1.一种用于半导体传输系统的晶圆盒传输方法,所述半导体传输系统包括传输晶圆盒的天车、存放晶圆盒的存储库;
2.根据权利要求1所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,所述晶圆盒传输方法还包括,由所述天车传输的所述晶圆盒以第二朝向放置于所述第一承载盘,所述第二朝向为所述晶圆盒放置于所述第一承载盘时所述晶圆盒的第一表面面向存储库的朝向;所述第一承载盘底部设有第二读取装置,当所述第二读取装置读取所述晶圆盒的读取标识后,所述转运装置可顶升后移载所述晶圆盒,使所述晶圆盒通过所述搬运移载盘移载至所述第二承载盘。
3.根据权利要求2所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,所述读取标识位于所述晶圆盒的第二表面底部,其中:
4.根据权利要求3所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,所述支撑面板上设有l型支架,所述第一读取装置可固定在所述l型支架的上部支腿上,所述l型支架的部分下部支腿固定于所述支撑面板;和/或,所述l型支架的部分下部支腿与所述支撑面板可拆卸地连接,使得所述第一读取装置的安装位置可调;
5.根据权利要求2所述的晶圆盒传输方法,所述天车口还包括第一传感器和第二传感器,其特征在于,
6.根据权利要求5所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,
7.根据权利要求6所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,
8.根据权利要求7所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,
9.根据权利要求6所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,读取所述读取标识的步骤包括:
10.根据权利要求1-8任一项所述的晶圆盒传输方法,其特征在于,所述天车口还包括设置在天车口箱体上部的防止晶圆盒坠落的防护框架,