承载旋转带(418)驱动圆形齿轮(417)带动承载盘(416)旋转运动。

5.根据权利要求2所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述承载盘(416)上设有至少两个第一磁吸块(419),至少两个第一磁吸块(419)布设于第一凸环(4111)的外沿,以便吸附固定承载载盘;所述承载盘(416)的侧壁上开设有内凹的安装槽,安装槽内嵌设固定有第一感应器(4110),以便感应检测承载载盘;所述承载盘(416)的下部设有向外水平延伸的支台(4112),竖直插设的承载载盘经支台(4112)承载支撑。

6.根据权利要求1所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述检测组件(43)包括检测驱动部件、检测部件及承载头(439),其中,所述检测驱动部件设置在晶圆承载组件(41)的侧部,并在水平面内沿纵向及横向方向输出动力;所述检测部件设置在检测驱动部件的输出端上,经检测驱动部件驱动;所述承载头(439)设置在检测驱动部件的输出端上,并位于检测部件与晶圆承载组件(41)之间,承载头(439)的端面贴紧晶圆承载组件(41),以便晶圆转移时抵住晶圆承载组件(41)上的承载载盘。

7.根据权利要求6所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述检测驱动部件包括检测直线模组(431)、检测底座(432)、检测气缸(433)及检测滑座(434),其中,所述检测直线模组(431)水平设置在晶圆承载组件(41)的侧部;所述检测底座(432)设置在检测直线模组(431)上,并与检测直线模组(431)的输出端连接;所述检测气缸(433)沿垂直于检测直线模组(431)方向设置在检测底座(432)上;所述检测滑座(434)可滑动地设置在检测底座(432)上,并与检测气缸(433)的输出端连接,检测气缸(433)驱动检测滑座(434)直线运动。

8.根据权利要求7所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述检测部件包括检测相机(435)、光源(436)及光源盒(437),其中,所述检测相机(435)水平设置在检测滑座(434)上,其镜头方向朝晶圆承载组件(41)方向设置;所述光源盒(437)设置在检测滑座(434)上,并位于检测相机(435)的镜头外侧;所述光源(436)包括至少两个,至少两个光源(436)设置在光源盒(437)的侧部,且其射光方向朝晶圆承载组件(41)设置;所述检测滑座(434)靠近晶圆承载组件(41)一端设有竖支板(438),竖支板(438)上开设有通孔;所述承载头(439)水平设置在竖支板(438)的侧壁上,并与通孔对应设置,承载头(439)为透明材质,以便检测相机(435)透过通孔及承载头(439)拍摄晶圆转移组件(42)上转移载盘上的晶圆;所述晶圆转移组件(42)包括转移承载部件及转移承载座(423),其中,所述转移承载部件竖直设置,并输出向上的动力;所述转移承载座(423)竖直连接在转移承载部件的输出端上,其上开设有圆形通槽。

9.根据权利要求8所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述转移承载部件包括转移支座(421)及第一转移电机(422),其中,所述转移支座(421)竖直设置;所述第一转移电机(422)设置在转移支座(421)上,且输出端朝上设置;所述转移承载座(423)沿竖直方向可滑动地连接在转移支座(421)上,且与第一转移电机(422)的输出端连接,经第一转移电机(422)驱动而升降运动;所述转移承载座(423)靠近晶圆承载组件(41)一侧的侧壁上设有载板承载环(424),载板承载环(424)设置于转移承载座(423)圆形通槽的外侧,载板承载环(424)上内嵌有至少两个第二磁吸块(426),以便吸附固定转移载盘;所述载板承载环(424)的下部设有向外凸起的承载台阶(427),以便支撑转移载盘;所述载板承载环(424)上内嵌有第二感应器(428),以便感应是否插装转移载盘;所述载板承载环(424)上设有第二凸环(425),第二凸环(425)沿转移承载座(423)的圆形通槽边沿设置,并向外凸起,载板承载环(424)上吸附的转移载盘经第二凸环(425)顶推张紧。

10.根据权利要求9所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述转移组件(44)包括转移驱动部件及转移部件,其中,所述转移部件设置在晶圆转移组件(42)的侧部,并在水平面内沿纵向及横向方向输出动力;所述转移部件设置在转移驱动部件的输出端上,并朝晶圆承载组件(41)方向来回直线运动,以便将晶圆转移组件(42)上转移载盘上的晶圆顶推转移至晶圆承载组件(41)上的承载载盘上;所述转移驱动部件包括转移直线模组(441)、转移支座、转移气缸及转移滑座(442),其中,所述转移直线模组(441)水平设置在晶圆转移组件(42)的侧部;所述转移支座水平连接在转移直线模组(441)的输出端上;所述转移气缸沿垂直于转移直线模组(441)方向设置在转移支座上;所述转移滑座(442)沿转移气缸方向可滑动地设置在转移支座上,并与转移气缸的输出端连接。

11.根据权利要求10所述的一种针顶晶圆转移装置,其特征在于:所述转移部件包括第二转移电机(443)、转移轴(444)、转移座(445)及转移帽(446),其中,所述第二转移电机(443)设置在转移滑座(442)上;所述转移轴(444)水平连接在第二转移电机(443)的输出端上,并经第二转移电机(443)驱动而来回直线运动;所述转移座(445)设置在第二转移电机(443)的外侧,所述转移轴(444)穿过转移座(445)朝晶圆承载组件(41)方向延伸;所述转移帽(446)连接在转移座(445)的端部,转移帽(446)内水平设有顶针,顶针与所述转移轴(444)连接;所述转移帽(446)的端面设有针孔,针孔的周围布设有至少两个吸孔;所述顶针经转移轴(444)驱动而穿过针孔抵推转移晶圆,吸孔从周沿吸附固定转移载盘。


技术总结
本技术公开了一种针顶晶圆转移装置,包括晶圆承载组件、晶圆转移组件、检测组件及转移组件,晶圆承载组件及晶圆转移组件分别竖直设置,且两者间隔设置;晶圆承载组件内竖直插设有承载载盘;承载载盘及转移载盘的中部为圆形承载面,圆形承载面用于承载晶粒;转移组件水平设置在晶圆转移组件的外侧,转移组件从外侧朝晶圆转移组件方向来回直线运动,并抵住转移载盘,将转移载盘上的晶粒抵推至承载载盘上;检测组件水平设置在晶圆承载组件的外侧,检测组件从外侧检测转移载盘上的晶圆,并从外侧抵住承载载盘。本技术采用竖向间隔插装转移载盘及承载载盘,实现载盘的自适应位置角度调整,通过直推顶刺实现晶圆转移,有效地提升晶圆转移效率。

技术研发人员:郑灿升,王勇,管宏明,韩飞
受保护的技术使用者:深圳市优界科技有限公司
技术研发日:20221213
技术公布日:2024/1/14
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