一种工艺环和工艺托盘的传输及位置校准系统的制作方法

技术特征：

1.一种工艺环和工艺托盘的传输及位置校准系统，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

3.如权利要求1所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

4.如权利要求1所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

5.如权利要求1所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

6.如权利要求1所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

7.如权利要求6所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

8.如权利要求1所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

9.如权利要求7所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

10.如权利要求3所述的传输及位置校准系统，其特征在于，

技术总结
本技术提供一种工艺环和工艺托盘的传输及位置校准系统，该系统包含机械手和至少两个激光位移传感器；机械手位于工艺托盘下方，对上下堆叠的工艺环和工艺托盘进行托举，并带动工艺环和工艺托盘进行移动；在传输过程中，激光位移传感器用于分别检测工艺环和工艺托盘的边缘。本技术可以根据激光位移传感器测得的边缘数据，确定工艺环和工艺托盘是否发生偏位，并由机械手进行位置补偿校正，从而提高放置工艺环和工艺托盘时的准确度。

技术研发人员：王周杰,张明辉,余涛
受保护的技术使用者：乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司
技术研发日：20230707
技术公布日：2024/1/5