1.一种石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:包括转运装置,所述转运装置的输出端设有用于插取硅片的机械手(4),所述机械手(4)的插取范围内设有用于缓存已镀膜硅片及未镀膜硅片的缓存装置(5),所述转运装置包括用于接收半石墨舟的接料单元(1)、位于接料单元(1)与机械手(4)之间的摆渡单元(2)以及两个与半石墨舟相匹配的装卸工位(3),所述机械手(4)位于两个所述装卸工位(3)之间;
2.根据权利要求1所述的石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:所述第一轨道(7)上还滑移连接有三个缓存输送机(13),三个所述缓存输送机(13)的输送方向与第一轨道(7)垂直设置,所述第一驱动电机用于驱动三个缓存输送机(13)与第一接料输送机(8)沿第一轨道(7)同步滑移。
3.根据权利要求1所述的石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:所述摆渡单元(2)背离接料单元(1)的一侧设有第二机架(14),所述第二机架(14)上设有第四轨道(15),所述第四轨道(15)与第一轨道(7)平行设置,所述第四轨道(15)上分别滑移连接有第一输送机(16)和第二输送机(17),所述第一输送机(16)和第二输送机(17)的输送方向与第四轨道(15)垂直设置,所述机械手(4)位于第一输送机(16)与第二输送机(17)之间,所述第一输送机(16)和第二输送机(17)上的输送区域构成所述装卸工位(3)。
4.根据权利要求3所述的石墨舟硅片接驳装卸系统,其特征在于:所述缓存装置(5)包括设置在第一输送机(16)背离摆渡单元(2)一侧的第一硅片缓存机构(18)和设置在第二输送机(17)背离摆渡单元(2)一侧的第二硅片缓存机构(19),所述第一硅片缓存机构(18)用于缓存已镀膜的硅片,所述第二硅片缓存机构(19)用于缓存未镀膜的硅片。
5.一种基于权利要求2所述的石墨舟硅片接驳装卸系统的装卸方法,其特征在于:所述方法包括:
6.根据权利要求5所述的石墨舟硅片接驳装卸系统的装卸方法,其特征在于:所述方法还包括:
7.根据权利要求6所述的石墨舟硅片接驳装卸系统的装卸方法,其特征在于:所述方法还包括: