一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备的制作方法

本发明涉及半导体预处理，具体为一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备。

背景技术：

1、双面电池是一种具有正反两面都可以发电的电池。正面和反面的电极材料和结构不同，分别适应不同的环境和工作条件。在双面电池的生产中，常常需要使用半导体晶片来实现电池的控制、监测和通信等功能。半导体晶片可以集成电池的管理系统，如电流、电压和温度的监测，以及与外部设备进行通信等。为了确保晶片能够正常工作、可靠连接和稳定运行，双面电池生产用半导体晶片一般都需要进行预处理。

2、现有技术中，双面电池生产用半导体晶片在预处理过程中，为了增强半导体晶片表面的氧化硅层，通常需要将半导体晶片放到硅酸溶液中进行氧化处理，然后将氧化处理后的半导体晶片放到有机溶液如乙醇中进行清洗，去除表面的硅酸盐和其他残留物，但在清洗过程中，有机溶剂会产生一些挥发性气体如醇类气体，工作人员长期呼吸到醇类气体，会对人体健康产生潜在风险，另外醇类气体排放到大气中，会对空气质量产生负面影响。

3、所以我们提出了一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备，以解决上述背景技术提出的双面电池生产用半导体晶片在预处理过程中，用来清洗的有机溶剂会产生醇类气体，工作人员长期呼吸到醇类气体，会对人体健康产生潜在风险，还会对空气质量产生负面影响的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种双面电池生产用半导体晶片预处理设备，包括：底座，所述底座的顶部设置有移动组件，所述底座靠近一侧的顶部固定安装有氧化池，所述底座靠近另一侧的顶部固定安装有超声波清洗组件，所述超声波清洗组件的后表面设置有气体处理组件；

3、所述气体处理组件包括支撑架，所述支撑架的内部固定安装有处理管，所述处理管内部靠近边缘处的前表壁固定安装有反应器，所述反应器的内壁固定安装有催化布，所述反应器靠近前表面的内壁固定安装有透明隔板，所述处理管的前表壁固定连接有紫外线灯，所述底座靠近后表面的顶部固定安装有抽液泵，所述抽液泵的输入端通过法兰盘连接有抽液管，所述抽液泵的输出端通过法兰盘连接有输送管，所述输送管的一端固定连接有环形管，所述环形管的外表面固定连接有多个喷头。

4、优选的，所述超声波清洗组件包括清洗池，所述清洗池的前表面固定安装有固定板，所述反应器靠近后表面的内壁固定安装有安装环，所述安装环的后表面通过螺钉安装有吸附盒，所述处理管的一端通过法兰盘连接有排气管，所述清洗池的后表面通过加强板安装有风机，所述风机的输入端固定连接有第一连接管。

5、优选的，所述第一连接管的一端固定连接有固定管，所述固定管的外表面固定连接有多个抽气管，所述风机的输出端固定连接有第二连接管，所述第二连接管的一端通过法兰盘连接有加热管，所述加热管的内部设置有电热丝，所述加热管的一端通过法兰盘连接有输气管，所述输气管的外表面设置有温度传感器，所述温度传感器的探头延伸至输气管的内部。

6、优选的，所述输气管的一端依次贯穿处理管和透明隔板至反应器的内部，所述底座的顶部靠近抽液泵处固定安装有溶液桶，所述溶液桶的顶部固定连接有进液管，所述抽液管的一端固定贯穿至溶液桶的内部，多个所述抽气管的一端均固定贯穿至清洗池的内部，所述固定管靠近两端的外表面通过辅助环安装在清洗池的后表面。

7、优选的，所述固定板靠近一侧的顶部通过螺丝安装有超声波发生器，所述固定板靠近另一侧的顶部通过螺栓安装有plc控制器，所述清洗池的内部固定安装有清洗盒，所述清洗盒的底部设置有超声波换能器，所述清洗盒靠近一侧的顶部固定连通有排污管，所述排污管的一端固定贯穿至清洗池的底部。

8、优选的，所述清洗池的顶部通过铰链转动连接有转动盖，所述氧化池靠近两侧的顶部和清洗池靠近两侧的顶部均开设有u型槽，所述清洗池的底部固定安装在底座靠近另一侧的顶部，所述底座的顶部靠近氧化池和清洗池处设置有接水池。

9、优选的，所述移动组件包括固定架，所述固定架的顶部开设有内嵌槽，所述内嵌槽的内部活动嵌设有两个传动辊，其中一个所述传动辊的一端活动贯穿至固定架的前表面，所述固定架的前表面通过加固板安装有正反电机，所述正反电机的输出端与其中一个传动辊的一端固定连接。

10、优选的，两个所述传动辊的外表面均固定安装有传动定位套，两个所述传动定位套的外表面活动套设有两个履带，两个所述履带的底部固定安装有工型块，所述工型块的底部固定安装有连接板，所述连接板靠近两侧的底部固定安装有电推杆，两个所述电推杆的输出端均固定安装有固定块，两个所述固定块的内壁均固定安装有电磁铁，所述内嵌槽内部底面的中心处开设有滑孔，所述工型块的外表面活动嵌设在滑孔的内部。

11、优选的，所述工型块靠近前表面和后表面的底部均固定安装有多个滑杆，多个所述滑杆平均分成两组，所述内嵌槽内部靠近两侧的底面均开设有滑槽，两组所述滑杆的底端分别活动嵌设在两个滑槽的内部，所述固定架的底部固定安装在底座靠近两侧的顶部，所述定位组件包括浸泡盒，所述浸泡盒内部的底面固定安装有多个固定框，所述浸泡盒的顶部通过铰链转动连接有盒盖，所述浸泡盒的两侧外表面均固定安装有l型杆。

12、优选的，两个所述l型杆靠近一端的外表面固定安装有磁石，两个所述磁石的外表面分别与两个电磁铁的内壁磁性连接，所述盒盖靠近前表面的顶部固定安装有两个固定杆，两个所述固定杆的外表面均活动套设有卡扣，所述紫外线灯的外表面与反应器靠近前表面的内壁相接触，所述输送管的一端固定贯穿至处理管的内部，所述环形管的外表面固定安装在反应器的外表面，多个所述喷头的一端均固定贯穿至反应器的内部，所述氧化池的底部固定连通有排液管。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

14、本发明使用时，启动风机，通过抽气管将清洗池中的气体抽到固定管中，接着依次流动至第一连接管和第二连接管中，通过加热管进入反应器内部，提前启动紫外线灯和抽液泵，通过抽液管将溶液桶内部的二氧化钛溶液依次抽送至输送管和环形管中，最后通过多个喷头将二氧化钛溶液喷到催化布上，利用紫外线灯发射紫外光照射催化布上的二氧化钛溶液，产生活性氧化物，使得醇类气体与活性氧化物发生氧化反应，将其转化为水和二氧化碳等无害物质，通过吸附盒中的硅藻土，吸附二氧化碳分子，从而达到处理醇类气体的效果，减少对空气质量的影响。

15、2、使用时，启动超声波发生器产生高频电信号，通过超声波换能器转化为机械振动，并传导到有机溶液中，形成超声波，剥离和清除晶片表面的污垢和附着物，从而达到高效清洗的效果，完成清洗后，打开排污管处的阀门，将清洗盒中的溶液排到外部的污水箱中，便于后续集中处理，然后打开转动盖，再向清洗盒中反复倒入去离子水，对晶片进行二次清洗，去除残留的有机溶剂和溶液反应产物，以保证晶片表面的干净和纯洁。

16、3、使用时，启动电热丝，在加热管内部产生热量，使得进入加热管中的气体被加热，可以提高醇类气体蒸发速率，提高光催化氧化的效率，更易被活性氧化物捕获和反应，通过温度传感器对加热后的气体进行温度检测，并将温度检测结果反馈给plc控制器，方便plc控制器控制电热丝关闭或开启。