一种静电离子阱及其制作方法与质谱仪与流程

文档序号:33889834发布日期:2023-04-21 01:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种静电离子阱,其特征在于,包括对称装配的第一静电离子阱层和第二静电离子阱层;

2.根据权利要求1所述的静电离子阱,其特征在于,所述多个电极包括沿所述绝缘材质圆盘的径向方向由外至内设置的用于形成离子进入通道的第一电极组、用于控制离子进入离子阱状态的门电极以及用于形成离子阱的第二电极组;

3.根据权利要求1所述的静电离子阱,其特征在于,所述绝缘材质圆盘由绝缘且不放气的材料制备而得;

4.根据权利要求1-3任一项所述的静电离子阱,其特征在于,所述静电离子阱用于超高真空环境下;

5.如权利要求1-4任一项所述的静电离子阱的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:按预设结构制作所述静电离子阱;

6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述绝缘材质圆盘通过开模烧制而成;

7.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,设置引线包括以下方式:打孔埋线、贯穿螺钉、开侧槽压线或打孔焊接;

8.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述金属膜的设置方式包括:采用先在无需设置金属膜的区域制作掩膜,随后至少对需要设置金属膜的区域制备金属膜,最后去除所述掩膜的方式;

9.一种质谱仪,其特征在于,包括权利要求1-4任一项所述的静电离子阱。

10.根据权利要求9所述的质谱仪,其特征在于,当进入离子进入通道的离子需要进入离子阱时,门电极的电压低于所述离子的动能;当离子进入离子阱后,门电极的电压上升至高于所述离子的动能。


技术总结
本发明公开了一种静电离子阱及其制作方法与质谱仪,属于质谱仪器技术领域。该静电离子阱包括对称装配的第一静电离子阱层和第二静电离子阱层;第一静电离子阱层和第二静电离子阱层均包括绝缘材质圆盘、多个电极以及引线;绝缘材质圆盘具有多个同心槽,相邻两个同心槽之间形成同心环状突起,每个同心环状突起表面均设有金属膜以形成单个电极,引线设置于绝缘材质圆盘的表面或内部以用于对电极施加电压。该静电离子阱适用于超高真空和高电压等环境,热稳定性高,分辨率高,检测结果准确度高。其制作方法简单,具有较高的精度,并能降低加工残留物,提高产品的稳定性。具有上述静电离子阱的质谱仪具有较佳的应用前景。

技术研发人员:陈政阁,李杨威,黄志锰,黄奇,王俊恬
受保护的技术使用者:广东省麦思科学仪器创新研究院
技术研发日:
技术公布日:2024/1/11
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