1.一种两端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，包括：接地电极、接地通孔电极，以及从下向上依次堆叠的背面接地金属层、衬底、衬底隔离层、相变材料层和射频传输电极层；
2.根据权利要求1所述的两端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，所述接地通孔电极位于所述接地电极靠近所述射频传输电极层的中心导带的一侧与所述接地电极的中轴线之间；所述接地通孔电极的孔径小于所述接地电极的宽度的二分之一。
3.根据权利要求1所述的两端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，所述衬底隔离层为上表面中心区域减薄后的衬底隔离层；所述相变材料层嵌于所述衬底隔离层的减薄区域位置处，且所述相变材料层与所述衬底隔离层的上表面相平。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的两端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，还包括位于所述射频传输电极层上方的钝化层；所述钝化层覆盖两个射频传输电极的尖端以及所述相变材料层。
5.权利要求1所述两端通孔接地式相变射频开关的制备方法，其特征在于，包括：
6.一种四端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，包括：接地电极、接地通孔电极以及从下向上依次堆叠的背面接地金属层、衬底、衬底隔离层、加热层、电隔离层、相变材料层和射频传输电极层；
7.根据权利要求6所述的四端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，所述接地通孔电极位于接地电极靠近所述射频传输电极层的中心导带的一侧与所述接地电极的中轴线之间；所述接地通孔电极的孔径小于所述接地电极的宽度的二分之一。
8.根据权利要求6所述的四端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，所述衬底隔离层为上表面中心区域减薄后的衬底隔离层；所述微加热器嵌于所述衬底隔离层的减薄区域位置处，且所述微加热器与所述衬底隔离层的上表面相平。
9.根据权利要求6-8任意一项所述的四端通孔接地式相变射频开关，其特征在于，还包括位于所述射频传输电极层上方的钝化层；所述钝化层覆盖两个射频传输电极的尖端以及所述相变材料层。
10.权利要求6所述四端通孔接地式相变射频开关的制备方法，其特征在于，包括：