1.一种高耐压的增强型cavet,其特征在于,包括:衬底,具有相对设置的第一表面和第二表面;缓冲层设置于所述第一表面上;
2.根据权利要求1的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述第一电流阻挡层的掺杂浓度小于第二电流阻挡层,所述第二电流阻挡层的掺杂浓度小于第三电流阻挡层,所述电流阻挡层的掺杂浓度为1×1017cm-3~5×1017cm-3。
3.根据权利要求1的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述第一电流阻挡层的厚度大于所述第二电流阻挡层的厚度,所述第二电流阻挡层的厚度大于所述第三电流阻挡层的厚度,所述电流阻挡层的厚度为200~400nm。
4.根据权利要求1至3任一项的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,第一p型gan帽层区域、第二p型gan帽层区域和第三p型gan帽层区域均由第一掺杂浓度的p型gan帽层和第二掺杂浓度的p型gan帽层层叠而成。
5.根据权利要求4的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述第一掺杂浓度的p型gan帽层和第二掺杂浓度的p型gan帽层的厚度之和为10nm~100nm之间。
6.根据权利要求4的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,第一掺杂浓度的p型gan帽层的掺杂浓度大于第二掺杂浓度的p型gan帽层,所述p型gan帽层的掺杂浓度为1×1017cm-3~5×1017cm-3。
7.根据权利要求5或6的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述沟道层为gan沟道层,其厚度为40~50nm。
8.根据权利要求5或6的所述高耐压的增强型cavet,其特征在于,所述势垒层为algan势垒层,其厚度为10~20nm,al组分为20%~30%之间。
9.一种高耐压的增强型cavet的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
10.根据权利要求9的所述制备方法,其特征在于,所述第一电流阻挡层的掺杂浓度小于第二电流阻挡层,所述第二电流阻挡层的掺杂浓度小于第三电流阻挡层,所述电流阻挡层的掺杂浓度为1×1017cm-3~5×1017cm-3。