一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法及系统与流程

文档序号:35971729发布日期:2023-11-09 12:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于:包括:

2.根据权利要求1所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,摩擦阻力为抽取气体时与真空泵壁面发生摩擦产生的阻力,通过摩擦测量仪多次测量并计算平均值获得;

4.根据权利要求3所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,泄漏气体流量为真空泵泄漏源流出的气体流量,通过氦质谱仪获取;

5.根据权利要求4所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,训练出预测真空泵的损失系数值的第一机器学习模型的方式为:

6.根据权利要求5所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,

7.根据权利要求6所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,获得实时损失系数值的方式为:将待晶圆翻转的真空泵的损失系数特征数据集合为第一特征向量,并将第一特征向量输入至第一机器学习模型,第一机器学习模型输出预测的实时损失系数值。

8.根据权利要求7所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,获得实时阻力系数值的方法为:将第一机器学习模型输出预测的实时损失系数值标记为ssx,并将待翻转晶圆的真空泵的阻力系数特征数据中的损失系数设置为ssx,将待翻转晶圆的真空泵的阻力系数特征数据集合为第二特征向量,并将第二特征向量输入至第二机器学习模型,第二机器学习模型输出预测的实时阻力系数值。

9.根据权利要求8所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于,所述初始吸力值为待晶圆翻转的真空泵的吸力值,通过预先使用的真空计获得;待翻转晶圆的真空泵输出吸力值以及晶圆质量分别通过真空计和负载传感器实时采集;

10.一种超洁净环境的机械臂吸力调节系统,用于实现权利要求1-9任一项所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法,其特征在于:包括:

11.一种电子设备,其特征在于,包括:处理器和存储器,其中,所述存储器中存储有可供处理器调用的计算机程序;

12.一种计算机可读存储介质,其特征在于,储存有指令,当所述指令在计算机上运行时,使得计算机执行如权利要求1-9任一项所述的一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法。


技术总结
本发明公开一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法及系统,涉及晶圆传送技术领域,包括预先采集机械臂所连接的真空泵的阻力系数训练数据与损失系数训练数据;阻力系数训练数据包括阻力系数特征数据与阻力系数特征数据对应的阻力系数值;损失系数训练数据包括损失系数特征数据及损失系数特征数据对应的损失系数值;基于损失系数训练数据,训练出预测真空泵的损失系数值的第一机器学习模型;基于阻力系数训练数据,训练出预测真空泵的阻力系数值的第二机器学习模型;本发明基于真空泵的初始吸力值、晶圆质量以及待翻转晶圆的目标吸力值计算出实时吸力调节值,提高吸力补偿准确性,实现在动态变化的真空泵中,实时调节吸力值,保证晶圆翻转的稳定性。

技术研发人员:林坚,王彭,吴国明,王栋梁
受保护的技术使用者:泓浒(苏州)半导体科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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