一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台

本发明涉及扫面电镜。具体地说是一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台。

背景技术：

1、扫描电镜能够实现对物质微观形貌表征的目的，当一次对多个样品逐一观察时，由于样品高度存在一定差异，导致需要针对每一个样品调整焦距，当一次对多个样品同步观察时，同样的，由于各个样品的高度存在差异，也就导致了在焦距之外的样品表面出现成像模糊的问题，无法保证成像质量；其次在对多个样品进行逐一观察时，待观察的样品可能会受到电子束的影响，在一定程度上，待观察样品的表面会产生损伤，尤其是越靠后观察的样品受到影响的时间越长，加剧产生损伤的可能性。

技术实现思路

1、为此，本发明所要解决的技术问题在于提供一种能够自动调整焦距满足针对多个样品的不同观察需求，并保护待观察样品的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台。

2、为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，包括底座、安装在底座上的驱动机构和承载板，所述承载板固定安装在所述驱动机构的驱动端上，所述承载板的外侧设置有保护罩，所述承载板的上方设置有顶板，所述顶板上开设有缺口，所述保护罩的一端与底座固定连接，所述保护罩的另一端与顶板固定连接；所述承载板上安装有缸筒，所述缸筒内滑动密封安装有活塞体，所述活塞体的边沿处沿其轴向固定安装有支撑杆，所述支撑杆的顶端抵顶在顶板的内侧壁面上；所述缸筒的开口端上设置有活动盖板，所述承载板内安装有盖板驱动机构，所述盖板驱动机构与支撑杆驱动连接，所述盖板驱动机构的动力输出端上安装有倾斜驱动机构，所述盖板驱动机构通过倾斜驱动机构与所述活动盖板驱动连接；所述缸筒的侧壁上安装有锁定机构，所述锁定机构通过联动触发组件与活动盖板传动连接；所述锁定机构上通过拉绳连接有限位卡块，所述限位卡块安装在盖板驱动机构内控制盖板驱动机构启动。

3、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述承载板内开设有安装腔，所述缸筒的顶端插入所述安装腔内，所述安装腔的两侧壁面上均开设有驱动槽，两个所述驱动槽内均安装有盖板驱动机构。

4、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述盖板驱动机构包括光轴、同轴固定连接在光轴两端的丝杆，所述光轴的中部上同轴固定连接有驱动轮，所述驱动轮的表面与支撑杆的侧壁贴合，驱动轮两侧的所述光轴的表面上均滑动安装有滑动块，两端的所述丝杆上均螺纹连接有驱动块，所述滑动块和所述驱动块均滑动配合在驱动槽内，位于驱动轮同一侧的所述滑动块和所述驱动块之间固定连接有拉伸弹簧，所述驱动槽的两端内均固定安装有支撑座，所述丝杆的端部与所述支撑座转动连接；两个所述滑动块相互靠近的侧壁面上均固定安装有所述倾斜驱动机构，所述驱动槽的底壁上位于滑动块的另一侧处开设有限位槽，所述限位卡块滑动配合在限位槽内并挡住滑动块。

5、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述活动盖板由两个相对设置有半圆板组成，两个半圆板盖在缸筒的端部上，所述半圆板的两侧上均固定连接有第一滑块和第二滑块，所述驱动槽的底壁上与第一滑块和第二滑块相对应的位置处开设有第一导向槽和第二导向槽，所述第一滑块插入所述第一导向槽内，所述第二滑块插入所述第二导向槽内，所述第二导向槽靠近驱动槽的一端内连接有活动挡板，所述驱动槽的底壁上位于第一导向槽远离第二导向槽的一侧上固定安装有挡块；所述第一滑块远离第二滑块的一侧壁面为圆弧面，所述挡块与所述第一滑块相对应的一侧上开设有与圆弧面匹配的圆弧凹槽。

6、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述倾斜驱动机构包括固定板、拉板和压杆，所述固定板的一端与滑动块的侧壁固定连接，所述拉板滑动安装在固定板的底壁上，所述拉板的底部上设置有宽度大于第一滑块的推拉槽，所述拉板的侧壁上开设有卡槽，所述压杆铰接在所述卡槽内，所述压杆远离滑动块的一端上固定连接有连接绳，所述连接绳的另一端与滑动块固定连接，所述压杆靠近滑动块的一端位于第二滑块的正上方。

7、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述联动触发组件包括驱动销、连动杆、驱动杆和卡销，所述承载板内开设有横向槽和竖向槽，所述横向槽的一端与驱动槽连通，所述横向槽的另一端与竖向槽连通，所述竖向槽的另一端贯穿承载板的底壁，所述驱动销贯穿安装在挡块的顶部上，所述连动杆铰接在横向槽内，所述驱动杆滑动安装在竖向槽内，所述驱动销的顶端抵顶在连动杆的一端底壁上，所述驱动杆的顶端抵顶在连动杆的另一端底壁上，所述驱动杆的底端穿出竖向槽；位于一个盖板驱动机构同侧的两个所述驱动杆底端固定连接有同一个横向杆，所述卡销固定安装在所述横向杆的顶部中间，所述卡销插入所述锁定机构内。

8、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述锁定机构包括壳体、导向杆、压缩弹簧、连接杆、连接板和锁定杆，所述壳体固定安装在缸筒的侧壁上，所述导向杆同轴固定安装在壳体内，所述导向杆上滑动安装有压板，所述压缩弹簧套在导向杆上，所述压缩弹簧的一端抵顶在压板上，所述压缩弹簧的另一端抵顶在壳体的内侧壁面上，所述缸筒的侧壁内开设有滑动腔，所述连接板滑动安装在滑动腔内，所述连接杆的一端与所述压板的侧壁固定，所述连接杆的另一端插入滑动腔内并与连接板固定连接，所述锁定杆的一端铰接在所述连接板的侧壁上，所述锁定杆的另一端贯穿缸筒的内壁并朝向活塞体的侧面设置，所述锁定杆靠近活塞体的一端倾斜向下设置；所述卡销贯穿壳体并挡住压板；所述缸筒内开设有孔道，所述孔道连通滑动腔和驱动槽，所述拉绳穿入孔道内，所述拉绳的一端与连接板固定连接；所述活塞体、锁定杆和承载板均由导电材料制成，所述缸筒和活动盖板由绝缘材料制成。

9、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述缸筒的顶部向下开设有滑孔，所述半圆板的底壁上通过铰接轴铰接有限位杆，所述限位杆滑动配合在滑孔内，所述铰接轴的轴线与半圆板的运动方向垂直。

10、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述顶板上的缺口宽度大于缸筒的外径，在承载板转动方向上：缺口的前侧壁上安装有导向复位板，所述导向复位板的另一侧向上翘起。

11、上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述转动机构包括固定套、转轴和驱动电机，所述固定套固定安装在所述底座的顶部上，所述转轴转动安装在固定套内，所述转轴的顶端与承载板的底部同轴固定连接，所述驱动电机固定安装在固定套的一侧上，且所述驱动电机的动力输出轴与转轴传动连接。

12、本发明的技术方案取得了如下有益的技术效果：

13、1、本发明，通过设置活动盖板和盖板驱动机构，能够利用缸筒内的气体作为动力，自动对样品表面的高度进行定位，实现样品表面位置处于焦距内，对于多个样品逐一观察时，能够保证每个样品的表面处于焦距内，对多个样品同步观察时，能够保证多个样品的表面均处于焦距内，从而避免了反复调节焦距的麻烦，并且保证成像质量。

14、2、本发明，通过设置绝缘材质的缸筒和活动盖板，最大程度的保证待测样品不受电子束的影响，从而避免待测样品表面损伤，在对某一样品进行检测时，锁定杆不仅能够保证活塞体不会向上运动，还能够实现电路连接，可以对样品进行电信号采集。

15、3、本发明，通过设置倾斜驱动机构，能够在拉动半圆板打开时，使半圆板相对的一侧向上翘起，从而避免半圆板打开时与样品的表面摩擦。

16、4、本发明，当样品的表面存在微量的倾斜或不平整的情况时，由于半圆板的上移过程中无法倾斜，避免了样品使半圆板倾斜的问题，保证半圆板打开顺畅。