芯片及电子设备的制作方法

文档序号:35869633发布日期:2023-10-28 01:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种芯片,其特征在于,包括:衬底和器件层,所述衬底包括支撑层和散热层,所述支撑层和所述散热层沿所述芯片的厚度方向层叠连接;所述器件层层叠于所述支撑层背离所述散热层的表面;

2.根据权利要求1所述的芯片,其特征在于,多个所述第一散热缝隙还贯穿所述散热部朝向所述支撑层的表面。

3.根据权利要求2所述的芯片,其特征在于,所述支撑层设有多个第二散热缝隙,多个所述第二散热缝隙贯穿所述支撑层朝向所述散热层的表面;任意相邻的两个所述第二散热缝隙之间均形成第二散热翅片;沿所述芯片的厚度方向,多个所述第二散热翅片与多个所述第一散热翅片相对,多个所述第二散热缝隙与多个所述第二散热缝隙相对且连通。

4.根据权利要求1所述的芯片,其特征在于,至少部分所述第一散热缝隙还贯穿所述散热部的侧面。

5.根据权利要求1所述的芯片,其特征在于,所述散热部还包括连接部,所述连接部层叠于所述支撑层的表面,所述第一散热翅片连接于所述连接部背离所述支撑层的表面。

6.根据权利要求1所述的芯片,其特征在于,所述第一散热翅片包括第一散热侧面,所述第一散热侧面朝向所述第一散热缝隙,所述第一散热侧面相对所述芯片的厚度方向倾斜。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的芯片,其特征在于,所述散热层的热辐射系数大于所述支撑层的热辐射系数。

8.根据权利要求7所述的芯片,其特征在于,所述支撑层的材质包括硅,所述散热层的材质包括二氧化硅。

9.根据权利要求7所述的芯片,其特征在于,所述支撑层的材质包括硅,所述散热层的材质包括氮化硅。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的芯片,其特征在于,所述散热部为两个,两个所述散热部对称的分布于所述间隔部的两侧。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的芯片,其特征在于,沿所述芯片的厚度方向,所述散热层的厚度尺寸h1介于10微米至20微米之间。

12.根据权利要求1至6中任一项所述的芯片,其特征在于,所述第一散热缝隙的宽度尺寸k1介于5微米至12微米之间。

13.根据权利要求1至6中任一项所述的芯片,其特征在于,沿垂直于所述芯片的厚度方向的方向,所述第一散热翅片的厚度尺寸h2介于3微米至7微米之间。

14.根据权利要求1至6中任一项所述的芯片,其特征在于,所述散热层在所述支撑层的表面的正投影的面积为第一面积s1,所述散热部在所述支撑层的表面的正投影的面积为第二面积s2,所述第一面积s1和所述第二面积s2满足以下关系:0.3s1≤s2≤0.7s1。

15.根据权利要求1至6中任一项所述的芯片,其特征在于,所述衬底的材质包括硅、二氧化硅、碳化硅、氮化硅和砷化镓中至少一种。

16.一种电子设备,其特征在于,包括:电路板和权利要求1至15中任一项所述的芯片,所述芯片安装于所述电路板,且所述器件层朝向所述电路板,所述散热层背离所述电路板。


技术总结
本申请提供一种芯片及电子设备,衬底和器件层,衬底包括支撑层和散热层,支撑层和散热层沿芯片的厚度方向层叠连接;器件层层叠于支撑层背离散热层的表面;散热层包括散热部和间隔部,散热部和间隔部沿垂直于芯片的厚度方向的方向排布且连接;散热部设有多个第一散热缝隙,多个第一散热缝隙贯穿散热部背离支撑层的表面;任意相邻的两个第一散热缝隙之间均具有第一散热翅片。第一散热翅片和第一散热缝隙可以增加芯片与空气的接触面积,使得芯片可以与空气快速进行热交换,芯片可以快速高效的进行散热,进而避免芯片因温度过高而导致失效。

技术研发人员:石林,苏成帅,曲林,洪伟强,张浩然
受保护的技术使用者:荣耀终端有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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