一种石墨舟硅片接驳装卸系统及装卸方法与流程

文档序号:36736828发布日期:2024-01-16 12:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:包括转运装置,所述转运装置的输出端设有用于插取硅片的机械手(4),所述机械手(4)的插取范围内设有用于缓存已镀膜硅片及未镀膜硅片的缓存装置(5),所述转运装置包括用于接收半石墨舟的接料单元(1)、位于接料单元(1)与机械手(4)之间的摆渡单元(2)以及两个与半石墨舟相匹配的装卸工位(3),所述机械手(4)位于两个所述装卸工位(3)之间;

2.根据权利要求1所述的石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:所述第一轨道(7)上还滑移连接有三个缓存输送机(13),三个所述缓存输送机(13)的输送方向与第一轨道(7)垂直设置,所述第一驱动电机用于驱动三个缓存输送机(13)与第一接料输送机(8)沿第一轨道(7)同步滑移。

3.根据权利要求1所述的石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:所述摆渡单元(2)背离接料单元(1)的一侧设有第二机架(14),所述第二机架(14)上设有第四轨道(15),所述第四轨道(15)与第一轨道(7)平行设置,所述第四轨道(15)上分别滑移连接有第一输送机(16)和第二输送机(17),所述第一输送机(16)和第二输送机(17)的输送方向与第四轨道(15)垂直设置,所述机械手(4)位于第一输送机(16)与第二输送机(17)之间,所述第一输送机(16)和第二输送机(17)上的输送区域构成所述装卸工位(3)。

4.根据权利要求3所述的石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:所述缓存装置(5)包括设置在第一输送机(16)背离摆渡单元(2)一侧的第一硅片缓存机构(18)和设置在第二输送机(17)背离摆渡单元(2)一侧的第二硅片缓存机构(19),所述第一硅片缓存机构(18)用于缓存已镀膜的硅片,所述第二硅片缓存机构(19)用于缓存未镀膜的硅片。

5.一种基于权利要求2所述的石墨舟硅片接驳装卸系统的装卸方法,其特征在于:所述方法包括:

6.根据权利要求5所述的石墨舟硅片接驳装卸系统的装卸方法,其特征在于:所述方法还包括:

7.根据权利要求6所述的石墨舟硅片接驳装卸系统的装卸方法,其特征在于:所述方法还包括:


技术总结
本申请涉及一种石墨舟硅片接驳装卸系统及装卸方法,应用在硅片输送领域,包括转运装置,所述转运装置的输出端设有用于插取硅片的机械手,所述机械手的插取范围内设有用于缓存已镀膜硅片及未镀膜硅片的缓存装置,所述转运装置包括用于接收半石墨舟的接料单元、位于接料单元与机械手之间的摆渡单元以及两个与半石墨舟相匹配的装卸工位,所述机械手位于两个所述装卸工位之间。本申请具有的技术效果是:接料单元与摆渡单元两者单独控制,摆渡单元将石墨舟分别输送至两个装卸工位,灵活性强,提高了搬运速度的同时提高了生产效率。

技术研发人员:唐炼蓉,董晓清,刘德方,王献飞,左于棒
受保护的技术使用者:无锡江松科技股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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