一种用于强静电工况的MOS管的制作方法

文档序号:37943014发布日期:2024-05-11 00:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:包括封装层(1)、多层防静电结构、mos管(3)、绝缘骨架(4)和金属网层(5),所述绝缘骨架(4)内设置多层空腔框(41),所述空腔框(41)包括多个空腔段(411),多层空腔框(41)之间分别通过绝缘骨架(4)支撑,所述防静电结构包括多个液态屏蔽段(21)和多个液态封装膜(22),所述液态封装膜(22)包覆在液态屏蔽段(21)外,并封装在空腔段(411)内,多层防静电结构分别封装在多层空腔框(41)内,且上下两层空腔框(41)内的液态封装膜(22)错开布置,下层防静电结构的液态屏蔽段(21)位于上层防静电结构的液态屏蔽段(21)之间的间隙,所述mos管(3)封装在最内层防静电结构内,且与最内层防静电结构的液态封装膜(22)的内侧设有塑封间隙(100),所述金属网层(5)环绕在绝缘骨架(4)的最外侧,并避开mos管(3)的引脚,多层防静电结构分别装配完成后,通过塑封料进行塑封填充在塑封间隙(100)、多层防静电结构之间绝缘骨架(4)的间隙形成封装层(1)、以及金属网层(5)外围,形成用于强静电工况的mos管。

2.根据权利要求1所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:液态屏蔽段(21)由导电液填充在液态封装膜(22)内成型,导电液是在室温下导电率大于20×10-3s/cm。

3.根据权利要求2所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:同一层防静电结构内多个液态屏蔽段(21)是同一种导电液,相邻两层防静电结构内的导电液的导电率差值的绝对值不小于10×10-3s/cm,且多层防静电结构内的液态屏蔽段(21)的导电液的导电率由外到内依次递增,金属网层(5)的导电率与防静电结构内的导电液的导电率差值的绝对值不小于20×10-3s/cm。

4.根据权利要求3所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:液态封装膜(22)采用柔性耐高温材料制成,厚度不超过0.3mm。

5.根据权利要求4所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:空腔段(411)的为长方体,长方体的长宽厚尺寸为a×b×c,1mm≤a≤2mm,0.3mm≤b≤0.8mm,0.6mm≤c≤1mm。

6.根据权利要求5所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:防静电结构的层数为两层或三层,且封装完成后厚度不超过4mm。

7.根据权利要求1所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:所述mos管(3)包括p型半导体(31)、一对n型半导体(32)、源极引脚(33)、漏极引脚(34)和栅极引脚结构(35),所述p型半导体(31)设有一对n型半导体沟道,一对n型半导体(32)分别装配在一对n型半导体沟道内,所述源极引脚(33)的一端连接在一侧n型半导体(32)的外侧面,所述漏极引脚(34)的一端连接在n型半导体(32)的外侧面,所述栅极引脚结构(35)包括绝缘片(351)、场效应片(352)和栅极引脚(353),所述绝缘片(351)的一侧面贴装在p型半导体(31)表面,并位于一对n型半导体沟道之间,所述场效应片(352)贴装在绝缘片(351)的另一侧面,所述栅极引脚(353)的一端连接在场效应片(352)的外侧面;

8.根据权利要求7所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:源极引脚(33)、漏极引脚(34)和栅极引脚(353)均从一侧引出封装层(1),且均设有弯折段(36),所述弯折段外侧设置多层防静电结构,用于屏蔽从引脚侧的静电场对mos管(3)击穿。

9.根据权利要求8所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:采用以下步骤进行封装:

10.根据权利要求9所述的一种用于强静电工况的mos管,其特征在于:绝缘骨架(4)与mos管(3)的四个侧面之间的塑封间隙(100)采用隔离模板先进行固定,在一侧塑封前先抽掉这一侧对应的隔离模板,直到四个侧面均完成塑封。


技术总结
本发明公开一种用于强静电工况的MOS管,涉及MOS管防静电封装技术领域,包括封装层、多层防静电结构、MOS管、绝缘骨架和金属网层,所述绝缘骨架内设置多层空腔框,所述防静电结构包括多个液态屏蔽段和多个液态封装膜。本发明多个液态屏蔽段组成同一层屏蔽层,液态屏蔽段内采用具有良好导电性能的液体溶液封装在液态封装膜内成型,再将多个防静电结构装配在同一层的多个空腔框内形成单层的防静电结构,上下两层空腔框内的液态封装膜错开布置,同层相邻的空腔框之间塑封后形成多个防静电层的情况下,还保持了封装层、多层防静电结构和绝缘骨架的封装结构强度;从而保障强静电工况下MOS管的正常稳定工作。

技术研发人员:吉炜
受保护的技术使用者:无锡市乾野微纳科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/5/10
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