一种P型硅片的扩散方法及其制备的PERC太阳能电池片与流程

文档序号:34737356发布日期:2023-07-12 21:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种p型硅片的扩散方法,其特征在于,包括以下扩散步骤:

2.根据权利要求1所述的p型硅片的扩散方法,其特征在于,在步骤s1中,所述制绒后的p型硅片具有金字塔绒面结构,所述金字塔的角锥度为45-60°。

3.根据权利要求1所述的p型硅片的扩散方法,其特征在于,在步骤s2中,所述氮气的流量为500-1000sccm,所述氧气的流量为1000-2000sccm,所述二氧化硅氧化层的厚度为2-5nm。

4.根据权利要求1所述的p型硅片的扩散方法,其特征在于,在步骤s3中,所述氮气的流量为200-500sccm,所述氧气的流量为500-900sccm,所述磷源的流量为1000-1500sccm;其中扩散后的所述p型硅片表面的磷掺杂浓度为3.0-3.5e+20cm-3。

5.根据权利要求1所述的p型硅片的扩散方法,其特征在于,在步骤s4中,所述磷原子浓度为高斯分布;所述升温时间为6-10min。

6.根据权利要求1所述的p型硅片的扩散方法,其特征在于,在步骤s4和步骤s5中,所述氮气的流量为1000-3000sccm。

7.根据权利要求1所述的p型硅片的扩散方法,其特征在于,在步骤s5中,扩散后的所述p型硅片的方阻为180-220ω。

8.一种perc太阳能电池片,其特征在于,包括由权利要求1-7任一项所述的p型硅片的扩散方法制成的p型硅片。

9.根据权利要求8所述的perc太阳能电池片,其特征在于,将所述perc太阳能电池片通过asic的pl检测仪进行pl检测。


技术总结
本发明涉及一种P型硅片的扩散方法及其制备的PERC太阳能电池片,包括以下扩散步骤:S1:预处理;将制绒后的P型硅片置于管式扩散炉内,升温至760‑780℃进行加热抽真空处理;S2:氧化所述P型硅片;设置炉管压力为50‑80mbar的低压压力,通入氮气、氧气在所述P型硅片的表面进行预氧化处理,以形成二氧化硅氧化层;S3:通源沉积;S4:高温推进;升高炉管温度至850‑870℃进行无源推进;S5:恒温有限源推进。本发明具有的优点是大大减少了成品电池片PL“花篮印”降级比例,获得了更好的工艺效果及更高的产品合格率。

技术研发人员:彭平,景彦姣,高志强,李旭杰,夏中高,王振锋
受保护的技术使用者:平煤隆基新能源科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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