一种高耐压的增强型CAVET及其制备方法

文档序号:35684194发布日期:2023-10-09 01:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高耐压的增强型cavet,其特征在于,包括:衬底,具有相对设置的第一表面和第二表面;缓冲层设置于所述第一表面上;

2.根据权利要求1的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述第一电流阻挡层的掺杂浓度小于第二电流阻挡层,所述第二电流阻挡层的掺杂浓度小于第三电流阻挡层,所述电流阻挡层的掺杂浓度为1×1017cm-3~5×1017cm-3。

3.根据权利要求1的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述第一电流阻挡层的厚度大于所述第二电流阻挡层的厚度,所述第二电流阻挡层的厚度大于所述第三电流阻挡层的厚度,所述电流阻挡层的厚度为200~400nm。

4.根据权利要求1至3任一项的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,第一p型gan帽层区域、第二p型gan帽层区域和第三p型gan帽层区域均由第一掺杂浓度的p型gan帽层和第二掺杂浓度的p型gan帽层层叠而成。

5.根据权利要求4的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述第一掺杂浓度的p型gan帽层和第二掺杂浓度的p型gan帽层的厚度之和为10nm~100nm之间。

6.根据权利要求4的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,第一掺杂浓度的p型gan帽层的掺杂浓度大于第二掺杂浓度的p型gan帽层,所述p型gan帽层的掺杂浓度为1×1017cm-3~5×1017cm-3。

7.根据权利要求5或6的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述沟道层为gan沟道层,其厚度为40~50nm。

8.根据权利要求5或6的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述势垒层为algan势垒层,其厚度为10~20nm,al组分为20%~30%之间。

9.一种高耐压的增强型cavet的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

10.根据权利要求9的所述制备方法,其特征在于,所述第一电流阻挡层的掺杂浓度小于第二电流阻挡层,所述第二电流阻挡层的掺杂浓度小于第三电流阻挡层,所述电流阻挡层的掺杂浓度为1×1017cm-3~5×1017cm-3。


技术总结
本发明涉及一种高耐压的增强型CAVET及其制备方法,包括设置于衬底上的缓冲层,设置于缓冲层上的电流孔径层和对称设置于电流孔径层两侧的第一凹形电流阻挡结构和第二凹形电流阻挡结构,位于电流孔径层和凹形电流阻挡结构上的沟道层和势垒层,势垒层上设置有具有通孔的双层p型GaN帽层,通孔中设置有钝化层,第一源极和第二源极设置于势垒层的两端,p型GaN帽层和钝化层上设置有栅极,栅极与源极之间设置有钝化层,衬底的背面设置有漏极,该器件具有高击穿电压、低导通电阻和较高的阈值电压,制备方法简单、易操作。

技术研发人员:尹以安,邹炳志,张志翔
受保护的技术使用者:华南师范大学
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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