一种高压平面可控硅生产设备及其使用方法与流程

本发明涉及可控硅生产，具体为一种高压平面可控硅生产设备及其使用方法。

背景技术：

1、可控硅制造可分为两部分，芯片制造和封装制造，而芯片制造又可以分为“圆片”制造技术和“方片”制造技术，封装制造技术可以分为“塑料封装”技术、“陶瓷封装”技术和“金属封装”技术，可控硅分单向可控硅和双向可控硅两种。双向可控硅也叫三端双向可控硅，简称triac。双向可控硅在结构上相当于两个单向可控硅反向连接，这种可控硅具有双向导通功能，可控硅是一种大功率电器元件，也称晶闸管，它具有体积小、效率高、寿命长，现有的高压平面可控硅生产设备的可控硅不良品无法快速清理需要消耗较大体力将其拉出加大人工劳动。

2、现有的高压平面可控硅生产设备存在的缺陷是：

3、1、专利文件cn101901763b公开了可控硅生产工艺，“包括氧化、光刻穿通环、进行穿通扩散、短基区扩散和光刻阴极步骤，其特征是光刻穿通环与进行穿通扩散步骤之间增加了蒸铝、合金和保留合金层步骤。本发明的优点是：1、因为铝在硅中扩散的速率要远远大于硼在硅中的扩散速率。用铝作为穿通扩散的杂质源，可以使得4时硅片(250-260μm)穿通扩散的时间小于180个小时。2、因为铝扩散的杂质浓度较低，这一方法还能有效的提高反向电压。3、横向扩散距离在65-70％，而正常硼扩散的为80％，此扩散方法有效的提高了芯片面积的有效利用率，可减小芯片面积”，但是现有的高压平面可控硅生产设备的可控硅不良品无法快速清理需要消耗较大体力将其拉出加大人工劳动；

4、2、专利文件cn104402415a公开了一种可控硅深径产品的生产方法，“其通过原料球磨、造粒、匀化、筛选、成型、车加工、烧结、清洗、平面磨、烘干、上釉和烧釉得到产品圆环形陶瓷成品。本发明操作简单，在原料中添加硅酸锆，可降低陶瓷粉料在成型过程中的摩擦力，进一步提高陶瓷胚体的密度和密度均匀性。通过等静压成型的陶瓷胚体经车加工制成所需要的形状，减少加工过程中陶瓷胚体与铁质模具接触，避免模具上微小的铁杂质进入产品，造成不良效果”，但是现有的高压平面可控硅生产设备无法将可控硅不良品自动弹出使产品整体质量下降；

5、3、专利文件cn102790083b公开了一种改进的可控硅结构，“包括台面槽、穿通环、长基区、正面短基区、背面短基区、阴极区和门极区，其特征在于：阴极区和门极区之间开有阴极门极间槽，阴极门极间槽内填充有玻璃粉。生产上述可控硅结构的生产工艺，包括双面抛光片步骤、氧化步骤、光刻穿通、穿通扩散、短基区扩散、光刻阴极、阴极扩散、光刻台面槽、化学腐蚀台面槽、光刻引线孔、正面蒸铝、铝反刻、铝合金、背面喷砂、背面金属化、芯片测试、划片包装步骤，在化学腐蚀台面槽和光刻引线步骤之间增加了光刻阴极门极间槽步骤、化学腐蚀阴极门极间槽步骤和玻璃钝化步骤。本发明的优点是：耐压高，漏电低，也不存在反型条件和表面烧毁现象，大大提高了可控硅的可靠性”，但是现有的高压平面可控硅生产设备在可控硅生产完成后无法快速干燥容易有水分残留影响使用；

6、4、专利文件cn101339955b公开了一种门极灵敏触发单向可控硅芯片，“它提高了产品的温度特性，改善了触发电流igt的批一致性。本发明还提供生产门极灵敏触发单向可控硅芯片的方法，该方法工艺简单，加工方便，并改善了产品的性能。门极灵敏触发单向可控硅芯片，包括门极电极g、阴极电极k、阳极电极a、n+发射区、n型长基区、p型短基区和p型阳极区，所述芯片周围蚀刻有外沟槽，其特征是在芯片内部设有一段内沟槽，所述内沟槽与外沟槽之间构成一个长条形的电阻臂，所述电阻臂利用n+发射区下的p型短基区形成一个阻值为2～40kω的扩散电阻rgk，所述扩散电阻rgk的一端通过芯片的内引线与门极电极g连接，另一端通过芯片的内引线与阴极电极k连接”，但是现有的高压平面可控硅生产设备在可控硅生产装置的进料口不使用时污渍容易进入影响可控硅的生产。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种高压平面可控硅生产设备及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的缺少清理功能、缺少检测功能、缺少烘干结构、缺少防污结构的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高压平面可控硅生产设备，包括外壳、支架、进料口和传输组件，所述外壳的内壁安装有支架，所述外壳的外壁设有进料口，所述外壳的外壁安装有控制组件；

3、所述支架的外壁安装有第一支杆，所述第一支杆的外壁安装有滚轮，所述外壳的外壁贯穿安装有收集盒，且收集盒与滚轮的外壁接触，所述收集盒的外壁安装有拉把，所述收集盒的底部设有第一开口，所述外壳的内壁安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁安装有螺纹套，所述螺纹套的外壁安装有卡头，所述外壳的内壁安装有滑杆；

4、所述滑杆的外壁安装有滑套，且卡头的外壁与滑套的外壁连接。

5、优选的，所述传输组件的外壁安装有支撑盒，外壳的内壁安装有第一支盒，外壳的外壁安装有处理器。

6、优选的，所述支撑盒的内壁安装有第二电机，第二电机的输出端安装有收集轮，收集轮的外壁安装有拉绳，支撑盒的外壁贯穿安装有第一套筒，第一套筒的内壁贯穿安装有第二支杆，第二支杆的一端安装有支撑板，第二支杆的一端安装有推板，且拉绳的一端与支撑板的外壁连接，支撑板的外壁安装有第二弹簧，且第二弹簧的一端与支撑盒的内壁连接，外壳的内壁安装有检测头。

7、优选的，所述第一支盒的内壁安装有第三支杆，第三支杆的外壁安装有风机，第一支盒的内壁安装有加热丝，第一支盒的内壁安装有支块，第一支盒的内壁安装有滤网，第一支盒的外壁贯穿安装有拉板，且拉板的外壁与滤网的一端连接，第一支盒的顶部贯穿安装有第一支筒，且第一支筒的一端延伸至外壳的顶部，第一支盒的底部设有第三开口。

8、优选的，所述卡头的一端延伸至第一开口的内部，检测头通过导线与处理器连接，加热丝位于风机的下方。

9、优选的，所述外壳的顶部安装有第二支盒，外壳的底部安装有支撑块。

10、优选的，所述第二支盒的顶部贯穿安装有第三套筒，第三套筒的内壁贯穿安装有第五支杆，第五支杆的一端安装有限位块，第二支盒的底部贯穿安装有第二支筒，且第二支筒的一端延伸至外壳的内部，第二支筒的内壁贯穿安装有齿条，且齿条的一端与第五支杆的一端连接，齿条的外壁安装有堵板，第二支盒的内壁安装有第三电机，第三电机的输出端安装有齿轮，且齿轮与齿条啮合。

11、优选的，所述外壳的内壁安装有可控硅生产组件，外壳的外壁安装有机门。

12、优选的，该生产装置的工作步骤如下：

13、s1、第一电机转动带动螺纹杆转动，螺纹杆转动带动螺纹套移动，螺纹套移动带动卡头移动，卡头移动带动滑套移动，滑套移动使卡头移出第一开口，此时拉动拉把带动收集盒移动，收集盒移动带动滚轮转动，滚轮转动使收集盒方便拉出将内部的可控硅不良品快速清理，实现了可控硅生产设备的可控硅不良品快速清理减少人工劳动的功能；

14、s2、检测头为摄像头外观检测，检测头检测到可控硅不良品时将控制第二电机关闭，由第二弹簧的弹力带动支撑板移动，支撑板移动拉动拉绳移动，拉绳移动使支撑板带动第二支杆移动，第二支杆移动带动推板移动，推板移动将可控硅不良品自动弹出提高产品整体质量，弹出后第二电机启动带动收集轮转动，收集轮转动带动拉绳移动，拉绳移动带动支撑板移动，支撑板移动使推板复位，实现了将可控硅不良品自动弹出提高产品整体质量的功能；

15、s3、支块的作用是为滤网提供支撑，第三支杆的作用是为风机提供支撑，风机转动将空气通过第一支筒吸入第一支盒内部，空气由滤网过滤后吹向加热丝，由加热丝将空气加热后通过第三开口吹向可控硅使其生产完成后快速干燥防止水分残留，拉动拉板带动滤网移动，滤网移动使其移出第一支盒方边对滤网进行清洗，实现了可控硅生产完成后快速干燥防止水分残留使其保持干燥的功能；

16、s4、第二支筒的作用是方便齿条的移动，第三套筒的作用是为第五支杆提供移动支撑，装料完成后第三电机转动带动齿轮转动，齿轮转动带动齿条移动，齿条移动带动第五支杆移动，第五支杆移动使齿条带动堵板移动，堵板移动将进料口堵住防止进料口不使用时污渍进入，实现了防止可控硅生产装置的进料口不使用时污渍进入的功能。

17、优选的，在所述步骤s1中还包括如下步骤：

18、s11、滚轮由第一支杆对其进行支撑，滑套通过滑杆进行移动；

19、在所述步骤s2中还包括如下步骤：

20、s21、第二支杆通过第一套筒的支撑进行移动，收集轮对拉绳进行收卷。

21、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

22、1.本发明通过安装有卡头、滚轮和收集盒，实现了可控硅生产设备的可控硅不良品快速清理减少人工劳动的效果，第一电机转动带动螺纹杆转动，螺纹杆转动带动螺纹套移动，螺纹套移动带动卡头移动，卡头移动带动滑套移动，滑套移动使卡头移出第一开口，此时拉动拉把带动收集盒移动，收集盒移动带动滚轮转动，滚轮转动使收集盒方便拉出将内部的可控硅不良品快速清理，实现了可控硅生产设备的可控硅不良品快速清理减少人工劳动的功能；

23、2.本发明通过安装有拉绳、推板和第二弹簧，实现了将可控硅不良品自动弹出提高产品整体质量的效果，检测头为摄像头外观检测，检测头检测到可控硅不良品时将控制第二电机关闭，由第二弹簧的弹力带动支撑板移动，支撑板移动拉动拉绳移动，拉绳移动使支撑板带动第二支杆移动，第二支杆移动带动推板移动，推板移动将可控硅不良品自动弹出提高产品整体质量，弹出后第二电机启动带动收集轮转动，收集轮转动带动拉绳移动，拉绳移动带动支撑板移动，支撑板移动使推板复位，实现了将可控硅不良品自动弹出提高产品整体质量的功能；

24、3.本发明通过安装有风机、加热丝和滤网，实现了可控硅生产完成后快速干燥防止水分残留使其保持干燥的效果，支块的作用是为滤网提供支撑，第三支杆的作用是为风机提供支撑，风机转动将空气通过第一支筒吸入第一支盒内部，空气由滤网过滤后吹向加热丝，由加热丝将空气加热后通过第三开口吹向可控硅使其生产完成后快速干燥防止水分残留，拉动拉板带动滤网移动，滤网移动使其移出第一支盒方边对滤网进行清洗，实现了可控硅生产完成后快速干燥防止水分残留使其保持干燥的功能；

25、4.本发明通过安装有齿条、堵板和第五支杆，实现了防止可控硅生产装置的进料口不使用时污渍进入的效果，第二支筒的作用是方便齿条的移动，第三套筒的作用是为第五支杆提供移动支撑，装料完成后第三电机转动带动齿轮转动，齿轮转动带动齿条移动，齿条移动带动第五支杆移动，第五支杆移动使齿条带动堵板移动，堵板移动将进料口堵住防止进料口不使用时污渍进入，实现了防止可控硅生产装置的进料口不使用时污渍进入的功能。